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公开(公告)号：CN114323396B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202111595513.8
申请日：2021-12-23
Abstract: 一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺，芯片包括由上向下设置的高阻硅器件层、低阻硅器件层和玻璃器件层，通过硅‑硅键合和硅‑玻键合形成一种三明治结构；高阻硅器件层包括第一中心刚体和载荷传递结构；低阻硅器件层包括第二中心刚体，第二中心刚体四周和电极形成梳齿电容，第二中心刚体一方面与第一中心刚体键合为一体，另一方面作为梳齿电容动极板的公共电极；玻璃器件层包括玻璃基底，以及玻璃基底上的平板电容极板、外部焊盘、内部焊盘、金属引线等金属层结构；制备工艺包括硅器件层的加工工艺、玻璃器件层的加工工艺、硅‑玻键合工艺和划片；本发明实现六轴力或力矩的解耦输出，具有量程大、灵敏度高、串扰误差小、微型化等优点。
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公开(公告)号：CN114383762A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202210028939.3
申请日：2022-01-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 基于多梳齿阵列的MEMS电容式微力传感器及去耦合测试方法，传感器包括通过支撑梁固定在边框上的质量块，质量块、支撑梁悬空，质量块外侧布置运动限位结构；质量块前端设置有一个凸起的探针，质量块末端布置有动梳齿阵列组，与动梳齿阵列组配合构成差分梳齿电容阵列的定梳齿阵列组连接在边框上；质量块由x方向刚度高的支撑梁支撑，y方向为其工作敏感方向，动梳齿阵列组、定梳齿阵列组偏离质量块中心布置；去耦合测试时，将定梳齿阵列中具有相同间距/面积变化趋势的阵列进行电气连接，其与质量块上的动梳齿阵列接入到常规电容检测方法进行差分检测；同时驱动定梳齿阵列施加不同的交流电势调整传感器的检测量程；本发明用于亚nN‑μN量级微力的测量。
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公开(公告)号：CN114323406A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111668359.2
申请日：2021-12-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L9/04
Abstract: 本发明公开了基于倒装技术的压力传感器芯片、封装结构与制备方法，适用于爆炸冲击波压力场高动态测量。本发明压力传感器芯片包括压力敏感芯片与转接板，其中压力敏感芯片采用压阻式原理，设置有感受外界压力变化的岛膜结构，通过将应力敏感梁、敏感电阻与背腔布置在非承压面，保证压力敏感面为平面，同时传感器整体采用齐平式封装的结构，保证与压力介质接触面为平面，避免传统倒装压力芯片在风动压测量过程中，压力介质须绕射芯片背腔到达压力敏感面，从而造成传感器动态测量精度低、频率响应不足的问题。而转接板采用硅通孔或玻璃通孔的方式，实现电信号的无引线传输，避免了常规金丝引线引起的断裂与短路状况，提升传感器的工作可靠性。
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公开(公告)号：CN114323396A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111595513.8
申请日：2021-12-23
Abstract: 一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺，芯片包括由上向下设置的高阻硅器件层、低阻硅器件层和玻璃器件层，通过硅‑硅键合和硅‑玻键合形成一种三明治结构；高阻硅器件层包括第一中心刚体和载荷传递结构；低阻硅器件层包括第二中心刚体，第二中心刚体四周和电极形成梳齿电容，第二中心刚体一方面与第一中心刚体键合为一体，另一方面作为梳齿电容动极板的公共电极；玻璃器件层包括玻璃基底，以及玻璃基底上的平板电容极板、外部焊盘、内部焊盘、金属引线等金属层结构；制备工艺包括硅器件层的加工工艺、玻璃器件层的加工工艺、硅‑玻键合工艺和划片；本发明实现六轴力或力矩的解耦输出，具有量程大、灵敏度高、串扰误差小、微型化等优点。
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公开(公告)号：CN102983780A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210451220.7
申请日：2012-11-12
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种轮胎振动能量收集装置，包括通过导线连接的能量收集装置、处理电路和能量储存器；能量收集装置包括多个悬臂梁结构；悬臂梁结构包括由上盖板和下底板合围的工作腔，工作腔中设有与下底板连接的悬臂梁，悬臂梁上设有压电材料层和质量块；轮胎滚动中胎面与路面接触变形引起悬臂梁的弯曲，悬臂梁随轮胎变形并产生往复的变形，悬臂梁的变形引起压电材料内部产生应力和形变，并在其表面产生电压信号，再通过导线将电压信号导出；处理电路通过导线接收电压信号，并对其进行处理后，存储于能量储存器中。采用MEMS技术制作的微型悬臂梁，具有体积小、质量轻、惯性小的优点，可以快速响应胎体的振动状态，实现能量收集的最大化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102922961A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210451217.5
申请日：2012-11-12
Applicant: 西安交通大学
IPC: B60C23/04
Abstract: 本发明公开了一种电容式微型胎压传感器，包括上层板、支撑板和下底板，上层板上设有对压力敏感的多层复合薄膜，多层复合薄膜中设有电容上极板；支撑板的上表面设有电容下极板，电容上极板、电容下极板形成的检测电容；下底板上设有相耦合的声表面波器件和微型天线，声表面波器件包括压电材料和两组叉指电极，其中一组叉指电极与微型天线相连接，另一组叉指电极分别与电容上极板、电容下极板相连接。本发明能够植入轮胎内部工作，以无源无线方式实现对轮胎压力的测量和结果传输，具有体积小、质量轻、成本低、免维护的优点。
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公开(公告)号：CN102302898A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110162637.7
申请日：2011-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微型血细胞分离装置及其使用方法，该分离装置包括信号发生器、加样泵、分离芯片和分离后细胞收集器；所述分离芯片上设置有分离腔，分离腔前端设置有注入口、后端设置有两个出口，分离腔内设置电极板，电极板上设置叉指电极组；所述信号发生器通过导线与叉指电极组连接；所述加样泵通过样品注入管道与注入口连通；所述出口上连接有分离后细胞收集器。本发明利用血细胞在电场中介电泳特性差异进行分离，相比常用的细胞分离法，此种连续分离方式就有效率高、成本低、细胞损伤小、可进行大通量分离等优点。
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公开(公告)号：CN1928534B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200610104672.2
申请日：2006-09-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种微流动注射式化学发光芯片的制备方法，以硅片、聚二甲级硅氧烷(PDMS)、SU-8光刻胶为原料，应用标准微制造工艺制作出相应的微通道和接口。以标准光刻工艺制作模具结构，再用模塑浇铸和固化工艺成型微芯片结构，最后以不可逆封装实现微通道的封闭。通过连续性或间歇性的样品注入方式，可以实现微量、超微量液体的快速混合和反应。使用该芯片检测过程具有制作工艺简单可靠、制造成本低、检测灵敏度高、样品试剂进样和消耗量少、发光重现性好等优点。
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公开(公告)号：CN2793088Y
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200520078844.4
申请日：2005-05-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种生物芯片杂交反应盒，包括装压支架和设置在装压支架内的基座，在装压支架内基座的上端还依次设置有盖片和压板，基座、盖片和压板通过设置在装压支架上的固定件固定为一体。本实用新型通过基座和盖片将芯片在外力的作用下形成细小的密封腔，实现了良好的密封性，且结构简单，操作方便，液体容量相对稳定，杂交液体浪费小。
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公开(公告)号：CN201166670Y
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200820028629.7
申请日：2008-03-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P5/00
Abstract: 本实用新型公开了一种生物微流体实验的观测装置，包括微量注射泵，显微镜，高速摄影机，带有微流体通道的硅微芯片，废液池和计算机；所述硅微芯片直接放在显微镜的工作台上；高速摄影机接在显微镜的摄影接筒上并通过数据线与计算机相连；所述微量注射泵通过输入软管与硅微芯片中的通道联通，废液池通过输出软管与硅微芯片中的通道联通。由注射泵注入的生物微流体流经硅微通道芯片时，通过高速摄影机拍下经过显微镜放大后的流体运动场景，然后经过数据线把视频传输至计算机实时观察微流体流动的情况并进行图像的保存。
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