公开(公告)号：CN108726467A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810362279.6

申请日：2018-04-20

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： B·戈勒 ,  M·施泰尔特

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0064 ,  B81B3/0081 ,  B81B7/0058 ,  B81C1/00261 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/15151 ,  H04R1/086 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H01L2924/00014 ,  B81B7/0083 ,  B81B7/0032 ,  B81B2201/0257 ,  B81C1/0069

Abstract: 本公开涉及具有衬底(11)的装置(10、20、30、40)，其中，在所述衬底(11)的第一侧(11A)上布置有MEMS结构组(12)，所述MEMS结构组的输出信号在温度变化时变化，此外，该装置(10、20、30、40)具有布置在所述衬底(11)的所述第一侧(11A)上并且具有凹部(14)的壳体结构(13)，所述MEMS结构组(12)布置在所述凹部中。该装置(10、20、30、40)还具有施加在所述壳体结构(13)处的层(15)，所述层提高所述装置(10、20、30、40)的热容量。本公开还涉及用于制造这种装置(10、20、30、40)的方法。