一种金属母板的制作方法
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102009517A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN201010287422.3

    申请日:2010-09-20

    Abstract: 本发明是一种金属母板的制作方法,该金属母板由至少两片金属子板拼接而成,各该金属子板上具有镭射图像的纹路,该方法主要采用电铸的方式,将至少两块金属子板间的拼缝进行填补,其中在该各片金属子板的拼接边上设有凹凸结构,相邻子板间的凹凸结构相互配合。通过该凹凸结构,既增加了金属子板间的电铸强度,又可以实现简单准确的对位,增加了金属母板的成品质量。

    一种微光栅亚像素三维光学图像及其制作方法

    公开(公告)号:CN101930207A

    公开(公告)日:2010-12-29

    申请号:CN201010238377.2

    申请日:2010-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种微光栅亚像素三维光学图像,由排列于平面上的像素阵列结构构成,含有多个视角的分视角图像信息,其特征在于:每一像素由多个亚像素构成,每一亚像素对应于一个视角在该像素处的图像,每一亚像素为一光栅状图像单元,光栅状图像的条纹取向对应于视角,条纹的周期代表颜色信息。其制作方法包括如下步骤:设计三维衍射光学图像数据;设计具有亚像素体视结构的模板图像;根据图像数据和模板,生成体像素图像;微缩光刻亚像素体视图像单元,得到由亚像素体视单元构成的三维衍射光学图像。本发明可以数字化地输出立体图像。

    一种亚波长光栅结构彩色滤光片及其制作方法

    公开(公告)号:CN101551482B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200910028285.9

    申请日:2009-01-24

    Abstract: 本发明公开了一种亚波长光栅结构彩色滤光片及其制作方法,滤光片包括:透明基底、位于该基底上的三色像素阵列,其特征在于:所述三色像素阵列由光栅阵列构成,所述光栅阵列由介质层和金属层构成,金属层位于介质层的外面,每一光栅的周期与其滤光的颜色相对应,三种周期的光栅分别用于对入射光中的红、绿、蓝三色进行滤光。其制作是在透明基底上依次涂布介质层和金属层,并且使该介质层和金属层形成凹凸的光栅结构。本发明只需改变光栅的周期,就可获得针对R、G、B三色的透射光谱,降低了加工彩色滤光片的难度;获得的滤光片具有合适的透射光谱,色纯度好;偏振光透过率高。

    一种光栅结构彩色滤光片
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101546003A

    公开(公告)日:2009-09-30

    申请号:CN200910031264.2

    申请日:2009-04-30

    Abstract: 本发明公开了一种光栅结构彩色滤光片,主要由基板、黑色矩阵、彩色滤光层、保护膜和ITO导电膜组成,其特征在于:在所述基板上覆盖有介质膜层,该介质膜材料的折射率大于1.65,所述彩色滤光层为亚微米埋入式光栅结构,光栅由金属层和低折射率介质层构成,所述金属层位于近基板侧,所述低折射率介质层位于远离基板侧,介质材料的折射率小于1.65;通过不同的光栅结构参数获得不同颜色的光栅单元。本发明基于亚微米埋入式金属光栅结构,其TE、TM偏振光下的透射光谱特性相同,光能利用率高,输出光的纯度高,能进行超大幅面的制造。

    干涉光刻系统、打印装置和干涉光刻方法

    公开(公告)号:CN110119071A

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201810117030.9

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 一种干涉光刻系统,包括位相元件、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和锥透镜组,位相元件、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜沿着光轴传播方向依次设置,第一透镜与第二透镜形成一组4F成像系统,第三透镜与第四透镜形成另一组4F成像系统,锥透镜组沿着光轴传播方向可移动地设置于第三透镜与第四透镜之间。本发明的干涉光刻系统结构简单,制作成本低,能够实现多角度、变周期干涉光刻。本发明还涉及一种打印装置和干涉光刻方法。

    一种菲涅尔器件的制作方法及制作装置

    公开(公告)号:CN106646691B

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201611125124.8

    申请日:2016-12-09

    Abstract: 本发明提供了一种菲涅尔器件的制作方法,其包括以下步骤:1)图像3D建模;2)将建模后的3D图,按照菲涅尔的变化规律进行量化处理;3)通过等高投影或等宽投影进行像素微结构模拟;4)像素化拼接;5)通过光刻工艺至整个图像光刻完成;6)通过转移工艺将模板转移到应用材料上。本发明还提供了一种菲涅尔器件的制作装置。本发明与现有技术相比,可以实现任意形状的菲涅尔器件;且尺寸不受限制,通过拼版等工艺,可以做大尺寸的菲涅尔器件;且该方法降低了成本。

    基片的预对准方法
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107908086A

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201711122043.7

    申请日:2017-11-14

    Abstract: 本发明涉及一种基片的预对准方法,该基片的预对准方法通过在基片上投影一幅特征图像和测距图像来确定边缘上边缘点的坐标,并根据边缘点坐标来计算基片的倾斜角度和基片中心坐标,最后通过移动工件台来使基片中心坐标和成像中心坐标对准,实现快速高效高精度的预对准工作。与现有技术相比该基片的预对准方法有着无需增加现有直写设备硬件成本、步骤简单、预对准精度高的优势。

Patent Agency Ranking