实时变参量微纳米光场调制系统和干涉光刻系统

    公开(公告)号:CN105511074A

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201610004778.9

    申请日:2016-01-06

    Applicant: 苏州大学

    CPC classification number: G02B27/00 G03F7/7045

    Abstract: 本申请公开了一种实时变参量微纳米光场调制系统和干涉光刻系统,该光场调制系统包括光源、4F光学系统和光波调制光学元器件组,4F光学系统包括沿光路依次设置的第一光学组件和第二光学组件,光波调制光学元器件组设置于第一光学组件和第二光学组件之间,该光波调制光学元器件组通过对子波面分段调制,在系统的后焦面产生图案及结构参数可调的光场分布。本发明通过子元件实现对子波面的分立、实时调控,通过改变子元件组合方式可实现不同微纳米图案的实时输出,通过子元件的位置或子元件间相对位置变化可实现结构参数的连续调制。该系统可灵活集成于各种光刻或显微系统中,实现变参量微纳米结构的实时写入和可调制微纳米结构光检测。

    一种亚波长光栅结构偏振片

    公开(公告)号:CN102879849B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201210419189.9

    申请日:2012-10-26

    Abstract: 本发明公开了一种亚波长光栅结构偏振片,包括透明基底、介质光栅、第一金属层、第二金属层,介质光栅具有周期性间隔设置的脊部和沟槽,第一金属层位于介质光栅的脊部,第二金属层位于介质光栅的沟槽中,介质光栅的周期小于入射光波长,第一金属层的宽度大于介质光栅的脊部宽度,第二金属层的宽度小于介质光栅的沟槽宽度,介质光栅的脊部高度大于第一金属层的高度和第二金属层的高度。与现有的双层金属光栅结构相比,本发明中第一金属层的宽度大于介质光栅的脊部宽度,第二金属层的宽度小于介质光栅的沟槽宽度,使得更多的能量集中在第一金属层与第二金属层之间,最终提高了宽波段、大入射角度范围TM偏振光的透射效率。

    一种彩色滤光片
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103460085A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201080070723.9

    申请日:2010-12-16

    Inventor: 叶燕 陈林森

    CPC classification number: G02B5/203 G02B5/204

    Abstract: 一种彩色滤光片(200),包括基层(210)和设置于基层上的介质光栅层(220)。介质光栅层具有金属仿形膜(230)和周期性排列的光栅结构。金属仿形膜覆盖光栅结构的脊部(221),覆盖光栅结构一侧或两侧的侧部(223),覆盖光栅结构的沟槽部(222)的一部分。光栅结构被金属仿形膜覆盖的沟槽部的面积占侧部和沟槽部总面积的30%~95%。通过设置金属仿形膜,能够破坏原本的金属表面等离子共振条件,减少光线入射角度对共振条件的影响,从而在拓宽滤光片的角度范围。

    一种彩色滤光片
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101546004A

    公开(公告)日:2009-09-30

    申请号:CN200910031267.6

    申请日:2009-04-30

    Abstract: 本发明公开了一种彩色滤光片,主要由基板、黑色矩阵、彩色滤光层、保护膜和ITO导电膜组成,其特征在于:所述彩色滤光层为级联亚微米光栅,由二维亚微米级介质光栅和金属光栅级联构成,所述介质光栅位于近基板侧,介质材料的折射率大于1.65,所述金属光栅位于远离基板侧,同一位置的上、下两种光栅除光栅深度外的结构参数相同;通过不同的光栅结构参数获得不同颜色的光栅单元。本发明的彩色滤光片TE、TM偏振光下的透射光谱特性相同,光能利用率高,提高输出光的纯度,能进行超大幅面的制造,便于批量化生产,且便于设计为柔性可控的彩色滤光片。

    基于变焦微透镜阵列的显示系统

    公开(公告)号:CN110737104A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201911072659.7

    申请日:2019-11-05

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明揭示了一种基于变焦微透镜阵列的显示系统,包括微透镜层和微图文层,所述微透镜层和所述微图文层之间设有介质层,所述微透镜层由若干阵列分布的微透镜单元组成,不同的所述微透镜单元具有相同或不同的焦距,所述微透镜单元为像素化空间变参量微纳结构。本发明通过改变不同区域微透镜的焦距,实现了对微图文的分层显示,图案整体具有良好的3D效果,同时,根据莫尔放大原理,可以形成动态放大图案。

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