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公开(公告)号：CN103528685A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310276320.5
申请日：2013-07-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西村晃幸
CPC classification number: G01J3/433 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/26 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供能进行快速的分光测定的分光测定装置。分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），包括具有固定反射膜的固定基板、具有可动反射膜的可动基板、以及变更固定反射膜和可动反射膜之间的反射膜间间隙的间隙量的静电致动器；检测部（11），检测由波长可变干涉滤波器（5）取出的光的光强度；电压设定部（21）以及电压控制部（15），对静电致动器施加连续变化的模拟电压；电压监视部（22），监视施加给静电致动器的电压；存储部（30），存储V-λ数据；以及光强度取得部（24），根据由电压监视部（24）监视的电压，在透过波长可变干涉滤波器（5）的光成为测定对象波长的定时，取得由检测部（11）检测的光强度。
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公开(公告)号：CN115616695A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202210809899.6
申请日：2022-07-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供干涉滤波器以及干涉滤波器的制造方法。干涉滤波器具备：透光性的第一基板，具有第一内表面和第一外表面，在第一内表面设置有第一反射膜；透光性的第二基板，具有第二内表面和第二外表面，在第二内表面设置有第二反射膜；第一接合部，将第一内表面与第二内表面接合，将第一基板与第二基板间的第一内部空间密封；透光性的第三基板，与第一外表面对置；第二接合部，将第一外表面与第三基板接合，将第一基板与第三基板间的第二内部空间密封；透光性的第四基板，与第二外表面对置；以及第三接合部，将第二外表面与第四基板接合，将第二基板与第四基板间的第三内部空间密封，第一内部空间、第二内部空间及第三内部空间减压至低于大气压。
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公开(公告)号：CN113758882A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110613672.X
申请日：2021-06-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供能够抑制基于分光图像将彩色图像显示为实时图像时的帧率降低的图像生成装置及图像生成方法。图像生成装置具备：分光滤光器，通过一对反射膜间的距离变化来切换透射的图像光的波长；摄像元件，拍摄透射分光滤光器的图像光；滤光器控制部；以及图像合成部，其中滤光器控制部在使反射膜间的距离变窄的去程扫描及使反射膜间的距离变宽的回程扫描中，分别将透射光的波长切换为多个波长，并且在去程扫描及回程扫描中分别切换为红色、绿色及蓝色的各波长，图像合成部生成合成了在一次去程扫描中得到的红色、绿色及蓝色的各分光图像的彩色图像，并且生成合成了在一次回程扫描中得到的红色、绿色及蓝色的各分光图像的彩色图像。
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公开(公告)号：CN112311980A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202010719618.9
申请日：2020-07-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种分光相机，能够易于对波长可变干涉滤光器与摄像元件进行对位，并且能够拍摄准确的分光图像。分光相机具备：干涉滤光器，具备一对反射膜；以及摄像元件，拍摄透射过一对所述反射膜的图像光，所述干涉滤光器在与穿过一对反射膜的所述图像光的光路重叠的位置处，设置有使所述图像光的透射特性变化的标记。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105391920B
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201510526441.X
申请日：2015-08-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西村晃幸
Abstract: 本发明提供一种可以迅速取得高精度的分光图像的分光图像取得装置以及分光图像取得方法。分光相机具备具有一对反射膜和变更反射膜间的间隙尺寸的静电致动器的波长可变干涉滤波器(5)、具有多个摄像像素的摄像部(122)以及滤波控制部(153)，该滤波控制部(153)根据记录有用于摄像部(122)的各摄像像素接收目标波长的控制量的受光波长数据，控制静电致动器。作为受光波长数据，对每个摄像像素设定从波长可变干涉滤波器(5)射出的目标波长的取得次数、且按间隙驱动量变小的顺序设定该取得次数，记录用于使目标波长的光以设定的取得次数射出的值。
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公开(公告)号：CN102636829B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201210033130.6
申请日：2012-02-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B26/06
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块和光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；以及第二电极，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；并且第二基板具备设置了第二反射膜的可动部、以及保持可动部并允许可动部在基板的厚度方向移动的连接保持部，连接保持部围绕可动部连续地形成且其厚度尺寸小于可动部的厚度尺寸，第二电极设置在第二基板的厚度尺寸比连接保持部大的部分。
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公开(公告)号：CN103376544B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201310121583.9
申请日：2013-04-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块以及电子设备。其中，波长可变干涉滤波器包括设置有固定反射膜及固定侧电极的固定基板，以及设置有可动反射膜及可动侧电极的可动基板，在滤波器俯视观察中，固定侧电极以及可动侧电极设置在固定反射膜及可动反射膜重合的光干涉区域的外侧，固定侧电极的内径侧边缘位于比可动侧电极的内径侧边缘更靠近光干涉区域的一侧，固定侧电极的外径侧边缘位于比可动侧电极的外径侧边缘更远离光干涉区域的一侧。
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公开(公告)号：CN103528685B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201310276320.5
申请日：2013-07-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西村晃幸
CPC classification number: G01J3/433 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/26 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供能进行快速的分光测定的分光测定装置。分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），包括具有固定反射膜的固定基板、具有可动反射膜的可动基板、以及变更固定反射膜和可动反射膜之间的反射膜间间隙的间隙量的静电致动器；检测部（11），检测由波长可变干涉滤波器（5）取出的光的光强度；电压设定部（21）以及电压控制部（15），对静电致动器施加连续变化的模拟电压；电压监视部（22），监视施加给静电致动器的电压；存储部（30），存储V‑λ数据；以及光强度取得部（24），根据由电压监视部（24）监视的电压，在透过波长可变干涉滤波器（5）的光成为测定对象波长的定时，取得由检测部（11）检测的光强度。
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公开(公告)号：CN102636829A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210033130.6
申请日：2012-02-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B26/06
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块和光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；以及第二电极，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；并且第二基板具备设置了第二反射膜的可动部、以及保持可动部并允许可动部在基板的厚度方向移动的连接保持部，连接保持部围绕可动部连续地形成且其厚度尺寸小于可动部的厚度尺寸，第二电极设置在第二基板的厚度尺寸比连接保持部大的部分。
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