公开(公告)号：CN117871897A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202311297872.4

申请日：2023-10-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明提供物理量传感器和惯性计测装置，同时实现布线的自由度的提高和构造的适当化。物理量传感器包含基板、第1固定部、第1支承梁、可动体、第1固定电极固定部、第2固定电极固定部、第1固定电极部、第2固定电极部和第1布线。第1固定部固定于基板。第1支承梁的一端与第1固定部连接，沿着第2方向延伸。以第1支承梁为旋转轴检测物理量时的第2可动电极部的转矩小于以第1支承梁为旋转轴检测物理量时的第1可动电极部的转矩。可动体相对于第1支承梁在第4方向侧具有开口部，第1布线从第1固定电极固定部穿过开口部而引出到可动体的外部。

公开(公告)号：CN117452023A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202310914071.1

申请日：2023-07-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 物理量传感器以及惯性测量装置，能够避免伴随可动体的对称性的不良情况。物理量传感器(1)包含固定部(40)、支承梁(42)、可动体(MB)、第1固定电极部(10A)和第2固定电极部(50A)。可动体具有第1连结部(30)、第1基部(23A)、第1可动电极部(20A)、第2连结部(70)、第2基部(63A)和第2可动电极部(60A)。第1基部与第1连结部连接。第1可动电极部的第1可动电极从第1基部起向第1方向延伸，在第2方向上与第1固定电极部的第1固定电极对置。第2基部与第2连结部连接。第2可动电极部的第2可动电极从第2基部起向第1方向延伸，在第2方向上与第2固定电极部的第2固定电极对置。

公开(公告)号：CN117310206A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202310774656.8

申请日：2023-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 物理量传感器以及惯性测量装置，能够避免与质量分布的不均相伴的不良情况。物理量传感器(1)包括固定部(40A、40B)、支承梁(42A、42B)、可动体(MB)和第一固定电极组(10A、10B)。可动体(MB)与支承梁(42A、42B)的另一端连接，第一固定电极组(10A、10B)设置于基板(2)，并配置于支承梁(42A、42B)的第一方向(DR1)。可动体(MB)具有第一连结部(30A、30B)、第一基部(23)和第一可动电极组(20A、20B)。第一可动电极组(20A、20B)与第一固定电极组(10A、10B)在第二方向(DR2)上对置。而且，在设可动体(MB)的第三方向(DR3)上的重心位置的高度为hm、支承梁(42A、42B)的旋转中心的第三方向(DR3)上的高度为hr时，hm＝hr。

公开(公告)号：CN113358900B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202110187850.7

申请日：2021-02-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 永田和幸 ,  田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。该惯性传感器具备：基板；固定部，设置于基板；第一可动体，与基板相对，并能够以第一支承梁为第一旋转轴进行位移；第一支承梁，连接在第一方向上排列的第一可动体和固定部；第二可动体，能够因第二支承梁的变形而进行位移；第二支承梁，连接在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一可动体和第二可动体；以及突起，设置于基板或第二可动体，在从第三方向俯视观察时，该突起与第二可动体重叠，并且朝向第二可动体或基板突出。

公开(公告)号：CN112147370B

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202010579928.5

申请日：2020-06-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明公开了一种惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有基板、绕摆动轴摆动的可动体以及配置于基板的电极。可动体具有隔着摆动轴设置的第一可动部以及第二可动部，第一可动部具有相对于摆动轴与第二可动部对称的对称部以及位于比对称部距离摆动轴更远的一侧，并且与第二可动部非对称的非对称部。电极具有与对称部重叠的第一检测电极以及与对称部以及非对称部重叠且与可动体为相同电位的第一虚拟电极。并且，对称部与第一虚拟电极的分开距离大于对称部与第一检测电极的分开距离。

公开(公告)号：CN114895073A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210498536.5

申请日：2017-12-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。

公开(公告)号：CN113325200A

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN202110215442.8

申请日：2021-02-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明提供不易破损的物理量传感器、电子设备和移动体。关于物理量传感器，再将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向和第三方向时，具有：基板；以及可动体，与所述基板隔开空隙并在所述第三方向上对置，相对于所述基板在所述第三方向上位移，所述可动体具有：第一区域，具备在所述第三方向贯通并从所述第三方向观察时的开口形状为正方形的多个贯通孔；以及第二区域，不具备贯通孔，将所述贯通孔的一边的长度设为S0，将相邻的所述贯通孔彼此的间隔设为S1时，所述第二区域的所述第一方向的长度和所述第二方向的长度中的至少一方为S0+2×S1以上。

公开(公告)号：CN107063313B

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201610811648.6

申请日：2016-09-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  G01P3/44

Abstract: 本发明提供一种能够使检测精度提高的物理量传感器、具备所述物理量传感器的传感器器件、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：底基板(2)；可动部(42)，其相对于底基板(2)而对置，并以能够绕轴aY而摆动的方式设置，并且在俯视观察时以轴aY为边界而被划分为第一可动部(421)、和与第一可动部(421)相比而面积较大的第二可动部(422)；第一固定电极(51)，其以与第一可动部(421)对置的方式被配置在底基板(2)上；第二电极(52)，其以与第二可动部(422)对置的方式被配置在底基板(2)上，第一固定电极(51)以及第二固定电极(52)被构成为，对第一可动部(421)与第一固定电极(51)之间的第一边缘电容和第二可动部(422)与第二固定电极(52)之间的第二边缘电容的差分的至少一部分进行抵消。

公开(公告)号：CN109425334A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810986948.7

申请日：2018-08-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663 ,  G01P15/125

Abstract: 一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元，使检测灵敏度和可靠性提高。物理量传感器(100)包括：可动体(20)，呈平板状，在贯穿该平板状的平板面(28)的方向上具有多个开口(26)，能够以转动轴为中心摆动；支承基板(10)，通过支柱(14)与平板面(28)的一部分连结而成，使得隔开间隔地支承可动体的平板面；以及突起(15)，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，在支承基板(10)的与可动体(20)隔开间隔而重叠的区域，向可动体一侧突出设置，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，当设突起的最大外形尺寸为D时，开口(26)设置于除从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。

公开(公告)号：CN104345175B

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201410384431.2

申请日：2014-08-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种能够防止可动体贴附于基板上的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明所涉及的物理量传感器包括：基板(10)；具备可动电极部(21、22)的；以能够围绕第一轴(Q)进行位移的方式对可动体(20)进行支承的支承部(30、32)；第一固定电极部(50)和第二固定电极部(52)，在以第一轴(Q)为界将可动体(20)划分为第一部分(20a)以及第二部分(20b)的情况下，第一固定电极部(50)以与第一部分(20a)对置的方式而被配置于基板(10)上，第二固定电极部(52)以与第二部分(20b)对置的方式而被配置于基板(10)上，在基板(10)上设置有，在第一固定电极部(50)与第二固定电极部(52)之间的电极间区域(14a)内对可动体(20)与基板(10)之间所产生的静电力进行抑制的保护部(60)。