公开(公告)号：CN105313466B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201510379558.X

申请日：2015-07-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 板山泰裕 ,  米村贵幸

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/135 ,  H01L41/083 ,  G01H11/08

Abstract: 本发明提供一种能够提高利用90°电畴翻转产生位移的压电体层的压电常数的压电元件。在基板上依次层叠有第1电极(60)、压电体层(70)和第2电极(80)，该压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti且具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，压电体层(70)具有作为正方晶的晶体结构，并且该晶体在基板上进行{100}取向，且具有相对于层叠方向垂直的(100)面和(001)面的各区域混存于晶格内，压电体层(70)的复合氧化物由下述通式(1)表示。xPb(Ni1/3,Nb2/3)O3‑yPbZrO3‑zPbTiO3…(1)(10≤x≤40，0＜y≤40，50≤z≤90)

公开(公告)号：CN107949480A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201680050676.9

申请日：2016-08-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫 ,  板山泰裕 ,  横山直人 ,  平井荣树 ,  高部本规

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/319

Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。

公开(公告)号：CN105313466A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510379558.X

申请日：2015-07-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 板山泰裕 ,  米村贵幸

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/135 ,  H01L41/083 ,  G01H11/08

Abstract: 本发明提供一种能够提高利用90°电畴翻转产生位移的压电体层的压电常数的压电元件。在基板上依次层叠有第1电极(60)、压电体层(70)和第2电极(80)，该压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti且具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，压电体层(70)具有作为正方晶的晶体结构，并且该晶体在基板上进行{100}取向，且具有相对于层叠方向垂直的(100)面和(001)面的各区域混存于晶格内，压电体层(70)的复合氧化物由下述通式(1)表示。xPb(Ni1/3,Nb2/3)O3-yPbZrO3-zPbTiO3…(1)(10≤x≤40，0＜y≤40，50≤z≤90)。