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公开(公告)号：CN103135354A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210272274.7
申请日：2012-08-01
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/016 , G02F1/1333 , H01L23/29
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN102053498B
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201010190605.3
申请日：2010-05-27
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)聚苯并噁唑前体，该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合，和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)包含交联官能团的酚类化合物；以及(E)溶剂。
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公开(公告)号：CN102540724A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110238394.0
申请日：2011-08-18
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/312
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0751 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供了正型光敏树脂组合物，其包括：(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。
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公开(公告)号：CN101978322A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200880128156.0
申请日：2008-12-31
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0751 , Y10S430/107
Abstract: 根据本发明一具体实施方式的正型光敏性树脂组合物包括聚酰胺酸或聚酰胺酸酯化合物，其包括以本说明书定义的式1表示的重复单元；光敏性重氮醌化合物；硅烷化合物；酚化合物；及溶剂。该正型光敏性树脂组合物可在260℃或更低的低温固化，并具有高敏感性、分辨率、残留物去除、基材附着性、和图案形成性能以及低的膜收缩。
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公开(公告)号：CN104166308B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201310660941.3
申请日：2013-12-09
Applicant: 第一毛织株式会社
Abstract: 本发明公开一种用于彩色滤光片的光敏树脂组合物及使用其的彩色滤光片,该用于彩色滤光片的光敏树脂组合物，包括（A）黄色或橙色染料；（B）由以下化学式1表示的花菁染料和金属络合物染料的染料组合；（C）丙烯酰类粘合剂树脂；（D）可光聚合单体；（E）光聚合引发剂；以及（F）溶剂，以及使用其的彩色滤光片。在以下化学式1中，每个取代基与具体实施方式中描述的相同。[化学式1]
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103901717B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201310341986.4
申请日：2013-08-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G02B5/201 , G03F7/027 , G03F7/033
Abstract: 本发明公开一种用于彩色滤光片的光敏树脂组合物及使用其的彩色滤光片，该光敏树脂组合物包含（A）着色剂，包括选自以下的至少一种：由以下化学式1表示的化合物以及包括由以下化学式2和以下化学式3表示的重复单元的化合物；（B）粘合剂树脂；（C）可光聚合单体；（D）光聚合引发剂；和（E）溶剂。在以下化学式1至3中，各取代基与具体说明中所限定的相同。
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公开(公告)号：CN103135354B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210272274.7
申请日：2012-08-01
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/016 , G02F1/1333 , H01L23/29
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN103901717A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310341986.4
申请日：2013-08-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G02B5/201 , G03F7/027 , G03F7/033
Abstract: 本发明公开一种用于彩色滤光片的光敏树脂组合物及使用其的彩色滤光片，该光敏树脂组合物包含（A）着色剂，包括选自以下的至少一种：由以下化学式1表示的化合物以及包括由以下化学式2和以下化学式3表示的重复单元的化合物；（B）粘合剂树脂；（C）可光聚合单体；（D）光聚合引发剂；和（E）溶剂。在以下化学式1至3中，各取代基与具体说明中所限定的相同。
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公开(公告)号：CN102540725B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201110374325.2
申请日：2011-11-22
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物，所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。在上述化学式1中，各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号：CN103186039A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210287599.2
申请日：2012-08-13
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G8/28 , C08G73/22 , C08L61/14 , C08L79/04 , G03F7/023 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。 在化学式1和2中，R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。
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