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公开(公告)号：CN102531910A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110301200.7
申请日：2011-09-28
IPC: C07C205/42 , C07C201/12 , G03F7/039
CPC classification number: C07C205/42 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明提供了包括由化学式1表示的化合物的邻硝基苄酯化合物，和包含该邻硝基苄酯化合物的正型光敏树脂组合物。本发明还提供了一种利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号：CN102159995A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200880131180.X
申请日：2008-12-31
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , Y10S430/107
Abstract: 本发明提供了一种正性光敏树脂组合物，包括：(A)聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)聚酰胺酸酯化合物；以及(E)溶剂。该正性光敏树脂组合物可以减少膜收缩，具有高感光度、高分辨率、以及极好的残留物去除性能，并且可以实现良好的图案形状。
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公开(公告)号：CN102109763A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010597687.3
申请日：2010-12-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0755
Abstract: 本申请披露的内容涉及一种正性光敏树脂组合物，包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰胺酸、或它们的组合的树脂前体；(B)沸点从约210℃到约400℃范围且极性从约1D到约4D范围的溶解控制剂；(C)产酸剂；(D)硅烷基化合物；以及(E)溶剂。聚苯并噁唑前体包括由化学式1表示的重复单元，或由化学式1和2表示的两种重复单元，并且在至少一端具有热可聚合官能团。聚酰胺酸包括化学式50和51的重复单元。在化学式1和化学式2中，每个取代基与说明书中定义的相同。在化学式50和51中，每个取代基与说明书中定义的相同。
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公开(公告)号：CN101727006B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN200910179894.4
申请日：2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物，该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体，其包括：化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团；(B)第二聚苯并噁唑前体，其包括化学式3的重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂。
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公开(公告)号：CN102566274B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110349054.5
申请日：2011-11-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L23/296 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103186047A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210331594.5
申请日：2012-09-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0755 , G03F7/085 , Y10S430/107
Abstract: 本申请公开了一种正型光敏树脂组合物和使用其的显示器件及有机发光器件。该正型光敏树脂组合物，包括（A）选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体及其组合的碱性可溶解树脂，（B）光敏性的二氮醌（diazoquinone）化合物，（C）下列化学式1代表的化合物，和（D）溶剂，以及使用其的显示器件和有机发光器件。化学式1与具体实施方式中的限定的是相同的。
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公开(公告)号：CN102109763B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201010597687.3
申请日：2010-12-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0755
Abstract: 本申请披露的内容涉及一种正性光敏树脂组合物，包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰胺酸、或它们的组合的树脂前体；(B)沸点从约210℃到约400℃范围且极性从约1D到约4D范围的溶解控制剂；(C)产酸剂；(D)硅烷基化合物；以及(E)溶剂。聚苯并噁唑前体包括由化学式1表示的重复单元，或由化学式1和2表示的两种重复单元，并且在至少一端具有热可聚合官能团。聚酰胺酸包括化学式50和51的重复单元。在化学式1和化学式2中，每个取代基与说明书中定义的相同。在化学式50和51中，每个取代基与说明书中定义的相同。
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公开(公告)号：CN102566274A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110349054.5
申请日：2011-11-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L23/296 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]
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公开(公告)号：CN102053498A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010190605.3
申请日：2010-05-27
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)聚苯并噁唑前体，该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合，和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)包含交联官能团的酚类化合物；以及(E)溶剂。
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公开(公告)号：CN101727006A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910179894.4
申请日：2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物，该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体，其包括：化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团；(B)第二聚苯并噁唑前体，其包括化学式3的重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂。
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