公开(公告)号：CN205595308U

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201490000909.0

申请日：2014-07-25

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 亚隆·P·威波 ,  查理斯·T·卡尔森

IPC: H01L21/265

CPC classification number: B32B37/18 ,  H01J2237/31711 ,  H01L21/266 ,  Y10T29/49895

Abstract: 本实用新型提供一种工件处理时所用的罩幕，其包括：图案平板，包括平面部分，所述平面部分包括形成工件处理时所用图案的连续开口；以及装配框，包括：外周缘，所述平面部分固定于所述外周缘上；以及对准突出部，包括一个或更多个活动接头，用于进行所述装配框与所述图案平板之间的对准；以及结构结合物，用以固定所述图案平板与所述装配框。本实用新型可制造成本较低的罩幕。

公开(公告)号：CN205595318U

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201490000908.6

申请日：2014-07-25

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 亚隆·P·威波 ,  查理斯·T·卡尔森 ,  麦克·河南 ,  陆伊基·G·亚玛多 ,  克里斯多夫·尼尔·葛兰特 ,  詹姆斯·D·史瑞斯奈

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/682 ,  C23C14/04 ,  Y10T29/49895

Abstract: 本实用新型提供一种用于工件处理的系统。所述系统包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个罩幕包括具有图案的中心部分，以及从中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于一个或更多个突出部中的固定孔并连接至上部平板的底面，使得多个罩幕的每一个中心部分与上部平板中的个别开口对准；以及偏置元件，在上部平板的底面与每一个罩幕之间产生分离力。因此，本实用新型提供能够让多个罩幕对准至多个工件的系统，此对准可以快速而不昂贵的方式完成。