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公开(公告)号：CN1252697C
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200410003473.3
申请日：2004-03-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种新型近场光存储深亚微米微飞行头，属光存储技术领域。为了克服现有技术三不足，本发明公开了一种近场光存储深亚微米微飞行头，包括承载微工作台、SIL和聚焦物镜，承载微工作台底面整体上是沿长度方向和宽度方向的抛物面叠加形成的类球面，承载微工作台前端开有中心槽；SIL上半部分为球冠面，下半部分为用于装卡定位的长方体基座，长方体基座的底面为正方形，SIL采用微装配技术嵌入所述承载微工作台前端的中心槽；聚焦物镜通过底部的圆柱形平台粘结在承载微工作台上表面。本发明采用了集成SIL与物镜于一体的结构设计，保证在工作过程中物镜后工作距恒定，提高了飞行头的近场耦合效率、飞行稳定性和抗扰动能力。
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公开(公告)号：CN1232801C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200310115538.9
申请日：2003-11-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 高精度超低速双轴伺服测试用的测试转台属于运动伺服技术领域，其特征在于：它以多传感器与高精密减速器配合实现系统的高精度超低速控制，即利用成对使用的高精度角位移传感器构成互补式测量组件，实现了系统的高精度实时运动参数及系统变形量的测量；利用位于各力矩电机和内外框架之间的减速器实现微位移和小位移的转换、大转动惯量和小转动惯量的转换，以利用较小的力灵活地驱动测试转台。当选择角位置传感器分辨率为1″时，系统跟踪速度低于1(″/时秒)；系统角跟踪和测量精度为±1.5。
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公开(公告)号：CN1546951A
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN200310115538.9
申请日：2003-11-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01D21/00
Abstract: 高精度超低速双轴伺服测试用的测试转台属于运动伺服技术领域，其特征在于：它以多传感器与高精密减速器配合实现系统的高精度超低速控制，即利用成对使用的高精度角位移传感器构成互补式测量组件，实现了系统的高精度实时运动参数及系统变形量的测量；利用位于各力矩电机和内外框架之间的减速器实现微位移和小位移的转换、大转动惯量和小转动惯量的转换，以利用较小的力灵活地驱动测试转台。当选择角位置传感器分辨率为1″时，系统跟踪速度低于1(″/时秒)；系统角跟踪和测量精度为±1.5。
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公开(公告)号：CN1176463C
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN03137755.6
申请日：2003-06-24
Applicant: 清华大学
Abstract: 二级寻址高密度母盘刻录机刻写机构，属于超高密度光存储技术领域。为了解决高密度母盘刻录机精确寻址定位和稳定、高速的调焦刻录问题，本发明公开了二级寻址高密度母盘刻录机刻写机构，包括高精度导轨，驱动架、激光器、压电陶瓷PZT、支撑臂、棱镜、悬臂、筒状压电陶瓷PZT堆和透镜组；驱动架两侧具有凹槽与高精度导轨配合，压电陶瓷PZT固定在驱动架和支撑臂中间，驱动架、压电陶瓷PZT和支撑臂具有一通槽，支撑臂的末端嵌有棱镜，悬臂一端固定在支撑臂的下表面，另一端连接内嵌透镜组的筒状压电陶瓷PZT堆。本发明可保证光学头在光盘上的定位精度在几十nm内，且SIL透镜与母盘的距离远小于激光波长。
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公开(公告)号：CN1166554C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN01140450.7
申请日：2001-12-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压电式柔性驱动放大可调量程微夹持手，属于微机电系统技术领域，包括微致动器、柔性放大机构、尺寸预调机构和微夹持手；柔性放大机构固定在安装板上，尺寸预调机构固定在柔性放大机构的上部，微夹持手置于尺寸预调机构的上部，微致动器镶嵌于柔性放大机构的横向顶杆和支撑杆之间。本发明设计的微夹持手，空间结构紧凑，运动与力传递的可靠性强，非线性误差小，在微机械精密加工、微装配、微型机器人等领域将有广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1461000A
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：CN03137553.7
申请日：2003-06-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 二级寻址高密度母盘刻录机的系统级芯片，属于超高密度光存储技术和超大规模集成电路领域。为了解决高密度母盘刻录机精确寻址定位和稳定、高速的调焦刻录问题，本发明公开了一种二级寻址高密度母盘刻录机的系统级芯片，包括母盘刻录机主控制器，系统总线，寻址定位数字伺服器，误差信号检测器和光学系统控制器；误差信号检测器包括寻址定位误差信号检测器和聚焦定位误差信号检测器；光学系统控制器包括近场SIL聚焦控制器和激光器控制器；寻址定位数字伺服器，误差信号检测器和光学系统控制器分别通过系统总线与母盘刻录机主控制器相连。本发明集成度高，功耗低，抗干扰能力强，误差小，控制处理的速度快。
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公开(公告)号：CN1410346A
公开(公告)日：2003-04-16
申请号：CN02153484.5
申请日：2002-11-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种静电致动微夹持器，属于微机电系统(MEMS－Micro－electro mechanical Systems)领域。本微夹持器是以静电作为驱动力源，夹持器由驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块、微夹持臂和底板组成，驱动电极、定梳齿、限位块以键合方式固定在底板上，柔性结构为连续的S形结构，一端与驱动电极相连，一端与动梳齿相连，动梳齿的另一端与微夹持臂相连。在驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块和微夹持器的上表面都溅射有金属层，金属层应为易于与铝、金等金属导线压焊的材料如金。本发明静电致动微夹持器响应速度快，夹持力大，控制容易、制造方便。
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公开(公告)号：CN116088022A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211301349.X
申请日：2022-10-24
Applicant: 清华大学
IPC: G01T1/02
Abstract: 本发明提供了一种基于光纤微弯损耗的在线辐射总剂量检测方法，所述方法包括：首先，将检测装置中的反应腔体放置在待检测位置；反应腔体上设置有透射窗，反应腔体中设置有聚乙烯探测材料；其次，将透射窗设置为面对辐射源的方向；反应腔体上设置有弹性薄膜，使反应腔体内部为密封环境；然后，获取检测装置中的光纤微弯传感器检测到的当前时刻的功率值；该光纤微弯传感器中的光纤一端连接光源，一端连接光功率计，光纤设置于弹性薄膜正上方；最后，根据当前时刻的功率值，确定当前时刻的辐射总剂量。本发明基于光纤微弯损耗原理，通过实时监测光纤功率变化，计算得到探测材料接收到的辐射总剂量，实现对目标环境辐射总剂量的在线检测。
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公开(公告)号：CN115755139A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211292612.3
申请日：2022-10-21
Applicant: 清华大学
IPC: G01T1/02
Abstract: 本发明提供了一种在线辐射总剂量检测方法，该方法包括：根据辐射源信息，确定对应的检测装置；该检测装置包括辐照腔和屏蔽箱，辐照腔将接收的辐射衰减至目标阈值内；将检测装置放置在目标检测位置；打开屏蔽箱中的光源和光功率计；该辐照腔内部设置有光纤，该光纤的一端连接至屏蔽箱中的光功率计，另一端连接至屏蔽箱中的光源；该光功率计检测光纤的光功率值，将光功率值通过线缆发送至计算机；计算机根据所述光功率值，确定所述目标检测位置的辐射总剂量。本发明利用光纤辐射损伤的原理，通将检测装置放置在目标检测位置，通过实时检测该装置内光纤的光功率值变化，计算得到对应的辐射总剂量，实现了对目标环境的辐射总剂量的在线检测。
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公开(公告)号：CN101957179B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201010265743.3
申请日：2010-08-27
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供了一种光纤位移测量系统和测量方法，其中的测量系统具体包括：光纤光强调制模块，包括：光源、分束镜、透镜组、发射光纤和接收光纤；位移传感模块，包括探测头；信号检测与控制模块，包括反馈探测板、接收探测板和信号处理板；光源输出的光束经分束镜分成两路：第一路光束经反馈探测板传输至信号处理板，由信号处理板根据检测得到的第一路光束的输出功率变化，对光源进行反馈电压控制；第二路光束经透镜组耦合至发射光纤；探测头得到待测物体位移变化的输出位移，由输出位移对发射光纤的输出光束进行光强调制；调制后光束由信号处理板处理得到位移测量结果。本发明结构简单、成本低，且可以实现灵敏度高、稳定性高的光纤位移测量。
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