-
公开(公告)号:CN110970720B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN201911222136.6
申请日:2019-12-03
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种耐高温可调频柔性天线及其制作方法,该耐高温可调频柔性天线采用柔性云母片作为柔性基底层,并通过在金属图层与柔性云母片之间设置介电可调陶瓷薄膜,在柔性云母片远离介电可调陶瓷薄膜的一侧上设置调整电极,使得该耐高温可调频柔性天线在能够耐受较高温度的同时,还能够对天线的工作频率进行调整。
-
公开(公告)号:CN111044183B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201911348848.2
申请日:2019-12-24
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 柔性压力传感及其制备方法,该柔性压力传感器包括,第一电极层、第二电极层、介电层、设置于介电层与第一电极层之间的第一过渡层及设置于介电层与第二电极层之间的第二过渡层,第一过渡层由第一电极层材料及介电层材料混合而成,第二过渡层由第二电极层材料及第二过渡层材料混合而成。该柔性压力传感器能够使得不同的材料之间具有较高的结合力,提高压力传感器的可靠性。
-
公开(公告)号:CN109778122B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201811605608.1
申请日:2018-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种柔性声表面波传感器及其制作方法,包括柔性氮化铝薄膜及设置于所述柔性氮化铝薄膜上的电极层,所述柔性氮化铝薄膜包括铝基底及氮化铝膜层,所述氮化铝膜层包括第一氮化铝膜层及第二氮化铝膜层,所述铝基底、所述第一氮化铝膜层及所述第二氮化铝膜层依次层叠设置,所述电极层包括输入电极及输出电极,所述输入电极及所述输出电极间隔设置于所述第二氮化铝膜层上,所述第一氮化铝膜层为由所述铝基底的表面经过氮化处理而形成的膜层。该柔性声表面波传感器中的氮化铝膜层与基底之间的结合力较强。
-
公开(公告)号:CN111024273B
公开(公告)日:2021-12-24
申请号:CN201911382428.6
申请日:2019-12-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种具有温度稳定性的压力传感器及其制备方法,压力传感器包括第一电极、第二电极与聚合物介电层,第一电极与第二电极分别位于聚合物介电层的两个相对表面,聚合物介电层中分散有介电常数温度系数为负值的介电改性物。本申请在聚合物介电层加入介电常数温度系数为负值的介电改性物,从而通过调控介电层的介电常数对温度的变化,以补偿温度变化对介电层厚度和电极面积的影响,获得温度稳定的电容式压力传感器。
-
公开(公告)号:CN112736445A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011568408.0
申请日:2020-12-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 光调节柔性天线及其制作方法,该光调节柔性天线包括柔性基体层、线路层及光敏感材料,所述线路层设置于所述柔性基体层上,所述光敏感材料设置于所述柔性基体层内,所述柔性基体层的介电性能根据照射光线的特性发生改变。该光调节柔性天线能够通过光线的照射调节柔性天线的电学性能参数进行改变。
-
公开(公告)号:CN111138788A
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201911364940.8
申请日:2019-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C08L33/24 , C08L29/04 , C08L33/02 , C08L5/12 , C08L5/08 , C08L71/02 , C08F220/54 , C08F222/38 , C08F222/20 , C08K3/08 , G01K7/22
Abstract: 本发明提供一种温敏凝胶的制备方法,包括将液态金属、N-异丙基丙烯酰胺及其衍生物、交联剂、引发剂分散于介质中,制得混合液;使混合液在载体上形成预制体,并进行第一固化处理。温敏凝胶能够响应外部温度的变化,并在外部温度达到预设温度T2时,使分散于第一聚合物内的液态金属在连续相和分散相之间切换。所制得的温敏凝胶具有负温度效应,能在外部温度达到预设温度T2时实现导电;由于液态金属具有良好的导电性能和传热性能,使得温敏凝胶具有较高的灵敏度。本发明还提供由该制备方法制得的温敏凝胶、温敏传感器及其制备方法。
-
公开(公告)号:CN111024296A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201911403189.8
申请日:2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器及其制备方法,所述传感器包括介质层和设于所述介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层,其中,所述介质层包括基体层和分布于所述基体层中的多个孔道,所述孔道与外界连通以使所述孔道内的空气能够排出和吸入,所述孔道的孔壁还附着有压电薄膜层。本发明压力传感器通过孔洞和压电薄膜层的结合,使得检测灵敏度更高。同时,本发明还提供压力传感器的制备方法,该制备方法简单,适合工业化生产。
-
公开(公告)号:CN110767472A
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201810829730.0
申请日:2018-07-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括:提供一柔性金属衬底;以金属单质作为靶材,采用磁过滤多弧离子镀方法在柔性金属衬底上沉积形成金属薄膜;以钛酸锶作为靶材,采用磁控溅射方法在金属薄膜上沉积形成钛酸锶预制层;对沉积有金属薄膜和钛酸锶预制层的柔性金属衬底进行热处理,使金属薄膜中的金属原子向钛酸锶预制层扩散,得到陶瓷薄膜,陶瓷薄膜包括依次贴合于金属薄膜的金属原子掺杂钛酸锶的扩散固溶层和钛酸锶层。通过该制备方法实现了储能薄膜柔性化,同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度,可以用作薄膜电容器的电介质材料。
-
公开(公告)号:CN110767448A
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201811196366.5
申请日:2018-07-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜的制备方法。所述制备方法包括:提供一柔性金属衬底;以钛金属为靶材,采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上形成所述二氧化钛预制层,其中,所述磁过滤多弧离子镀方法的工作气氛为含氧保护气体;对带有二氧化钛预制层的柔性金属衬底进行热处理,得到柔性储能薄膜。通过该制备方法不仅实现了储能薄膜的柔性化,同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度,可以用作薄膜电容器的电介质材料。
-
公开(公告)号:CN112254747B
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202011044691.7
申请日:2020-09-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种柔性传感器及其制备方法,柔性传感器包括第一柔性基板与第二柔性基板,第一柔性基板与第二柔性基板具有导电性,第一柔性基板的一侧表面具有第一微结构阵列,第二柔性基板的一侧表面具有第二微结构阵列,第一微结构阵列的微结构间隙及第二微结构阵列的微结构间隙均设有介电层,第一微结构阵列与第二微结构阵列相向设置且微结构之间相互错位,以在微结构阵列之间形成微结构与微结构间隙配合的结构。外部压力导致微结构形变时,介电层处的电容信号发生变化以进行触觉反馈;外部剪切力使两个柔性基板的微结构之间的接触面积发生变化时,电阻信号变化以进行滑觉反馈,从而可以同时检测滑触觉,结构简单且更加精准。
-
-
-
-
-
-
-
-
-