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公开(公告)号：CN108663822A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810359717.3
申请日：2018-04-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米线波导的点衍射光源。本发明同时解决了针孔衍射波前能量较低以及光纤衍射波前数值孔径较小的问题。本发明的技术特点在于通过纳米线波导获得强限制的光场，进而在端面衍射产生近理想球面波。利用纳米线波导的极小截面获得更大数值孔径的衍射波前，具有更大的测量范围。采用单模光纤作为纳米线波导和空间光之间的纽带，在获得较强的光能量的同时，光纤的单模传输性质使衍射波前形状稳定，不会因为入射波前像差而影响衍射波前质量，具有更好的可重复性。并且由于纳米线波导的包层在微米量级，从而使两干涉波前的剪切率很小，不至于产生过密的干涉条纹。本发明结构灵活，为波前检测提供了一种方便可靠的高精度点衍射光源。
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公开(公告)号：CN105937885B
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201610283390.7
申请日：2016-04-29
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面子孔径拼接干涉检测中被测面定位匹配方法。本发明包括自由曲面旋转匹配、自由曲面轴向初定位和自由曲面位姿误差精密匹配三个部分；其中自由曲面旋转匹配主要利用莫尔条纹定位；自由曲面轴向初定主要利用连续测量离焦曲线匹配方法；自由曲面位姿误差精密匹配主要利用子孔径波前系数计算全口径位姿误差，再行修正模型位姿的正向计算方法。从而自由曲面模型与实际自由曲面位姿的一致性匹配。本发明避免了实际的机械调整过程，替代以调整系统模型的位姿向实验靠近，最终保证模型与实际实验的被测面定位匹配。
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公开(公告)号：CN108254936A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810038719.2
申请日：2018-01-16
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B27/42
Abstract: 本发明公开了一种点衍射干涉仪中基于波导效应的针孔衍射分析方法。本发明解决了常见的针孔衍射分析方法难以实现既加快衍射光场的计算速度又准确分析针孔壁与孔内光场相互作用的难题。本发明的技术特点在于，将针孔作为圆柱形波导来处理其对光场的传导作用，其具体步骤为通过求解麦克斯韦方程组得到针孔后端面处与入射光场相匹配的导模的场分布，进而利用基于场等效原理的近远场变换从针孔后端面处的光场中求得距离针孔有限远处的衍射光场，最终通过分析衍射光场的非径向分量得到衍射波前的性质。本发明为基于电磁场数值方法的针孔衍射分析提供了物理概念和理论支撑，对针孔衍射波前的准确分析有着重要的意义。
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公开(公告)号：CN105891801B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201610216993.5
申请日：2016-04-07
Applicant: 浙江大学
IPC: G01S7/48
Abstract: 本发明公开了一种多谐波外差锁定视场展宽迈克尔逊干涉仪的装置。本发明通过相位调制的方式产生等频率间距的多谐波成分，这些谐波分量被FWMI透过率函数调制后发生外差过程，从而能生成反映FWMI谐振频率漂移大小和方向信息的反馈信号。在反馈控制的不断作用下，FWMI的谐振频率会趋于激光器中心频率并稳定下来，这时反馈控制信号将回到0，从而完成频率锁定。本发明能自动补偿因为环境温度等原因带来的FWMI谐振频率漂移，且锁定精度高，锁定过程智能迅速，为FWMI光谱滤光器在HSRL中的高稳定运行创造了根本保障，对提高HSRL大气探测的精度具有极大的促进作用。
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公开(公告)号：CN104656173B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201510066327.3
申请日：2015-02-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光通量约束的随机编码混合光栅。本发明包括不透明掩膜S2和透明基底S1；掩膜S2覆盖在基底S1上的部分区域，使得光栅上每个面积为S的正方形区域的光通量满足分布，其中为所述随机编码混合光栅的栅距，并且在各个面积为S的正方形区域内掩膜区块呈随机排布；另对基底S1上范围内且无掩膜覆盖区域的基底加以刻蚀，所述刻蚀深度使得通过刻蚀区域透光部分的光波相对于未刻蚀基底透光部分的光波超前π相位。本发明一方面省略了传统交叉光栅四波前横向剪切干涉中的级次选择窗口，简化系统结构的同时提高了系统稳定性，另一方面在形成的四波前横向剪切干涉图中也减少了其他衍射级次的干扰，提高了对待测波前的检测精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103809167B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410025290.5
申请日：2014-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种FP干涉型光谱滤波器谐振频率锁定装置及方法。本发明包括激光器分束系统、FP干涉型滤波器系统和光电探测系统；激光器分束系统包括激光器、准直扩束器、第一分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第二分光镜、第三反射镜；FP干涉型滤波器系统包括FP干涉滤波器和频率谐调设备；光电探测系统包括第三分光镜、第一透镜、第二透镜、第一光电倍增管、第二光电倍增管、第三光电倍增管、差分放大器、示波器；具体包括如下步骤：1.计算两束探针光束的入射角；2.调节两束探针光束的入射角；3.查看示波器，判断锁频状态。本发明实现简单，能够避免传统锁频方法对电路和光路的复杂要求，从而具有较强的系统稳定性和鲁棒性。
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公开(公告)号：CN103776388B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201410010751.1
申请日：2012-03-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束，平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉，形成干涉图，经成像系统后成像于探测器处；调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度，使探测器得到零条纹干涉图，移去对准平板，实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题，减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。
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公开(公告)号：CN104930971A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510325905.0
申请日：2015-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法。本发明包括激光器、准直扩束系统、分光板、对准板、成像系统、探测器、参考平面反射镜、遮光板、部分补偿透镜、被测面；被测面可沿与干涉仪光轴平行的直线导轨移动；调整部分补偿透镜的倾斜，使其前后表面反射的光斑同心，且与干涉条纹同心，调整部分补偿透镜的偏心，使光斑和干涉条纹中心与对准板的像中心对准；夹持被测面，沿导轨移动被测面靠近和远离部分补偿透镜，调整被测面的位姿，使由被测面返回的光斑中心始终与对准板的像中心对准。本发明简单、迅速，无需额外设计和加工光机元件，能有效提高对准效率、降低成本，实现部分补偿透镜和被测面的高精度、通用化对准。
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公开(公告)号：CN102591031B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210054455.2
申请日：2012-03-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束，平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉，形成干涉图，经成像系统后成像于探测器处；调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度，使探测器得到零条纹干涉图，移去对准平板，实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题，减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。
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公开(公告)号：CN102680477B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210123930.7
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像灰度信息熵值，拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线，通过搜寻曲线中极小值的方法，获得正焦位置，获得各特征点离焦量。设计一种两板式弹性预紧，两点调整俯仰与侧摆的调平装置。通过建立离焦量与调整量换算模型，将三特征点处的离焦量换算为两调整点的调整量，进行调平操作。本发明解决了大尺寸光学元件在显微镜全范围扫描检测过程中出现的因光学元件与显微镜焦平面的不平行而造成的离焦问题。
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