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公开(公告)号：CN115268123A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210890019.2
申请日：2022-07-27
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及一种电调光波导相位调制器及相位调制方法，上述相位调制器包括：基底、缓冲介质层、光学波导组件和压电组件，缓冲介质层沉积于基底上，光学波导组件沉积于缓冲介质层上，压电组件沉积于光学波导组件上，压电组件由外向内依次包括外电极、压电材料层和内电极，缓冲介质层由绝缘介质或导电介质制成。本发明中将压电组件与光学波导组件相结合，并可采用直流电压偏置的方式给压电层施加电压，从而通过逆压电效应产生应力并作用于光波导组件上，使其折射率发生改变，从而达到调制传播光相位的目的；本发明中可同时利用电光效应与应力光学效应进一步提升调制带宽与调制效率。
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公开(公告)号：CN114222231A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111505684.7
申请日：2021-12-10
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风，包括具有空腔的基底；正对空腔设置的压电振膜，压电振膜采用多根固支梁结合的结构，即梁的两端均固定在衬底上，梁的中心均处于同一位置；正对压电振膜设置的接收膜，接收膜与压电振膜之间采用介质层连接；固支梁型压电振膜将电极划分为四个区域，采用有序的电连接方式，将各固支梁串联起来；电极分为顶部电极、中部电极和底部电极，顶部电极和底部电极均只有一层，中部电极由两层电极组成。本发明采用了接收膜的结构以解决固支梁结构之间的大间隙所带来的低频响应问题，并且采用特殊的中部电极设计，极大地提高了双晶压电式MEMS麦克风的输出灵敏度。
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公开(公告)号：CN118868846A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411327971.7
申请日：2024-09-24
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/13 , H03H9/02 , H03H9/145 , H03H9/17 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/64 , H03H3/02 , H03H3/08
Abstract: 本申请提供了啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法，谐振器包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层，啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成，按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层，多个布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成，啁啾型布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关并沿着层叠方向呈线性变化。本申请提供的啁啾型衬底，通过将各布拉格反射层的厚度设计成线性相关，改善了谐振器目标频率声波反射率，增大衬底的吸收带宽和低频段增强折射率，在4GHz以上，使啁啾型布拉格反射层的反射能力具有频段集中性，有效抑制高频主模态旁的伪模态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117353698A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311441991.2
申请日：2023-10-30
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种抑制横波泄露的体声波谐振器，该谐振器自上而下包括第一电极层、压电层、第二电极层和衬底；第一电极层设置于压电层上层即远离衬底的一侧，第一电极层的谐振区内设有顶电极；第二电极层设置于压电层下层即靠近衬底的一侧，第二电极层的谐振区内设有底电极；还包括若干声反射栅结构，声反射栅结构设置于第一电极层的谐振区外和/或第二电极层的谐振区外；若干声反射栅结构之间存在多个空气隙隔离层；衬底包括支撑结构和空腔结构。当声波传播到声反射栅结构时，由于其形状不规则、宽度不一且与谐振器谐振区边缘不平行，声波会被多次反射、折射和散射，使其传播路径变的复杂，有效抑制横向声波泄露及杂波响应，提高谐振器的Q值。
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公开(公告)号：CN116549015A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310462412.6
申请日：2023-04-26
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种超声检测膝关节活动及血流变化的可穿戴设备，包括一个超声波收发贴片。贴片上的超声波收发模块由PMUT阵列组成。贴片的组成结构包括：一个生物粘合层；一个超声波收发层；一个柔性电路层。其中超声波收发层，通过发射和接收回波，可以获取人体活动过程中关节摩擦情况和血流变化、积液等信息，采样得到的信息经过柔性电路层的处理，能得到个性化的健康反馈.此外，该膝关节检测系统还包括无线传输模块及相应外设装置。本发明仅用一层超声波收发层便可采集膝关节相关的生物信息；且采用MEMS工艺制备，该检测设备体积小，便于佩戴，能达到日常监护、及时预警的效果。
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公开(公告)号：CN116211242A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310157655.9
申请日：2023-02-23
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了一种VR屏下眼压监测装置。其包括：VR眼镜；压电式超声换能器阵列，具有多个PMUT单元，位于VR眼镜内，用以通过发射超声波信号采集角膜厚度信息；微处理器，用以根据角膜厚度信息判断眼压值是否异常，并在眼压值异常时关闭VR眼镜。本技术方案中，将压电微机械超声换能器阵列嵌入在VR眼镜内部，超声换能器通过发射超声波测量角膜厚度变化，并反馈给微处理器处理数据，当角膜厚度变化值达到预定值时，微处理器判定此时眼压值异常并在异常时关闭VR眼镜，强制使用者进入休息模式，保证VR眼镜使用者合理分配时间，做到安全用眼。本申请眼压监测具有实时性，可以动态监测VR眼镜使用者眼部状态，保证安全用眼的同时不会对使用者造成测量负担。
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公开(公告)号：CN115513365A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211131706.2
申请日：2022-09-16
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了一种基于FBAR的压力传感器及其制备方法。本技术方案中，包括具有二氧化硅的衬底，衬底底部开有背腔，衬底顶部刻有凹槽，凹槽内有硅柱，衬底顶部覆盖有种子层，种子层和衬底顶部凹槽一起围成了空气隙；在种子层上方是一个压电振荡堆结构，包括上下的顶电极和底电极，和中间夹着的压电层；压电层中开有通孔，将底电极暴露出来；顶电极部分和底电极暴露区域上沉积有电势连接线，顶部其余区域覆盖有钝化层。压电层中还开有释放孔，连接外部环境和空气隙。本申请压力传感器，可通过压力作用于空气隙上方的压电层，使压电层产生应变，改变压电层的刚度系数，导致谐振器的谐振频率发生改变，进而实现了压力的测量。
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公开(公告)号：CN114466282B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210081612.2
申请日：2022-01-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种声学换能器及声学装置，涉及声学换能器技术领域，所述声学换能器包括：换能器压电层、换能器介质层和换能器质量块，所述换能器介质层设于所述换能器压电层的中部一侧，所述换能器质量块设于所述换能器介质层背离所述换能器压电层的一侧，所述换能器压电层在其两端位置和所述换能器质量块的两个肩部位置依次设有电连接的四个电极组：第一电极组、第二电极组、第三电极组和第四电极组。本发明基于固支梁的结构特性，在换能器压电层的中部设置换能器质量块，换能器质量块能够增加换能器压电层振动时的应力较大的区域面积，在压电效应下生成的电信号质量更高，即本发明的声学换能器灵敏度更高。
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