使用法拉第笼的等离子体刻蚀方法

    公开(公告)号:CN111052319A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201880054020.3

    申请日:2018-10-19

    Abstract: 本说明书提供了使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法。所述等离子体蚀刻方法包括:将在其上表面上具有网部分的法拉第笼设置在等离子体蚀刻装置中的步骤;将石英基板设置在法拉第笼内部的步骤,所述石英基板在其一个表面上具有金属掩模,所述金属掩模中具有开口;以及其中使用等离子体蚀刻对石英基板进行蚀刻的图案化步骤。其中,法拉第笼的底表面包含具有比金属掩模更低的电离倾向的金属。

    用于制造衍射光学元件的设备和方法

    公开(公告)号:CN117795384A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202280054126.X

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本公开内容提供了用于制造衍射光学元件的设备和用于制造衍射光学元件的方法,所述设备包括:用于制造衍射光学元件的棱镜,所述棱镜包括光反应性材料附接表面和与光反应性材料附接表面以预定角度倾斜的光反射表面;以及光源,所述光源定位在棱镜的相对于附接至光反应性材料附接表面的光反应性材料的相对侧,并且被配置成朝向光反应性材料照射光。

    全息光学元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN113728257A

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202080030260.7

    申请日:2020-09-24

    Abstract: 本公开内容的一个实施方案提供了全息光学元件和包括全息光栅的全息光学元件的制造方法,所述制造方法包括:通过用光敏树脂涂覆基底的一个表面来形成光敏基底的步骤(a);以及通过用激光照射光敏基底的一个表面和另一个表面中的每一者来记录全息光栅的步骤(b),其中在步骤(a)中,施加光敏树脂使得光敏树脂涂层的高度沿预定方向变化。

    衍射导光板和制造衍射导光板的方法

    公开(公告)号:CN111033118B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201880052560.8

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 本发明提供了厚度和重量减小的衍射导光板及其制造方法。具体地,提供了衍射导光板及其制造方法,所述衍射导光板包括第一衍射基底和设置在所述第一衍射基底上的第二衍射基底,其中:所述第一衍射基底包括在其一个表面上的第一衍射光栅层和在其另一个表面上的第二衍射光栅层;所述第二衍射基底包括在其一个表面上的第三衍射光栅层;所述第一衍射光栅层分离波长为550nm至700nm的光;所述第二衍射光栅层分离波长为400nm至550nm的光;以及所述第三衍射光栅层分离波长为450nm至650nm的光。

Patent Agency Ranking