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公开(公告)号:CN114109832B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202111445458.4
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种信息处理装置,具有:决定部,该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量,来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为,所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量;及比较部,该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较,并输出比较结果。
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公开(公告)号:CN114151343A
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN202111445710.1
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04C28/28 , G05B19/042
Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法,信息处理装置具备:读取部,该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件,存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件;检测部,该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据;及比较部,该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较,比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
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公开(公告)号:CN112664460A
公开(公告)日:2021-04-16
申请号:CN202011095546.1
申请日:2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置,能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备:泵壳(2),该泵壳在内部具有转子室(1);泵转子(5),该泵转子配置在转子室(1)内;旋转轴(7),该旋转轴固定有泵转子(5);电动机(8),该电动机与旋转轴(7)连结;侧罩(10A),该侧罩形成转子室(1)的端面;以及侧加热器(55A),该侧加热器配置在侧罩(10A)内。
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公开(公告)号:CN112664453A
公开(公告)日:2021-04-16
申请号:CN202011095756.0
申请日:2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置,能够防止由于热传导引起的泵壳的温度降低,能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备:泵壳(2),该泵壳在内部具有转子室(1);泵转子(5),该泵转子配置在转子室(1)内;旋转轴(7),该旋转轴固定有泵转子(5);电动机(8),该电动机与旋转轴(7)连结;侧罩(10A),该侧罩形成转子室(1)的端面;外壳构造体(16),该外壳构造体在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A)的外侧;以及隔热体(25A),该隔热体位于泵壳(2)与外壳构造体(16)之间。
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公开(公告)号:CN110568809A
公开(公告)日:2019-12-13
申请号:CN201910307098.8
申请日:2019-04-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G05B19/05
Abstract: 本发明提供一种控制装置、控制系统、控制方法、记录介质以及机械学习装置,该控制装置对包含马达的对象真空泵进行控制,具备:决定部,其利用对象真空泵或其它真空泵的过去的停止工序时的至少一个对象状态量,来决定该停止工序时的对象状态量的正常变动范围或正常时间变动举动,其中,该对象状态量是根据真空泵的停止工序时的负载而变动的状态量;和控制部,其对马达进行控制,控制部将对象真空泵的停止工序时的对象状态量与正常变动范围或正常时间变动举动进行比较,并根据比较结果变更停止工序中的马达的控制方法。
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公开(公告)号:CN110050125A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201880004933.4
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明具有:决定部,该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量,来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为,所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量;及比较部,该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较,并输出比较结果。
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公开(公告)号:CN104074766B
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201410116543.X
申请日:2014-03-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
Abstract: 本发明提供带有除害功能的真空泵,通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧,能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵(1),在真空泵(1)的排气口上附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而使其无害化的除害部(10),除害部(10)在筒状体(11)的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口,在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口,在筒状体(11)的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴(16),在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴(15),多个空气喷嘴(15)沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
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公开(公告)号:CN104074717B
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201410118130.5
申请日:2014-03-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
Abstract: 本发明提供一种带除害功能的真空泵,其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理,且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵(1)的排气口附设对从真空泵(1)排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵(1),该真空泵(1)设有热交换器(26),该热交换器(26)使用在除害部(10)中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体,将由热交换器(26)加热了的惰性气体导入真空泵(1)。
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公开(公告)号:CN106337844A
公开(公告)日:2017-01-18
申请号:CN201610527928.4
申请日:2016-07-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制由于被抽吸到壳体内部的气体而使电机受到损伤的情况的风扇洗涤器以及真空泵装置。风扇洗涤器具备:壳体,其具有气体吸入口以及气体吐出口;风扇,其被配置于壳体内;喷嘴,其向壳体内喷出液体;屏蔽电机,其连接于风扇。屏蔽电机具有:连接于风扇上的主轴、与主轴一体旋转的转子、被配置于转子的外周的定子、对转子和定子进行收纳的电机壳体以及在电机壳体内对配置有转子的转子室和配置有定子的定子室进行划分的壳。
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公开(公告)号:CN104179688A
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201410217789.6
申请日:2014-05-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/70 , B01D53/0438 , B01D53/685 , B01D53/74 , B01D53/8659 , B01D53/8662 , B01D53/92 , B01D2251/30 , B01D2252/103 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/1124 , B01D2253/206 , B01D2255/10 , B01D2257/2025 , B01D2257/204 , B01D2257/2042 , B01D2257/2045 , B01D2257/553 , B01D2257/556 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , F04B37/06 , F04B37/14
Abstract: 本发明以低成本且迅速地提供一种带有除害功能的真空泵,其在真空泵的后级附设有小型且可拆卸的除害部,通过变更所附设的除害部的种类、个数、排列的组合,从而可符合所要求的除害性能。该带有除害功能的真空泵(1),在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而无害化的除害部(10),废气的处理形式及/或废气的处理量及/或废气的处理性能不相同的多个除害部(10)中至少一个除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
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