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公开(公告)号：CN112997403B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN201980073441.5
申请日：2019-11-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供能够抑制谐振频率附近的纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(7)。压电性基板(2)具有高声速层和压电体层(6)。IDT电极(7)具有第一、第二汇流条(14、15)和相互交替插入的多个第一、第二电极指(16、17)。通过连结多个第一、第二电极指(16、17)各自的前端而形成的假想线即第一、第二包络线(A1、A2)分别相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。在位于多个第一电极指(16)与第二汇流条(15)之间的多个第一间隙(G1)及位于多个第二电极指(17)与第一汇流条(14)之间的多个第二间隙(G2)中的至少一个设置有第一电介质膜(9a、9b)，第一电介质膜(9a、9b)的密度比氧化硅的密度高。
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公开(公告)号：CN119072850A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202380030452.1
申请日：2023-03-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制无用波。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：支承构件，包含支承基板；压电层（14），设置在支承构件上；IDT电极（11），设置在压电层（14）上，具有相互对置的1对汇流条（第1、第2汇流条26、27）和多个电极指（多个第1、第2电极指28、29）；以及多个质量附加膜（17），设置在多个电极指上。在沿着支承构件以及压电层（14）的层叠方向观察的俯视下，在支承构件中的与IDT电极（11）的至少一部分重叠的位置设置有声反射部。在将压电层（14）的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在从与多个电极指延伸的电极指延伸方向正交的电极指正交方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域是交叉区域（F）。交叉区域（F）包含中央区域（H）、和在电极指延伸方向上夹着中央区域（H）相互对置的第1边缘区域（Ea）以及第2边缘区域（Eb）。多个质量附加膜（17）的至少一部分在俯视下分别与中央区域（H）重叠。在将沿着电极指正交方向的质量附加膜（17）的尺寸设为质量附加膜（17）的宽度时，至少1个质量附加膜（17）的宽度与其他质量附加膜（17）的宽度不同。
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公开(公告)号：CN118525453A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202380016140.5
申请日：2023-01-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种即使在设为在边缘区域设置了质量附加膜的结构的情况下也能够在谐振频率附近或反谐振频率附近抑制无用波的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备：支承构件，包含支承基板；压电层(14)，设置在支承构件上，包含钽酸锂或铌酸锂；以及IDT电极(11)，设置在压电层(14)上，具有1对汇流条(第1、第2汇流条26、27)和多个电极指(多个第1、第2电极指28、29)。在沿着支承构件以及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在支承构件中的与IDT电极(11)的至少一部分重叠的位置设置有声反射部。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在1对汇流条中的一个汇流条连接有多个电极指之中的一部分的电极指。在另一个汇流条连接有多个电极指之中的剩余的电极指。与一个汇流条连接的一部分的电极指和与另一个汇流条连接的剩余的电极指彼此相互交错对插。将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向，将与电极指延伸方向正交的方向设为电极指对置方向，在从电极指对置方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域是交叉区域(F)。位于交叉区域(F)与1对汇流条之间的区域是1对间隙区域(第1、第2间隙区域Ga、Gb)。交叉区域(F)具有中央区域(H)以及配置为在电极指延伸方向上夹着中央区域(H)的1对边缘区域(第1、第2边缘区域Ea、Eb)。弹性波装置(10)还具备：多个质量附加膜(第1、第2质量附加膜24、25)，跨1对边缘区域之中的至少一个边缘区域以及与该边缘区域邻接的间隙区域而设置，并且沿着电极指对置方向排列。多个质量附加膜设置为不位于相邻的电极指间的至少一部分。
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公开(公告)号：CN117981221A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202280063687.6
申请日：2022-09-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供一种在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，包含支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，是铌酸锂层或者钽酸锂层；和IDT电极(11)，设置在压电层(14)上，具有1对汇流条和多个电极指。在沿着支承构件(13)以及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与IDT电极(11)的至少一部分重叠的位置形成有声反射部(空洞部(10a))。在将压电层(14)的厚度设为d，将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在IDT电极(11)的一个汇流条连接有多个电极指之中的一部分的电极指，在另一个汇流条连接有多个电极指之中的剩余的电极指，与一个汇流条连接的多个电极指和与另一个汇流条连接的多个电极指相互交错对插。将相邻的电极指彼此相互对置的方向设为电极指对置方向，在从电极指对置方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域是交叉区域。在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，交叉区域具有中央区域、和配置为在电极指延伸方向上夹着中央区域的1对边缘区域。位于交叉区域与1对汇流条之间的区域是1对间隙区域。材料相互不同的、至少1个第1质量附加膜(24)以及至少1个第2质量附加膜(25)设置在边缘区域以及间隙区域之中的至少一方，使得在电极指对置方向上排列。
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公开(公告)号：CN117981220A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202280063361.3
申请日：2022-09-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 本发明提供一种能够在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，包含支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，是铌酸锂层或钽酸锂层；以及IDT电极(11)，设置在压电层(14)上，具有一对汇流条和多个电极指。在沿着支承构件(13)以及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与IDT电极(11)的至少一部分重叠的位置形成有声反射部(空洞部(10a))。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在IDT电极(11)的一方的汇流条连接有多个电极指中的一部分的电极指，在另一方的汇流条连接有多个电极指中的剩下的电极指，连接于一方的汇流条的多个电极指和连接于另一方的汇流条的多个电极指彼此相互交错对插。将相邻的电极指彼此相互对置的方向设为电极指对置方向，在从电极指对置方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域。在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，交叉区域具有中央区域和配置为在电极指延伸方向上夹着中央区域的一对边缘区域。位于交叉区域与一对汇流条之间的区域为一对间隙区域。至少一个质量附加膜(24)设置在边缘区域以及间隙区域中的至少一者，在将质量附加膜(24)所位于的部分的、电极指对置方向上的任意的两个点设为第1点(O1)以及第2点(O2)时，至少一组的第1点(O1)以及第2点(O2)处的质量附加膜(24)的厚度相互不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117203894A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202280031220.3
申请日：2022-05-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制插入损耗的增大并且能够改善IMD的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备：支承基板(3)；中间层(4)，设置在支承基板(3)上；压电体层(9)，设置在中间层(4)上；接合层(7)，设置在支承基板(3)与压电体层(9)之间；低电阻率层(8)，设置在支承基板(3)与压电体层(9)之间；和IDT电极(13)，设置在压电体层(9)上，具有1对汇流条和多个第1电极指(18)以及多个第2电极指(19)。低电阻率层(8)设置在比接合层(7)靠压电体层(9)侧，并且低电阻率层(8)以Al为主成分。
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公开(公告)号：CN111183584B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201880063298.7
申请日：2018-09-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 多工器(1)的第1滤波器(11)具有由多个弹性波谐振器(110)构成的梯型滤波器构造。通过将各谐振器(110)所具有的一对梳齿状电极(32a、32b)之中的一个梳齿状电极(32a)中包含的多个电极指(322a)的另一端(e2)彼此连结而得到的虚拟线(L1)与作为沿着弹性波传播方向(D1)的直线的基准线(L0)交叉。在将第1串联谐振器(111s)的虚拟线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第1倾斜角(α1)，将并联谐振器(111p)的虚拟线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第2倾斜角(α2)，将弹性波谐振器(112s～114s、113p、114p)的虚拟线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第3倾斜角(α3)的情况下，第1倾斜角(α1)和第2倾斜角(α2)的至少一者比第3倾斜角(α3)小。
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公开(公告)号：CN115989637A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202180052339.4
申请日：2021-08-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制带外杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；压电膜(5)，设置在支承基板(2)上；以及IDT电极(6)，设置在压电膜(5)上，在将由IDT电极(6)的电极指的周期决定的弹性波的波长设为λ时，压电膜(5)的膜厚设为1λ以下，压电膜(5)在压电膜(5)的厚度方向上具有第1区域(5a)和第2区域(5b)，作为第1区域(5a)中的密度的第1密度与作为第2区域(5b)中的密度的第2密度不同。
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公开(公告)号：CN110036564B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201780071170.0
申请日：2017-10-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及第一电介质膜(4)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖IDT电极(3)，且由氧化硅构成。IDT电极(3)具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)为欧拉角(0°±5°，‑90°≤θ≤‑70°，0°±5°)，将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，将通过波长λ进行了归一化的第一金属膜的膜厚设为hm/λ(％)，此时，第一金属膜的金属以及膜厚hm/λ(％)为表1所示的任一组合。【表1】
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公开(公告)号：CN115428333A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029093.9
申请日：2021-04-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够更加可靠地抑制横模。本发明的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)以及设置在压电性基板(2)上且具有多个电极指的IDT电极(7)。IDT电极(7)的相邻的电极指在弹性波传播方向上重叠的部分是交叉区域(A)。交叉区域(A)具有位于多个电极指延伸的方向上的中央侧的中央区域(C)以及配置在中央区域(C)的多个电极指延伸的方向两侧的第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)。在第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)中，还具备设置在压电性基板(2)与多个电极指之间的电介质膜(15A、15B)。电介质膜(15A、15B)包括从由氧化铪、氧化铌、氧化钨及氧化铈构成的组中选择的至少一种电介质。
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