公开(公告)号：CN102473576B

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201080033608.4

申请日：2010-07-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 金子朝子 ,  武藤宏史 ,  上野敦史

IPC: H01J37/09 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/31

CPC classification number: H01J37/09 ,  G01N1/286 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/31

Abstract: 本发明涉及配置在离子铣削装置的离子源(1)与试样(7)之间与试样接触的位置上的遮蔽板(8，10)，其特征在于，上述遮蔽板为在中心具有开口的圆形，并能够相对于通过上述开口的轴(11)进行旋转。并且，在上述遮蔽板的端部的上述离子源侧的面上设有槽，再有，在上述遮蔽板的端部设有倾斜面。由此，能够提供具有增加能够加工次数并能够高精度地进行遮蔽板的位置调整的遮蔽板的离子铣削装置。

公开(公告)号：CN103180929A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201180051255.5

申请日：2011-11-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  武藤宏史 ,  高须久幸 ,  上野敦史 ,  金子朝子

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/30 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/3053 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/26

Abstract: 本发明提供一种可在同一真空腔内进行剖面加工与平面加工双方的离子铣削装置。为实现该目的，提出一种离子铣削装置，其具备在真空腔内配置、且具有平行于与离子束正交的第一轴的倾斜轴的倾斜工作台，其中，离子铣削装置具备驱动机构和切换部，驱动机构具有平行于与第一轴正交的第二轴的旋转轴以及倾斜轴，且使试料旋转或者倾斜，切换部对如下两个状态进行切换，其一是一边使倾斜工作台倾斜，一边使支承台旋转或者往复倾斜，从而照射离子束的状态，其二是使倾斜工作台成为非倾斜状态，并且使支承台往复倾斜，从而照射离子束的状态。