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公开(公告)号：CN100376829C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200480004466.3
申请日：2004-02-09
Abstract: 本发明提供一种适用于半导体制造装置的真空排气系统用的隔膜阀，可以防止由气体的热分解所产生的生成物的堆积附着所带来的部件的腐蚀、或由生成物而带来堵塞或泄漏的发生，进而，可以实现真空排气系统的设备的小型化、随之可降低成本，而且，可以相应地进行用于缩短真空排气时间的真空排气系统的配管的小口径化。具体来说，真空排气系统用的隔膜阀(1)具有阀体(2)、隔膜(3)和驱动机构(4)，所述阀体(2)具有流入通路(6)、流出通路(7)和形成于其间的阀座(8)，所述隔膜(3)设于阀体(2)上并可接触或离开阀座(8)，所述驱动机构(4)设于阀体(2)上并可使隔膜(3)与阀座(8)接触或离开阀座(8)，在上述阀体(2)和隔膜(3)的流体接触部分(25)上涂覆规定厚度的合成树脂覆膜(5)。
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公开(公告)号：CN101126463A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710142236.9
申请日：2003-12-18
CPC classification number: F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电－气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电－气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电－气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。
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公开(公告)号：CN1285896C
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN02808689.9
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 大见忠弘
CPC classification number: G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
Abstract: 一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置，可以自动地修正压力传感器的温度漂移，且即使温度变动，仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用，该压力式流量控制装置在节流装置(4)与控制阀(22)之间设有检测上游侧压力(P1)用的上游侧压力传感器(10)，在根据上游侧压力(P1)运算通过节流装置(4)的流量的同时，还通过控制阀(22)的开闭来控制通过节流装置(4)的流量，该压力式流量控制装置的温度漂移修正装置由测定流体温度的温度传感器(14)、存储流体温度(T)与上游侧压力传感器(10)的输出漂移的关系的存储机构(64)、以及温度漂移修正机构构成，其中，温度漂移修正机构是在流体温度(T)发生变化的情况下，根据存储机构(64)的数据运算上游侧压力传感器(10)的输出漂移量，根据该运算的输出漂移量消除上游侧压力传感器(10)的输出漂移，从而修正温度漂移。利用该结构，可自动地修正压力传感器的温度漂移，进行正确的流量控制。
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公开(公告)号：CN1864112A
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN200480029178.3
申请日：2004-09-14
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D16/208 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
Abstract: 本发明提供一种腔室内压控制装置，通过防止流量的控制精度在小流量范围大幅下降，并在整个流量控制范围可以进行高精度的流量控制，来调节向腔室供给的气体流量并在较大压力范围高精度控制腔室内压。具体来说，向腔室供给气体的装置，由并列状连接的多台压力式流量控制装置，和控制多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，一边控制流量一边向由真空泵排气的腔室供给所希望的气体，其中，把一台压力式流量控制装置作为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量范围的装置，把其余的压力式流量控制装置作为控制其余的气体流量范围的装置，进而在腔室上设置压力检测器并且向控制装置输入该压力检测器的检测值，调节向压力式流量控制装置的控制信号来控制向腔室的气体供给量，由此来控制腔室内压。
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公开(公告)号：CN1175198C
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN00809795.X
申请日：2000-06-05
IPC: F16K47/08
Abstract: 提供一种节流孔内设阀，不仅能够降低制造成本，而且能够提高节流孔的加工精度并在进行阀的组装时能够防止节流孔变形，从而能够获得优良的流量控制特性。发明的节流孔内设阀具备形成有气体流入通路和气体流出通路的耐热材料制造的阀本体，形成有气体流出通路及阀座的合成树脂制造的阀座体，耐热材料制造的节流孔盘，以及使阀座体的气体流出通路缩径的节流孔，并设有气体流入通路和阀座体插装孔的耐热材料制造的内盘插在阀本体阀室内，通过对该内盘的外周缘从上方进行推压，而使得插装于阀座体插装孔内的阀座体和容纳于阀座体的凹部内的节流孔盘呈气密状态固定在阀本体上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1156738C
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 在利用节流孔的压力式流量控制装置上，一面进行流体的流量控制，一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力Pi保持在下游侧压力P2的约2倍以上，按QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QS，根据该计算流量QC与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中，由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅VO的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQS叠加在正常设定流量信号QSO上向控制阀CV输出时，能一面根据正常设定流量信号QSO进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1506607A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC: F17D3/00
Abstract: 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据Qc＝KP1(K为常数)计算下游侧流量Qc，根据该计算流量Qc与设定流量Qs之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQs，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1145790C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构，把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时，可防止压力检测器的应力引起隔膜变形，避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此，本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触，密封片与隔膜基座的本体部下面接触，同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽，推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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公开(公告)号：CN1320230A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 在利用节流孔的压力式流量控制装置上,一面进行流体的流量控制,一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上,按Qc=KP1(K为常数)计算下游侧流量Qs,根据该计算流量Qc与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中,由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅Vo的检定用信号ΔQs,测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V,当该压力振幅V小于极限振幅Vt时,报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQs叠加在正常设定流量信号Qso上向控制阀CV输出时,能一面根据正常设定流量信号Qso进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1319181A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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