并联机构
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101554727A

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200910133624.X

    申请日:2009-04-02

    Abstract: 本发明目的在于提供一种并联机构,其具有基座、安装于基座上的促动器、并列连结的多个臂、以及检测装置。各臂具有:第一连杆,其一端与促动器连结;第二连杆,其连结第一连杆的另一端和托架;对第二连杆的一端和第一连杆的另一端进行可摆动地连结的球窝接头;以及对第二连杆的另一端和托架进行可摆动地连结的球窝接头。球窝接头具有含球状头部的球头销、对该球头销的球状头部进行摆动自如地保持的球窝、以及设置在球状头部和球窝之间的导电部件。检测单元基于上述球头销和上述球窝之间的导通与否,来对多个球窝接头中至少一个球窝接头的脱离情况进行检测。

    输送工件用托盘
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101503130A

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200810188823.6

    申请日:2008-12-26

    Abstract: 本发明提供一种使层叠托盘运进运出变得容易的输送工件用托盘。输送工件用托盘(1)是用于输送基板(S)的托盘,并且具备横条(4)、矩形形状的外框(2)和支承部(14b)。横条(4)具有载置基板(S)的工件载置面。支承部(14b)设置于外框(2)且用于支承横条(4)。外框(2)具有倾斜部(13),上述倾斜部(13)从支承部(14b)朝向外侧向下倾斜且具有下端部低于工件载置面。

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