热式流量计
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104364617B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201380031673.7

    申请日:2013-05-31

    CPC classification number: G01F1/6842 G01F1/6845 G01F1/6965 G01F15/14

    Abstract: 本发明提供一种即使在为了在流量检测元件形成隔膜而设置有空隙的情况下,也能够抑制隔膜的变形和背面的污损所引起的计测精度的降低的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具有:用于使从主通路(124)导入的被计测气体被计测气体(30)之间进行热传递来计测被计测气体(30)的流量的流量检测元件。热式流量计(300)至少具有包括流量检测元件(602)的电路封装(400)。为了在流量检测元件(602)的流量检测区域(437)形成隔膜(672),在流量检测元件(602)的背面形成有空隙(674),空隙(674)是减压至低于大气压的密闭空间。(30)流动的副通路;和通过与在副通路中流动的

    流量传感器及其制造方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106092233A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610390927.X

    申请日:2012-12-04

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6845

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制各流量传感器的性能偏差来实现性能提高(也包含提高可靠性来实现性能提高的情况)的技术。例如,在用上模具(UM)和下模具(BM)夹着搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)时,搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)和上模具(UM)之间设置有框体(FB)和弹性体薄膜(LAF)。此时,框体(FB)的高度高于流量检测部(FDU)的高度且框体(FB)的弹性系数小于半导体芯片(CHP1)的弹性系数。

    流量传感器及其制造方法
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104024807B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201280065517.8

    申请日:2012-12-04

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6845

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制各流量传感器的性能偏差来实现性能提高(也包含提高可靠性来实现性能提高的情况)的技术。例如,在用上模具(UM)和下模具(BM)夹着搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)时,搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)和上模具(UM)之间设置有框体(FB)和弹性体薄膜(LAF)。此时,框体(FB)的高度高于流量检测部(FDU)的高度且框体(FB)的弹性系数小于半导体芯片(CHP1)的弹性系数。

    热式空气流量计
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105408727A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201480041230.0

    申请日:2014-02-03

    CPC classification number: G01F1/684 G01F1/6842 G01F1/692 G01F5/00 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计,该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此,在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301),传感器部件(100)由第一树脂模制成形,箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中,传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301),具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。

    热式流量计
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103988056A

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:CN201280060482.9

    申请日:2012-11-19

    Abstract: 本发明提供高精度、高可靠性、且结构简单、更廉价的热式流量计,其包括:取入被测量流体的副通路;测量上述副通路内的被测量流体的流量的传感元件;检测被测量流体的温度的温度检测元件;控制上述传感元件的加热温度的驱动电路;保护上述驱动电路不受噪声影响的保护电路,在上述传感元件的基板,形成有空洞部,在上述空洞部上的薄膜部隔着电绝缘膜形成有发热电阻体,该热式流量计根据上述薄膜部的温度分布检测流量,上述传感元件和上述驱动电路安装于金属的引线框,上述传感元件、上述驱动电路和上述引线框通过将全周用热固化性树脂密封而被实施芯片封装,至少保护驱动电路的芯片部件和空气温度检测元件之任一者混装在上述芯片封装的内部。

    热式流量计
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107817029B

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201711105994.3

    申请日:2013-05-29

    Abstract: 本发明的目的是提高热式流量计的测量精度。电路封装体(401)的测量用流路面(430)和其背面的测量用流路面背面(431)位于副通路内,副通路构成为,被测量气体(30)分开流入电路封装体的测量用流路面(430)侧的流路(386)和其背面的测量用流路面背面(431)侧的流路(387),电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面的形状在测量用流路面和测量用流路面背面不同。在电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面形成有基准线(700),基准线的测量用流路面侧的端面(701a)和测量用流路面背面侧的端面(701b)形成为非对称。

    流量传感器及其制造方法
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106092233B

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201610390927.X

    申请日:2012-12-04

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制各流量传感器的性能偏差来实现性能提高(也包含提高可靠性来实现性能提高的情况)的技术。例如,在用上模具(UM)和下模具(BM)夹着搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)时,搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)和上模具(UM)之间设置有框体(FB)和弹性体薄膜(LAF)。此时,框体(FB)的高度高于流量检测部(FDU)的高度且框体(FB)的弹性系数小于半导体芯片(CHP1)的弹性系数。

    热式空气流量计
    29.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105408727B

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201480041230.0

    申请日:2014-02-03

    CPC classification number: G01F1/684 G01F1/6842 G01F1/692 G01F5/00 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计,该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此,在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301),传感器部件(100)由第一树脂模制成形,箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中,传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301),具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。

    热式流量计
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107817029A

    公开(公告)日:2018-03-20

    申请号:CN201711105994.3

    申请日:2013-05-29

    Abstract: 本发明的目的是提高热式流量计的测量精度。电路封装体(401)的测量用流路面(430)和其背面的测量用流路面背面(431)位于副通路内,副通路构成为,被测量气体(30)分开流入电路封装体的测量用流路面(430)侧的流路(386)和其背面的测量用流路面背面(431)侧的流路(387),电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面的形状在测量用流路面和测量用流路面背面不同。在电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面形成有基准线(700),基准线的测量用流路面侧的端面(701a)和测量用流路面背面侧的端面(701b)形成为非对称。

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