一种湿法化学腐蚀液处理装置

    公开(公告)号:CN217903079U

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202221260897.8

    申请日:2022-05-25

    发明人: 徐宏进

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本实用新型涉及芯片表面处理技术领域,尤其涉及一种湿法化学腐蚀液处理装置,包括固定板和清洗槽,所述固定板的两侧对称螺合设置有螺栓,固定板通过螺栓和墙体连接,所述固定板的下部两侧对称设置有连杆,所述连杆的下部固定设置有连接板,所述连接板上固定安装有电机,电机的输出端通过联轴器安装有旋转轴,并且旋转轴的外侧对称设置有叶片,所述电机的一侧设置有烘干灯,所述连接板的下方设置有传送带,所述清洗槽的一侧设置有集水箱,所述集水箱的一侧设置有落料口。本实用新型中,芯片通过传送带经过清洗槽对表面的杂质进行超声波清洗,清洗后经过吹干和烘干,保证了芯片表面的清洁,设计简单,实用性强。

    一种用于半导体元件加工的清洗架

    公开(公告)号:CN217369450U

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202220614384.6

    申请日:2022-03-21

    发明人: 徐宏进

    摘要: 本实用新型涉及半导体元件技术领域,具体公开了一种用于半导体元件加工的清洗架,包括固定架,固定架顶部固定安装有支撑轴,支撑轴外部固定安装有固定杆,固定杆外部固定安装有环架,环架内壁固定安装有第一凹槽座,环架内壁贯穿安装有滑杆,滑杆底部固定安装有第二凹槽座。本实用新型通过环架内壁设置的第一凹槽座、第二凹槽座和弹簧可快速对半导体晶圆板进行夹持固定,电机可定时带动支撑轴旋动设定角度,当夹有半导体晶圆板的环架转动至第一距离传感器正前方时,可自动开启水泵,两个喷淋头可对半导体晶圆板的两面进行冲洗,当环架内部无半导体元件时,第一距离传感器检测不到物体,水泵为关闭状态,避免水资源发生浪费。

    一种半导体光刻板快速清洗装置

    公开(公告)号:CN212069702U

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN202020578441.0

    申请日:2020-04-17

    发明人: 徐宏进

    IPC分类号: B08B3/02 B08B13/00 F26B21/00

    摘要: 本实用新型涉及清洗装置技术领域,公开了一种半导体光刻板快速清洗装置,其结构包括主操控箱体,所述主操控箱体上设置有连接板、轴承座和驱动电机,所述连接板通过铆钉与所述主操控箱体的内壁对称连接,所述轴承座通过铆钉与所述主操控箱体的内壁相连接,并且位于所述连接板的下方,所述驱动电机通过铆钉与所述主操控箱体外表面的右侧相连接,所述连接板上设置有通管,所述轴承座上设置有转动杆,所述转动杆的外表面交错设置有放置盘。本实用新型实现了对半导体光刻板的正反面进行清洗,加快了半导体光刻板清洗时的速度,而且还能对清洗后的半导体光刻板进行风干,提高了半导体光刻板清洗后干燥的速度。

    一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具

    公开(公告)号:CN211916132U

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN202020579650.7

    申请日:2020-04-17

    发明人: 徐宏进

    IPC分类号: B23Q3/00

    摘要: 本实用新型公开了一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,包括电机,所述电机顶部设置有夹持机构;所述夹持机构包括电机轴、第一固定板、刀片、第二固定板、第一固定螺栓、第二固定螺栓、螺纹孔、阻尼块、斜支撑杆和第三固定螺栓;所述电机顶部转动连接有电机轴,所述电机轴顶部固定连接有第一固定板,所述第一固定板顶部贴合有刀片,且刀片内部中间左右两侧均开设有螺纹孔,所述螺纹孔内部中间粘合有阻尼块。本实用新型通过刀片上的第一固定板和第二固定板以及斜支撑杆,不仅可以利用第一固定板和第二固定板,从上下两端对刀片进行螺栓固定,而且采用斜支撑杆,能够对刀片进行支撑稳固,利用第三固定螺栓固定,进一步提高了刀片的稳定性。

    一种半导体材料抛光装置
    25.
    实用新型

    公开(公告)号:CN210413996U

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201921454291.6

    申请日:2019-09-03

    发明人: 徐宏进

    摘要: 本实用新型公开了一种半导体材料抛光装置,包括固定箱箱、旋转装置、固定装置和支撑柱,所述固定箱的底部四角通过螺栓固定有减震装置,所述固定箱的底板表面设有旋转装置,所述旋转装置的顶部焊接固定有固定装置,所述固定装置的左侧的支撑座表面上通过螺栓固定有抽风机,所述固定装置右侧的底座表面上焊接固定有支撑柱,所述支撑柱底板表面通过螺栓固定有正反电机,所述正反电机的输出端焊接固定有调节螺杆,所述调节螺杆的外壁上设有安装柱,所述安装柱的下方设有电机箱,所述电机箱内通过螺栓固定有抛光电机。该半导体材料抛光装置,不仅能够对不同规格的半导体材料进行有效的固定,而且打磨效率高。