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公开(公告)号：CN103594528B
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201310351331.5
申请日：2013-08-13
Applicant: 康宁精密素材株式会社
CPC classification number: H01L21/64 , C03C17/245 , C03C2217/24 , C03C2217/94 , C03C2217/944 , C03C2218/1525 , G02B5/0247 , G02B5/0278 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/022483 , H01L31/022491 , H01L31/02366 , H01L31/1884 , H01L33/405 , H01L33/42 , H01L51/442 , H01L51/447 , H01L51/5209 , H01L51/5215 , H01L51/5268 , H01L2251/305 , H01L2251/306 , Y02E10/549 , Y10T428/24562 , Y10T428/24997
Abstract: 本发明提供了可以提高陷光效率和光提取效率的金属氧化物薄膜基板、制造金属氧化物薄膜基板的方法和光伏电池以及包括光伏电池的有机发光装置（OLED）。金属氧化物薄膜基板包括基体基板和形成在基体基板上的金属氧化物薄膜。金属氧化物薄膜具有形成在金属氧化物薄膜的内部的用于散射光的空隙。
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公开(公告)号：CN103779510B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310503837.3
申请日：2013-10-23
Applicant: 康宁精密素材株式会社
CPC classification number: H01L51/5268 , C03C17/245 , C03C17/3417 , C03C2217/216 , C03C2218/1525
Abstract: 一种制造用于有机发光二极管(OLED)的光提取基板的方法，用所述方法可以人工控制从所述OLED发出的光的散射分布。所述方法包括通过将无机氧化物在基底基板上至少两次沉积来形成光提取层的步骤，从而控制在所述光提取层的表面上形成的纹理的结构。
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公开(公告)号：CN103122454A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210469711.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
CPC classification number: C07F3/06 , C07F17/00 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或CnH2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN103122453A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210467947.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C07F3/06 , C23C16/08 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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