-
公开(公告)号：CN222762953U
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202421366584.X
申请日：2024-06-14
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , B08B13/00
Abstract: 本实用新型公开了晶圆湿法生产设备领域的一种薄片晶圆清洗盘，由吸盘主体和密封盖组成，密封盖中部开孔且贴合于吸盘主体底部固定，吸盘主体底部设有凸起插入密封盖开孔处的连接部，吸盘主体设有与连接部同轴设置的中心气道，且该中心气道顶部开口处装配有密封的吸盘芯盖；吸盘主体贴合密封盖一面还设有与中心气道同轴设置的环形气槽，环形气槽内设有至少两个与中心气道导通的第一导气通道，吸盘主体表面设有多个环形分布且与环形气槽导通的第二导气通道，吸盘主体表面还设有至少两个环形分布于第二导气通道外侧的M4机米和挡边销。不仅提高了晶圆在清洗过程中的安全性，减少晶圆报废的概率，对于提高生产效率和降低成本具有重要作用。
-
公开(公告)号：CN221805487U
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202420209124.X
申请日：2024-01-26
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
Abstract: 本实用新型涉及晶圆顶起机构领域的用于晶圆干燥装置的晶圆顶起机构，包括花篮、支撑架和设置于支撑架上的花篮定位组件及顶刀组件，左右侧面定位块和前后侧面定位块均设有向内倾斜的导向倾斜面，顶刀组件由四块竖立设置的顶板构成，顶板的顶部设有与定位槽的数量和位置均相对应且用于支撑晶圆底部的V形顶刀。花篮下降过程中四组V形顶刀将支撑在晶圆的底部，使晶圆保持竖直状态，晶圆的底部将脱离定位槽的底部，且晶圆的背面紧靠定位槽的一端内壁，晶圆的背面仅有小部分接触定位槽的一端内壁，符合对晶圆水印的标准要求，确保晶圆的底部和正面均与花篮分离，可有效解决晶圆正面和底部均与花篮因存在接触点而导致接触点产生水印的技术问题。
-
公开(公告)号：CN221651455U
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202420038967.8
申请日：2024-01-06
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
Abstract: 本实用新型公开了晶圆清洗加工技术领域的一种兆声波清洗机构，包括机架，所述机架安装有溢流传导箱，所述溢流传导箱的内部安装有石英缸，溢流传导箱的底部设有兆声震动单元，所述石英缸的底部设有斜面，且石英缸的底部与溢流传导箱的内壁之间具有间距以形成溢流传导槽，石英缸的底部呈斜面设计，且石英缸的底部与溢流传导箱的内壁之间具有间距以形成溢流传导槽，而兆声震动单元设置于溢流传导箱的底部，一方面，兆声震动单元不与石英缸底部接触，因此能有效避免兆声震动单元震伤石英缸的问题，另一方面，石英缸的底部由平底改进为斜面底，能够有效改善内槽壁的循环流动性，减少颗粒沉底残留。
-
公开(公告)号：CN221551847U
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202420032047.5
申请日：2024-01-05
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687 , B08B13/00 , B08B5/02 , B08B3/02 , B08B3/08 , B08B1/12
Abstract: 本实用新型涉及晶圆清洗设备领域的一种双层四腔室单片晶圆清洗设备，包括机体，机体内设置有上料区、送料区和清洗区，清洗区设置有上清洗层和下清洗层，上清洗层和下清洗层上均设置有两个清洗腔室，送料区上设置有升降导轨、平移导轨和可翻转的机械臂，机械臂上设置有用于夹持晶圆片的夹具，两个升降导轨相互平行设置于机体的内壁上，平移导轨的两端分别与两个升降导轨的活动平台连接，平移导轨可通过两个升降导轨在送料区内上下移动，平移导轨上连接有两个支撑底座，两个支撑底座上均设置有可翻转的机械臂，设置有四个清洗腔室，提高清洗效率的同时不增加清洗机的占地面积，使同面积的生产车间内拥有更多的清洗腔室。
-
公开(公告)号：CN221648737U
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202323601411.X
申请日：2023-12-27
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
IPC: F24H1/14 , F24H9/1818 , F24H9/20
Abstract: 本实用新型涉及热水机领域的一种溢流式恒温热水机，包括机箱，机箱内设置有加热腔和电控腔，机箱的前端设置有用于盖合加热腔和电控腔的箱门，所述加热腔内设置有加热组件，加热组件包括冷水口、热水口和加热器，加热器设置有四个以上，四个以上的加热器之间通过供液管道相互串联，冷水口和热水口分别与相互串联的加热器中的首末两个加热器进行连通，冷水口和热水口延伸至机箱的表面，加热管发热使石英罐的温度升高，液体进入石英罐后吸收石英罐的热量，避免加热管与液体直接接触，通过间接热辐射加热方式有效的解决了金属材质加热棒使用时会有金属材质析出，污染水质的问题。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN220461655U
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202321898618.5
申请日：2023-07-18
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
Abstract: 本实用新型公开了托盘清洗技术领域的自动托盘清洗机，包括机架，机架的设有上料装置、下料装置、喷淋段及烘段，所述喷淋段包括正面喷淋管与反面喷淋管，喷淋段与烘段的内部均设有输送轨道组件，输送轨道组件具有倾斜角度，双通道的设置能够大幅度提高清洗效率，产品的正背面都可以通过正面喷淋管与反面喷淋管清洗到将输送轨道组件设置成75度，风压按照正面压力大于背面压力原则设置，反面可以完全支撑，正面只需要少量压紧即可保证产品在接受正面高压水力及风力不会跳动和反弹，背面凹槽清洗风切，需要在与水平夹角0～80°才能保证污渍随重力向下顺利排出，正面被高压水流清洗时要保证污渍能随水流排出并能够稳定的承受风压水压。
-
公开(公告)号：CN220426127U
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202321898774.1
申请日：2023-07-18
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
Abstract: 本实用新型公开了清洗机领域的晶圆盒清洗机，包括机罩，机罩内设有由顶板、底板和若干侧面板拼接而成的清洗室，顶板下方设有上旋转片，顶板上方设有穿过顶板连接并控制上旋转片旋转的驱动电机和减速机，底板上方设有下旋转片，底板连接有用于支撑下旋转片的支撑件，上旋转片与下旋转片之间连接有至少两个清洗架，相邻两个清洗架之间设有内喷淋架和内干燥架，侧面板内侧装配有至少两个外喷淋架和外干燥架，内喷淋架和外喷淋架均设有至少两个朝向清洗架喷洒的喷淋嘴以及控制喷淋嘴的CDA切水器，内干燥架和外干燥架均设有朝向清洗架的红外灯管。采用了内侧和外侧同时清洗和烘干，喷淋嘴与CDA切水器组合控制喷洒状态，由红外灯管烘干，提高清洗效果。
-
公开(公告)号：CN222762956U
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202421366763.3
申请日：2024-06-14
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , B08B13/00
Abstract: 本实用新型涉及清洗盘领域的用于晶圆清洗的夹持式清洗盘，包括台面和固定支架，台面的上端设置有夹爪，台面的下端设置有用于带动夹爪的联动组件，夹爪绕台面的中心均匀分布，夹爪的一端通过转轴与台面可旋转地连接，转轴远离夹爪的一端穿过台面设置有传动齿轮，联动组件包括升降板、推拉环、旋转支架和齿环，升降板设置于推拉环的下端，升降板的侧壁与固定支架的内壁滑动连接，旋转支架设置于推拉环的内侧，推拉环的表面设置有倾斜的导向滑槽，旋转支架的表面设置有导向块，导向块与导向滑槽滑动连接，旋转支架通过连接板与齿环连接，齿环与传动齿轮啮合传动，结构更加简单，三个以上的夹爪可同步工作，防止晶圆位置发生偏移。
-
公开(公告)号：CN222691973U
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202421314509.9
申请日：2024-06-07
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
Abstract: 本实用新型公开晶圆湿法生产设备领域的一种洁净型加热装置，包括中空壳体，壳体内设有两端密封的石英管，石英管外表面设有硅酸铝保温棉层；石英管内部设有至少一个两端导通的加热通道，且该加热通道内插入有加热管，石英管两端均设有至少一个向内部延伸的探温槽，且该探温槽内插入有紧贴内壁的感温探头，石英管一端连接有导通并延伸至壳体外侧的导通管，导通管开口处装配有密封的旋塞。在石英管内增设了用于加热的加热通道和探温槽，加热通道内的加热管以及探温槽内的感温探头均不与石英管内的药液直接接触，但又能很好地对药液进行对应的加热和测温操作，有效解决了石英管内的药液被污染的问题，且通过硅酸铝保温棉层加强保温，避免热量散发。
-
公开(公告)号：CN222070215U
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202323625080.3
申请日：2023-12-28
Applicant: 广东凯迪微智能装备有限公司
Inventor： 江永
Abstract: 本实用新型涉及取样装置领域的一种用于石英槽药液循环取样装置，包括支架，支架上设置有接液腔，所述接液腔内设置有手动出液阀和取样瓶放置位，手动出液阀设置于取样瓶放置位的上方，且手动出液阀的出液口对准取样瓶放置位，支架的后端设置有气动出液阀，气动出液阀的出液端与手动出液阀的进液端连通，手动出液阀上设置有用于控制开关的手轮，接液腔的内壁设置有支撑板，手动出液阀通过连接底板设置于支撑板上，气动出液阀上设置有定位部，支架上设置有用于安装气动出液阀的连接底座，气动出液阀通过定位部安装在连接底座上，完全替代人工手动取样取样操作，只需把取样瓶放置到装置中，设定好时间，就可完成取样操作，使用简单，操作更加安全。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
44
records
(took 0.038 seconds)
