基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN108955995A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810865937.3

    申请日:2018-08-01

    CPC classification number: G01L9/08

    Abstract: 本发明属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器及其制备方法。基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;所述绝缘层位于基底的顶面;所述压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料,或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;所述电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;防护层沉积在绝缘层的顶面,并将压力敏感层和电极封装在其内。本发明的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

    一种全金刚石结构的压力传感器芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN117330215A

    公开(公告)日:2024-01-02

    申请号:CN202311417581.4

    申请日:2023-10-30

    Abstract: 本发明公开了一种全金刚石结构的压力传感器芯片及其制备方法,压力传感器芯片包括单晶金刚石基片,所述基片上表面刻蚀有4个凹槽,每个凹槽内均沉积有硼掺杂金刚石薄膜作为桥电阻,4个桥电阻通过金属电极联通形成惠斯通电桥结构,所述基片背面通过刻蚀形成应力杯。本发明从结构仿真设计、金刚石薄膜生长、电桥设计、电极生长、芯体封装全过程进行相关研制,并最终完成形成高稳定性、高灵敏度的金刚石压阻传感器制备。在全金刚石结构的条件下,可以克服硅基半导体的本征激发温度低,材料强度差的缺点,有利于提高器件的测量范围和应用范围。

    一种能量密度增强型电解液及超级电容器的制备方法

    公开(公告)号:CN113506687A

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN202110788903.0

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种能量密度增强型电解液及超级电容器的制备方法,包括如下步骤:采用Hummers法制备氧化石墨烯水溶液,然后将氧化石墨烯水溶液通过水热反应,得到部分还原的氧化石墨烯水溶液;在得到的部分还原的氧化石墨烯水溶液中加入聚乙烯醇,水浴加热搅拌,形成具有以聚乙烯醇为连接点、部分还原的氧化石墨烯为桥的网络结构的混合溶液;在得到的混合溶液中滴入吡咯单体,并加入过硫酸铵,然后利用冻融循环,获得部分还原的氧化石墨烯/聚吡咯复合材料,最后通过搅拌将NaClO4分散在上述材料中,得到电解液。本发明所制得的超级电容器具有很高的能量密度,具有优异的电化学性能和循环稳定性。

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