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公开(公告)号：CN111705304A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010655206.3
申请日：2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本发明的设备和方法，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。
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公开(公告)号：CN216998568U
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202220377044.6
申请日：2022-02-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本实用新型涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域，具体地说，涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备。包括设备箱体，设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室，进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀，设备箱体内底面等距设有若干滑轨，滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本实用新型设计的设备中使热场更均匀，提高镀膜质量；拉丝更长可以达到更大面积的镀膜；一次拉丝可连续进行多次镀膜，大大减少浪费，延长热丝的使用寿命；并实现批量化生产；其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组，达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果，提高镀膜效率及质量、降低生产成本。
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公开(公告)号：CN213411555U
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202022134426.X
申请日：2020-09-25
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和喷砂装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本实用新型的自动化设备，集成抛光处理，化学处理，喷砂处理，将化学处理和物理处理有机结合，成本远远低于等离子刻蚀技术；有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。
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公开(公告)号：CN212293737U
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202021333436.X
申请日：2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本实用新型的设备，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN208537079U
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201821229095.4
申请日：2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L9/08
Abstract: 本实用新型属于海洋环境监测设备技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层；所述基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面，且位于应力腔的正上方；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；所述电极包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；所述防护层沉积在绝缘层的顶面，并将压力敏感层和电极封装在其内。本实用新型的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN216947203U
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202220058946.3
申请日：2022-01-11
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种使用寿命长的BDD水处理电极制备装置，涉及BDD水处理电极制备领域，包括框架，框架的内部下方分别设置有渗碳器、电子束蒸发镀膜机和化学气相沉积设备，渗碳器的内部下方安装有电加热板，渗碳器的顶部设置有取出组件，取出组件包括有安装于框架内部上方的两个电机。本实用新型可增加薄膜层数，有效遏制裂纹产生和延伸，提高电极的整体稳定性；同时有效的降低现有铌基BDD电极的成本，使其能够更广泛的应用；且合理的利用热膨胀系数材料设计，降低使得薄膜更加与基底匹配，降低了热应力，并巧妙的形成Ti与TiC，TiC与NbC，NbC与Nb，Nb与NbC，NbC与BDD界面关系，形成多层结构有效防止失效区域蔓延。
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公开(公告)号：CN218688198U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202222360738.1
申请日：2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型涉及水处理技术领域，具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜；所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔；所述多孔金属基底的厚度为1‑2mm。本实用新型将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域，采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜，并提供一种电催化膜组件，打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈，处理效率大幅度提高，能耗显著降低。
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公开(公告)号：CN210340569U
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201920810484.4
申请日：2019-05-31
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C02F9/06 , C02F101/20 , C02F101/30
Abstract: 本实用新型公开了一种基于金刚石薄膜的饮用水净化系统，该净化系统包括依次连接的前置PP棉装置、金刚石截流膜装置、金刚石薄膜净水装置和后端活性炭装置，所述金刚石截流膜装置与电源阴极相连以去除重金属离子，所述金刚石薄膜净水装置与电源阴极和阳极相连，产生臭氧进行水质净化和灭菌，所述金刚石薄膜净水装置的底部通过反冲管路和反冲泵连接金刚石截流膜装置，所述金刚石截流膜装置底部连接废水通道和阀门，所述后端活性炭装置与电源阴极相连以去除残留的臭氧，本实用新型所公开的净化系统可以有效净化饮用水，提高净化效率和净化效果，并且具有使用寿命长的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206886862U
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201720450457.1
申请日：2017-04-26
Applicant: 中国科学院金属研究所 , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C02F9/06 , C02F1/461 , C02F1/467 , C02F1/72 , C02F101/30
Abstract: 本实用新型涉及金刚石石墨复合薄膜应用领域，尤其涉及一种金刚石石墨复合薄膜电极有机污水处理装置。该装置包括：第一水泵、第一阀门、第一级过滤器、第二级过滤器、第二阀门、浮球液位计、污水COD在线检测装置、储水罐、第二水泵、第三阀门、第四阀门、电解槽。本实用新型提出使用金刚石石墨复合电极循环处理有机污水结合污水COD在线检测，可以处理不同浓度的有机污水，包括低浓度的有机废水。其充分发挥了金刚石石墨复合电极产生的羟基自由基(·OH)具有强氧化性的特点可将有机物无选择地氧化成CO2、H2O或矿物盐，处理过程中无恶臭、无污泥产生、无二次污染，在难降解有机废水处理领域具有广泛的应用前景。
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