液滴喷射头、液滴喷射装置和图像形成装置

    公开(公告)号:CN101259789B

    公开(公告)日:2011-03-23

    申请号:CN200710196831.0

    申请日:2007-12-11

    CPC classification number: B41J2/14233 B41J2/161 B41J2/1642 B41J2/1646

    Abstract: 本发明提供液滴喷射头、液滴喷射装置和图像形成装置。本发明的目的在于实现液滴喷射头、液滴喷射装置和图像形成装置的紧凑。为了实现该目的,在作为用于将集墨腔(38)内的墨提供到压力腔(50)的流路的供墨用通孔(112)和供墨用通孔(44)的内壁形成连接线(86)。通过以连接线(86)来连接上电极(54)和连接到驱动IC(60)的金属线(90),从而电连接上电极(54)和驱动IC(60)。因此,与在分立的孔形成用于布线的通孔和墨流路径的情况相比,在顶板(41)中形成较少的孔。因此,可以拓宽电布线区域,结果可以使得喷墨记录头(32)紧凑。

    液滴喷射记录装置和硅结构体的制造方法

    公开(公告)号:CN1370680A

    公开(公告)日:2002-09-25

    申请号:CN02104714.6

    申请日:2002-02-09

    Abstract: 本发明提供一种在同一芯片内备有具有不同的开口大小和深度的多个液体排出口的液滴喷射记录装置。例如,在喷墨记录头(10)中,在叠层端面(18)上形成具有不同的深度的大墨水排出口(20)和小墨水排出口(22)。为了实现这种结构,首先用湿式异向性蚀刻来蚀刻相当于大墨水排出口(20)部分的硅基板(40),形成断面三角形的槽,然后用反应性离子蚀刻(RIE)来蚀刻相当于大墨水排出口(20)和小墨水排出口(22)部分的硅基板(40),借此完成包含大墨水排出口(20)和小墨水排出口(22)的流路基板(14)。因而,由于用RIE加工可以精度高地进行最终的流路形状的加工,另一方面用湿式异向性蚀刻可以高效地形成不同深度的槽,所以喷墨记录头(10)的生产率也提高。

    半导体基板的制造方法
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111052309A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201980004281.9

    申请日:2019-01-07

    Abstract: 本发明的半导体基板的制造方法包括下述工序:准备在正面(50)形成有外延层(12)的半导体基板(10)的工序;以及在外延层(12)上形成元件之前在半导体基板(10)的背面(52)形成破碎层(14)的工序。

    半导体件的制造方法
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105590835B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201510752088.7

    申请日:2015-11-06

    Abstract: 一种半导体件的制造方法,包括:形成沟槽,该沟槽具有第一沟槽部分以及第二沟槽部分,第二沟槽部分是形成为与第一沟槽部分的下部连通的沟槽部分并以比第一沟槽部分的角度更陡峭的角度朝下部延伸,沟槽具有在第一沟槽部分与第二沟槽部分之间不存在拐角部分的形状,沟槽定位在正面上并利用干蚀法形成;将包括粘合剂层的保持部件附着至正面,正面形成有正面上的沟槽;在附着保持部件的状态下,从基板的背面使基板变薄;以及在变薄之后,从正面去除保持部件。

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