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公开(公告)号：CN115628199A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211267329.5
申请日：2022-10-17
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了低温泵抽空装置及其抽空方法，包括低温泵组件、支管路组件、主管路组件、真空规、控制器、腔室，所述低温泵组件通过主管路组件与腔室相连，所述低温泵组件还通过支管路组件与主管路组件连通，且支管路组件管路直径小于主管路组件管路直径。本发明中，通过支管路组件及其控制阀门的设置可实现对腔室内大气的降压，使其满足低温泵组件的使用工况，防止低温泵组件的二级冷板温度超过阈值，通过控制器可根据腔室的体积及真空规反馈的压力值控制主管路组件和支管路组件上的控制阀门的开度，控制低温泵组件气体热负荷在阈值以下，从而使得本装置可直接对大气状态的腔室直接抽真空，同时免除了干泵等粗抽泵的使用，降低真空获取成本。
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公开(公告)号：CN113566469A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110875057.6
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔，所述压缩机通过管道与配气腔相连通，所述配气腔的内腔安装有阀组，所述阀组通过管道与液氮储罐相连通，所述阀组通过管道与预冷腔相连通，所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔，当阀组打开时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通，当阀组关闭时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断，通过引入液氮，对制冷工质先进行辅助降温，使得进入到膨胀腔的气体温度降低，可以提高制冷量效率，提升有效制冷量，并且通过一个配气阀门，同时控制氦气和液氮进入及排出，有效的提供了工作效率，同时能够有效降低液氮的消耗量，有效的提高了装置的实用性。
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公开(公告)号：CN112392687B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202011300645.9
申请日：2020-11-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及真空设备领域，具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵，包括制冷机，制冷机上安装有壳体，制冷机的冷头位于壳体中；所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板；所述壳体的开口处设置有前置挡板，自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收，自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于：通过本方案的前置挡板结构，可基本实现热辐射和气体分子分离的目的，从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射，并且由于气体运动通道相对顺畅，可以实现较高的气体抽速，从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。
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公开(公告)号：CN108915991B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201810632746.2
申请日：2018-06-19
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F04B37/08
Abstract: 本发明公开了一种带热桥的快速降温型低温泵，包括具备较低冷却温度的一级冷却台、具备更低冷却温度的二级冷却台和低温板组件，所述二级冷却台与低温板组件热连接，其特征在于，还包括至少一根热桥，其一端连接一级冷却台，另一端连接二级冷却台或低温板组件，每根热桥为内充高导热系数气体介质的气隙式储气容器。采用上述结构的低温泵，可显著缩短低温泵的降温时间，同时具有结构简易、易于实施、无需人工主动控制等特点。
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公开(公告)号：CN108252896A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201711418218.9
申请日：2017-12-24
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种快速降温型低温泵，包括壳体、双级GM制冷机系统、辐射冷屏、低温板以及引入外部制冷液体的液冷源馈入部件，所述液冷源馈入部件包括中空直线导入器、馈入管路、液冷源容器、导冷块。调节所述中空直线导入器，可带动所述馈入管路的移动，实现安装于液冷源容器上的导冷块与所述一级冷却台的接触和分离。本发明还公开了该低温泵的制冷方法。相比于现有技术，本发明具有成本较低、控制过程简易、可实现快速制冷等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116066342B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202310028913.3
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵的控制装置及控制方法，控制装置包括：输入部，输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，接入采集低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，将内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，建立工艺流程模型；工作状态分析部，根据数据采集部采集的运行数据，分析低温泵的工作状态，并实时监测低温泵的运行参数的变化，根据数据库中的历史数据，利用工艺流程模型，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，以及再生的推荐间隔周期；输出部，输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明能为生产系统的良性运行提供参考数据，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，再生的推荐间隔周期。
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公开(公告)号：CN116221066A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310029623.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
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公开(公告)号：CN116066342A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310028913.3
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵的控制装置及控制方法，控制装置包括：输入部，输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，接入采集低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，将内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，建立工艺流程模型；工作状态分析部，根据数据采集部采集的运行数据，分析低温泵的工作状态，并实时监测低温泵的运行参数的变化，根据数据库中的历史数据，利用工艺流程模型，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，以及再生的推荐间隔周期；输出部，输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明能为生产系统的良性运行提供参考数据，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，再生的推荐间隔周期。
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公开(公告)号：CN113566469B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202110875057.6
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔，所述压缩机通过管道与配气腔相连通，所述配气腔的内腔安装有阀组，所述阀组通过管道与液氮储罐相连通，所述阀组通过管道与预冷腔相连通，所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔，当阀组打开时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通，当阀组关闭时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断，通过引入液氮，对制冷工质先进行辅助降温，使得进入到膨胀腔的气体温度降低，可以提高制冷量效率，提升有效制冷量，并且通过一个配气阀门，同时控制氦气和液氮进入及排出，有效的提供了工作效率，同时能够有效降低液氮的消耗量，有效的提高了装置的实用性。
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公开(公告)号：CN115324868A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211145493.9
申请日：2022-09-20
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开抽水汽低温泵，包括制冷机、壳体、障板、辐射冷屏、低温板、排水组件；所述壳体连接所述制冷机，所述辐射冷屏连接所述制冷机的一级冷却台，所述低温板连接所述制冷机的二级冷却台，所述障板连接所述辐射冷屏的顶部，所述辐射冷屏位于所述壳体的内部，所述辐射冷屏与所述壳体同轴布置，所述壳体与所述辐射冷屏的底部为倾斜面，所述壳体与所述辐射冷屏的倾斜面设有出水口，所述壳体的出水口与所述排水组件连接。本发明还公开水汽抽速测试方法。本发明的有益效果：缩短低温泵再生时间，提高再生效果，避免对前级泵造成不利影响，提高镀膜设备的运行效率；低温泵水汽测试方法，能够优化理论计算参数，提高计算精度。
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