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公开(公告)号:CN114739030A
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202210224520.5
申请日:2022-03-07
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法,包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐,所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通,换热器的气路出口与滤油器连通,换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通,滤油器与吸附器通过气路连通,吸附器与进气连接管通过气路连通,进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通,平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通,吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀;本发明的优点在于:有效降低系统振幅,避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。
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公开(公告)号:CN112523993A
公开(公告)日:2021-03-19
申请号:CN202011394940.5
申请日:2020-12-03
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种吸附阵及具有该吸附阵的低温泵,吸附阵包括传热板、连接板,传热板上设置若干个低温板,低温板的外侧轮廓为圆弧形,所有低温板的外侧轮廓位于同一个虚拟的球面上;低温板上设置吸附材料。低温泵包括上述吸附阵、制冷机、壳体,壳体中设置辐射冷屏,吸附阵通过连接板安装在二级冷却台端部,连接板垂直于二级冷却台轴线,二级冷却台及吸附阵均位于辐射冷屏内部;辐射冷屏开口处设置障板,壳体开口处设置泵口法兰,辐射冷屏开口朝向与壳体开口朝向相同,辐射冷屏的轴线与壳体的轴线重合,一级冷却台、二级冷却台的轴线垂直于辐射冷屏的轴线。本发明的优点在于:H2能够直接快速的到达吸附材料并被捕获,提高低温泵对H2的抽速。
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公开(公告)号:CN108518336A
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201810281032.1
申请日:2018-04-01
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于氦气压缩机的自密封接头,位于油过滤器和吸附器之间,其特征在于,包括第一油管接头、第一O形环、提升阀总成、公密封接头座、O形密封垫片、锁紧垫圈、止动螺母、螺母阀体总成、第二O形环、阀套筒总成、第三O形环、第二油管接头。该自密封接头具有优良的耐蚀性、耐候性、化学稳定性,并且不沾、无毒、无污染,适用于压缩机的低温工况,同时具有良好的自密封效果。
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公开(公告)号:CN107524579A
公开(公告)日:2017-12-29
申请号:CN201710883572.2
申请日:2017-09-26
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵,安装于真空腔室中,其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件,所述低温冷源包括通过管道连接的冷头和压缩机,所述冷头包括依次连接的二级冷却台、一级冷却台和冷头基座,所述辐射冷屏固定安装于第一冷却台上并与其热连接,所述低温板组件固定安装于第二冷台上并与其热连接,所述低温泵的壳体呈带主轴的筒形,其筒侧面设有低温泵吸气口,所述冷头基座活动安装于所述壳体上并可绕低温泵主轴相对于所述壳体旋转运动。本发明通过对低温板组件和辐射冷屏进行了旋转式设计,提高了低温泵吸附和冷凝的极限和效率。
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公开(公告)号:CN107489604A
公开(公告)日:2017-12-19
申请号:CN201710881032.0
申请日:2017-09-26
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
CPC classification number: F04B37/08 , F04B37/085 , F04B39/06
Abstract: 本发明公开了一种大容量低温泵及其工作方法。低温泵安装于真空腔室中,其包括壳体、制冷机、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件,所述低温板组件包括:一套靠近低温泵吸气口部的一级低温板组件,与二级冷却台热连接,吸附、冷凝来自于吸气口部的气体,且其上设有加热装置;以及至少两套远离低温泵吸气口部的二级低温板组件,与二级冷却台热连接,吸附、冷凝来自于一级低温板组件加热状态下散发的气体。该低温泵具有容量大、吸附效率高的特点。
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公开(公告)号:CN116066323A
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN202211627463.1
申请日:2022-12-16
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵,包括:壳体,壳体具有容纳空间和敞口;障板,障板设在敞口上,障板具有第一区域和第二区域,第一区域上设有多个第一通孔,第二区域上设有多个第二通孔,第一通孔的孔面积之和小于第二通孔的孔面积之和;冷板组件,冷板组件设在容纳空间内,冷板组件包括第一冷板和第二冷板,第一冷板在障板上的正投影和第一区域的面积相等,第二冷板设在第一冷板的远离障板的一侧,并连接第一冷板。本发明的低温泵,通过降低冷板组件中第一冷板的气体捕获量,提高第二冷板的气体捕获量,使得第二冷板能被充分利用起来,提高了低温泵的吸气容量。
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公开(公告)号:CN115628199A
公开(公告)日:2023-01-20
申请号:CN202211267329.5
申请日:2022-10-17
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了低温泵抽空装置及其抽空方法,包括低温泵组件、支管路组件、主管路组件、真空规、控制器、腔室,所述低温泵组件通过主管路组件与腔室相连,所述低温泵组件还通过支管路组件与主管路组件连通,且支管路组件管路直径小于主管路组件管路直径。本发明中,通过支管路组件及其控制阀门的设置可实现对腔室内大气的降压,使其满足低温泵组件的使用工况,防止低温泵组件的二级冷板温度超过阈值,通过控制器可根据腔室的体积及真空规反馈的压力值控制主管路组件和支管路组件上的控制阀门的开度,控制低温泵组件气体热负荷在阈值以下,从而使得本装置可直接对大气状态的腔室直接抽真空,同时免除了干泵等粗抽泵的使用,降低真空获取成本。
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公开(公告)号:CN113566469A
公开(公告)日:2021-10-29
申请号:CN202110875057.6
申请日:2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法,包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔,所述压缩机通过管道与配气腔相连通,所述配气腔的内腔安装有阀组,所述阀组通过管道与液氮储罐相连通,所述阀组通过管道与预冷腔相连通,所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔,当阀组打开时,液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通,当阀组关闭时,液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断,通过引入液氮,对制冷工质先进行辅助降温,使得进入到膨胀腔的气体温度降低,可以提高制冷量效率,提升有效制冷量,并且通过一个配气阀门,同时控制氦气和液氮进入及排出,有效的提供了工作效率,同时能够有效降低液氮的消耗量,有效的提高了装置的实用性。
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公开(公告)号:CN112392687B
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202011300645.9
申请日:2020-11-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及真空设备领域,具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵,包括制冷机,制冷机上安装有壳体,制冷机的冷头位于壳体中;所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板;所述壳体的开口处设置有前置挡板,自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收,自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于:通过本方案的前置挡板结构,可基本实现热辐射和气体分子分离的目的,从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射,并且由于气体运动通道相对顺畅,可以实现较高的气体抽速,从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。
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公开(公告)号:CN108915991B
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:CN201810632746.2
申请日:2018-06-19
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F04B37/08
Abstract: 本发明公开了一种带热桥的快速降温型低温泵,包括具备较低冷却温度的一级冷却台、具备更低冷却温度的二级冷却台和低温板组件,所述二级冷却台与低温板组件热连接,其特征在于,还包括至少一根热桥,其一端连接一级冷却台,另一端连接二级冷却台或低温板组件,每根热桥为内充高导热系数气体介质的气隙式储气容器。采用上述结构的低温泵,可显著缩短低温泵的降温时间,同时具有结构简易、易于实施、无需人工主动控制等特点。
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