超纯水供给系统、控制装置以及程序

    公开(公告)号:CN116133762A

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202180055028.3

    申请日:2021-08-23

    Abstract: 超纯水供给系统具有:流通管(210),使超纯水从超纯水制造设备(100)流向清洗装置(120);处理单元(110),设置于流通管(210)上;流通管(220),在超纯水制造设备(100)与处理单元(110)之间从流通管(210)分支出来,使超纯水流向清洗装置(120);水量控制部(310),设置于流通管(220)从流通管(210)分支的第一分支部;水量控制部(320),对从流通管(220)流向清洗装置(120)的超纯水进行控制;比较部(510),比较第一量与第二量,第一量是由处理单元(110)处理后的超纯水中含有的杂质的量,所述第二量是未被处理单元(110)处理的超纯水中含有的杂质的量;以及流路控制部(520),根据比较的结果来控制水量控制部(310、320)。

    水处理方法及装置
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109906206B

    公开(公告)日:2022-03-04

    申请号:CN201780067211.9

    申请日:2017-11-16

    Abstract: 对被处理水中所含有的有机物进行分解处理的水处理装置为了提高有机物的分解效率而实现高TOC去除率,具备:过氧化氢添加装置,其向被处理水添加过氧化氢;紫外线照射装置,其对添加了过氧化氢的被处理水照射紫外线;溶解氧测量单元,其测量紫外线照射装置的出口水的溶解氧浓度;以及控制单元,其根据由溶解氧测量单元测量出的溶解氧浓度来控制过氧化氢的添加量。

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