公开(公告)号：CN105405684A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510968802.6

申请日：2015-12-21

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 亓钧雷 ,  贾赫男 ,  林景煌 ,  郭佳乐 ,  费维栋 ,  冯吉才

IPC: H01G11/86

CPC classification number: Y02E60/13 ,  H01G11/86

Abstract: 一种等离子处理改善Al集电极的方法，本发明涉及电极材料的制备方法。本发明要解决现有Al集电极材料中由于致密氧化层存在，导致的界面电阻较高，载流子扩散较慢的问题。本发明的方法：对铝箔进行清洗处理，将清洗后的铝箔置于等离子体化学气相沉积真空装置中，通入氢气和氩气并调节压强，在氢气和氩气气氛中升温，调节参数，刻蚀处理；最后通入氩气和甲烷，调节气体流量，压强和射频功率，沉积碳层，即可完成等离子处理。本发明用于等离子处理改善Al集电极的方法。