大口径KDP晶体元件表面激光损伤的微铣削修复工艺方法

    公开(公告)号:CN108705692A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810520541.5

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 大口径KDP晶体元件表面激光损伤的微铣削修复工艺方法,属于光学材料与光学元件修复加工技术领域。为了解决软脆KDP晶体元件表面激光损伤点修复时修复轮廓单一、修复表面质量差、效率低等问题。根据修复轮廓的控制方程建立修复点的几何模型;选取加工刀具;创建粗加工修复工序;创建精加工修复工序;将由刀路轨迹计算获得的刀路源文件转换为通用的数控加工NC代码,将NC代码转换为修复机床控制器可识别的加工程序文件;利用粗、精加工NC代码在KDP晶体修复机床上进行精密微铣削修复实验,实现不同激光“友好型”修复轮廓的高效、高质量加工。能延缓晶体元件表面激光损伤点的增长行为,提高晶体元件抗激光损伤能力并延缓其使用寿命。

    一种考虑光增强效应的光学晶体表面微缺陷修复方法

    公开(公告)号:CN108687977A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810517278.4

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 一种考虑光增强效应的光学晶体表面微缺陷修复方法,涉及一种光学晶体表面微缺陷修复方法。本发明为了解决目前还未实现光学晶体表面微缺陷精密微铣削修复工艺定型的问题。本发明首先采用显微镜对光学晶体表面缺陷点形貌和尺寸进行检测,获得表面待修复缺陷点的横向尺寸和纵向尺寸;通过对比待修复缺陷点的横向尺寸与数控轨迹加工可修复临界尺寸的大小决定微缺陷修复方式;然后基于电磁场理论,建立修复结构诱导光增强的仿真模型,对比分析不同形状和尺寸的修复结构所引起光增强大小,选取光增强最小的修复形状和尺寸规划出最优修复结构;根据已规划的最优修复结构,微铣削加工出相应的修复结构。本发明适用于光学晶体表面微缺陷修复。

    大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置

    公开(公告)号:CN103591210B

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201310626364.6

    申请日:2013-11-29

    Abstract: 大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置,涉及一种大口径晶体微缺陷修复设备用支撑隔振平台装置。为解决现无与大口径晶体微缺陷修复设备配套使用,能够满足大口径晶体微缺陷修复后的轮廓精度以及高修复表面质量的支撑隔振平台装置问题。空气隔振垫铁与隔振垫连接件连接,隔振垫连接件通过支撑腿与工作平台连接,相邻两个支撑腿与支撑腿连接杆一和二连接,两个支撑腿连接杆一之间连接有中间长连接杆,中间长连接杆和与支撑腿连接杆一之间连接有中间短连接杆;支撑腿连接杆一及中间长连接杆内装有可调辅助支撑组件,可调辅助支撑组件与工作平台连接;挂装连接杆组件与工作平台连接。本发明与大口径晶体微缺陷修复设备配套使用。

    光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法及由此获得元件最佳加工参数的方法

    公开(公告)号:CN101887171B

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN201010222497.3

    申请日:2010-07-09

    Abstract: 光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法及由此获得元件最佳加工参数的方法,涉及一种光学元件的表面质量评价方法以及一种获得元件最佳加工参数的方法。所述评价方法为:首先获得原始加工表面的形貌数据矩阵,然后利用功率谱密度法、二维连续小波变换法及傅立叶模方法,获得各个特征频率对应的相对激光损伤阈值,然后选择其中的最小值作为评价结果;所述获得元件最佳加工参数的方法,即利用该评价方法,通过比较各种加工参数条件下得到的光学元件的相对激光损伤阈值,进而获得最优加工参数。本发明可用于评价光学元件的质量,并可用于指导光学元件的加工过程。

    一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法

    公开(公告)号:CN101870002B

    公开(公告)日:2011-10-26

    申请号:CN201010221284.9

    申请日:2010-07-08

    Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法,它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题,本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ,然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角,再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体,以实现飞刀盘偏转角度,最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工,再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ,当平面度误差Δ满足聚变系统要求时,完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。

    一种超精密平台调平装置
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101876393A

    公开(公告)日:2010-11-03

    申请号:CN201010195838.2

    申请日:2010-06-09

    Abstract: 一种超精密平台调平装置,它涉及一种调平装置。本发明的目的是解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题。槽形底座上装有第二底座、第一底座和第三平面垫块,第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置;第一斜垫设置在第一底座上,第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接,平面垫块设置在第一斜垫上,第一球头调整垫块与平台固接;第二斜垫设置在第二底座上,第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接,第二球头调整垫块装在凹槽内,第二球头调整垫块与平台固接。本发明可以广泛应用于超精密机床、光学检测与成像等领域。

    一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法

    公开(公告)号:CN101870002A

    公开(公告)日:2010-10-27

    申请号:CN201010221284.9

    申请日:2010-07-08

    Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法,它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题,本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ,然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角,再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体,以实现飞刀盘偏转角度,最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工,再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ,当平面度误差Δ满足聚变系统要求时,完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。

    可调节式金刚石刀具的刀夹装置

    公开(公告)号:CN101474831A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200910071321.X

    申请日:2009-01-21

    Abstract: 可调节式金刚石刀具的刀夹装置,它涉及一种刀夹装置。本发明解决了现有的金刚石刀具的刀夹装置存在加工时无法对刀具角度进行调整、需要经常更换不同的刀具、增加了成本、工作效率低的问题。所述转位导向套的外沿上对称开有两个弧形通孔,所述转位导向套通过导向键安装在微调丝杠轴的上端,所述丝杠内套套装在微调丝杠轴的中部且丝杠内套与微调丝杠轴螺纹连接,所述微调手轮固装在丝杠内套上,所述两个螺钉依次穿过端盖、转位导向套上的弧形通孔与圆筒连接,所述摆动支撑轴设置在微调丝杠轴与刀夹座之间,所述微调丝杠轴与刀夹座通过四个转位调整螺钉连接。本发明具有结构紧凑、调节方便、调整精度高,适用于各种精密及超精密的加工机床。

    一种熔融石英光学元件加工表面激光损伤阈值预测方法

    公开(公告)号:CN114324273B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202111621353.X

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 一种熔融石英光学元件加工表面激光损伤阈值预测方法,它属于工程光学领域,本发明为解决现有的激光损伤阈值测试方法,会破坏熔融石英光学元件加工表面,耗费大量试验材料,且适用性不够广泛问题,本方法按以下步骤进行:步骤一、基于变激发光波长荧光探测实验,确定光学元件加工表面缺陷能级结构;步骤二、基于电子跃迁理论和原子轨道理论,建立光学元件加工表面非线性离化模型;步骤三、给定服役激光波长,计算熔融石英光学元件达到激光损伤阈值时临界自由电子密度;步骤四、获取熔融石英光学元件无缺陷表面各个能级电子密度随时间演变曲线;步骤五、获得熔融石英光学元件加工表面被检位置的激光损伤预测阈值。

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