公开(公告)号：CN108458654B

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN201810445961.1

申请日：2018-05-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  吉瑞东 ,  王越 ,  胡鹏程 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02056

Abstract: 基于双通道正交锁相解调的光学非线性误差测量方法及装置属于激光测量领域，本发明将外差激光干涉仪的两路输出信号分别接入可编程逻辑器件，利用可编程逻辑器件内部产生的信号作为正交锁相的参考信号，并通过两次正交混频进行非线性误差位相解调。本发明适用于实时测量外差激光干涉系统的光学非线性误差，不受被测物体运动状态限制，测量精度在皮米量级；并且利用两次正交混频代替了反正切算法，提高了算法效率。

公开(公告)号：CN109780991B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201711120966.9

申请日：2017-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  王越 ,  吴国龙 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02

Abstract: 基于误差分离的光学非线性一阶误差补偿方法及装置属于激光测量领域，本发明在外差激光干涉仪参考光路和测量光路中放置相同分光比的分光镜，将光学非线性一阶误差信号分离出来，并在光学非线性一阶误差信号处理电路中实时进行补偿，从而去除光学非线性一阶误差。本发明结构简单，具有实时性，能够将外差激光干涉仪中的光学非线性一阶误差补偿至皮米量级。

公开(公告)号：CN109974576A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201811353160.9

申请日：2018-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  王珂 ,  胡鹏程 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02

Abstract: 单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对单频激光干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。

公开(公告)号：CN109780991A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201711120966.9

申请日：2017-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  王越 ,  吴国龙 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02

Abstract: 基于误差分离的光学非线性一阶误差补偿方法及装置属于激光测量领域，本发明在外差激光干涉仪参考光路和测量光路中放置相同分光比的分光镜，将光学非线性一阶误差信号分离出来，并在光学非线性一阶误差信号处理电路中实时进行补偿，从而去除光学非线性一阶误差。本发明结构简单，具有实时性，能够将外差激光干涉仪中的光学非线性一阶误差补偿至皮米量级。

公开(公告)号：CN104034311B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201410179245.5

申请日：2014-04-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  谭久彬 ,  胡鹏程

IPC: G01C9/20 ,  G01C9/06

Abstract: 成对三等分环?圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置属于角度测量技术，其中传感器单元的环形共面电容测头由一个圆形金属板和三个三分之一圆环形金属板组成，四块金属板共面同心，三个三分之一圆环形金属板沿周向均匀分布，每一块与圆形金属板形成电容，将两个上述环形共面电容测头分别安置于两个圆形绝缘基板上，两个圆形绝缘基板作为圆柱体容器的两个底面，并将此圆柱体容器横置，在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体，电位引线将八块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连，电容测量单元与倾角计算单元连接；容器发生倾斜时，两个环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化，通过测量电容容值的变化，可求得倾角值。

公开(公告)号：CN104051947A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410308273.2

申请日：2014-07-01

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  付海金 ,  胡鹏程

IPC: H01S3/13

Abstract: 基于压电效应和声光移频的双纵模激光器互锁方法和装置属于激光应用技术领域，本发明采用声光移频技术将多台基于腔长压电调节的双纵模激光器的输出激光频率锁定于同一台参考双纵模稳频激光器的输出激光频率上，从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值，目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足，为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。

公开(公告)号：CN104037608A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410308366.5

申请日：2014-07-01

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  谭久彬 ,  胡鹏程

IPC: H01S3/10 ,  H01S3/137 ,  H01S3/04

Abstract: 基于热电制冷和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置属于激光应用技术领域，本发明采用声光移频技术将多台基于热电制冷的单纵模激光器的输出激光频率锁定于同一台参考单纵模稳频激光器的输出激光频率上，从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值，目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足，为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。

公开(公告)号：CN101615755B

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN200910072518.5

申请日：2009-07-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  胡鹏程 ,  付海金 ,  徐庆阳

IPC: H01S3/13

Abstract: 基于碘稳频参考光的双纵模激光器热稳频方法和装置属于激光应用技术领域，本发明以相对频率准确度达10-11的碘稳频激光中心频率作为基准频率，并通过腔长热调节使多台双纵模激光器输出激光的频率与该基准频率保持为一固定差值，可将双纵模激光器的相对频率准确度从10-7～10-8提高到10-9，多台双纵模激光器的频率一致性从10-7提高到10-9，解决了普通双纵模稳频激光器相对频率准确度难以突破10-8、多台稳频双纵模激光器频率一致性差的问题。

公开(公告)号：CN118999365B

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202411099478.4

申请日：2024-08-12

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  哈工大郑州研究院

Inventor： 付海金 ,  王子乔 ,  胡鹏程 ,  陈仪松 ,  熊信慷 ,  王铮

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02015

Abstract: 一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。

公开(公告)号：CN119714082A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411910197.2

申请日：2024-12-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  王子乔 ,  胡鹏程 ,  熊信慷 ,  陈仪松 ,  王铮

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置及其方法，属于光学测量技术领域。解决了激光干涉仪pm级位移分辨力测不了及测不准的问题，本发明包括固定反射镜、光学玻璃板、连接轴、运动发生装置、标准器；固定反射镜用于将测量光路中透射过光学玻璃板的激光进行反射，使反射后的激光原路返回至激光干涉仪中；光学玻璃板安装在运动发生装置的连接轴上，光学玻璃板位于激光干涉仪和固定反射镜之间的测量光路上，光学玻璃板的几何中心位于运动发生装置的连接轴延长线上，且光学玻璃板的一面与连接轴垂直。本发明通过控制光学玻璃板运动实现了等效的激光干涉仪中nm至pm级位移产生的相移，对激光干涉仪pm级位移分辨力测试更充分且提高了测试精度。