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公开(公告)号:CN100365847C
公开(公告)日:2008-01-30
申请号:CN200510016594.6
申请日:2005-02-26
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明属于光电子器件领域,具体涉及有机电致发光器件铟锡氧化物(Indium Tin-Oxide,简称ITO)电极的一种处理方法,其过程是:首先将经过预处理的ITO电极和衬底用浓度为5-1000mg/L的高锰酸钾溶液超声清洗2-60分钟;接着使用高速旋转法使ITO电极表面上的高锰酸钾溶液均匀,并且使衬底(10)和ITO电极(11)干燥;然后将处理好的ITO电极应用于有机电致发光器件的制备中。本发明所述的电极的处理方法具有工艺简单且与现有的工业生产中的ITO电极清洗工艺设备兼容性好的特点。经过处理的ITO电极用于有机电致发光器件制作时,可明显地增强发光器件的性能,如提高发光效率和亮度等。
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公开(公告)号:CN1140890C
公开(公告)日:2004-03-03
申请号:CN01114143.3
申请日:2001-06-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种在彩色有机发光显示屏的制作中采用掩模板与衬底相对移动依次蒸镀三基色有机物发光层的方法。它是利用薄的金属板作为掩模板,采用在真空室内掩模板与衬底的相对移动将掩模板的第一条线依次与铟锡氧化物(ITO)图形的第一、二、三条线对准,同时掩模板的第二条线将依次与ITO图形的四、五、六条线对准,依此类推。这样,三基色有机发光材料便可被依次蒸镀到衬底的指定位置上。
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公开(公告)号:CN1331194C
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200410010970.6
申请日:2004-06-30
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明涉及一种具有金属上扩散层的金属诱导多晶硅薄膜的制造方法,包括①在绝缘衬底(10)上沉积非晶硅薄膜(11);②在(11)上沉积金属隔离层(12);③在(12)上蒸发一层诱导金属层(13);④在(13)之上沉积一层介质作为金属上扩散层(14);⑤在保护气体中采用低温(<600℃)退火,实现非晶硅到多晶硅的晶化;⑥采用刻蚀工艺将金属上扩散层(14)、诱导金属层(13)、金属隔离层(12)去除等步骤。采用本发明的方法,可对进入非晶硅层的金属原子数量进行调控,以获得大晶粒的多晶硅薄膜;同时金属与硅层不直接接触,避免了残留金属的污染;还可增加诱导金属层的厚度,提高工艺的可操作性和可重复性。
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公开(公告)号:CN1595662A
公开(公告)日:2005-03-16
申请号:CN200410010983.3
申请日:2004-07-08
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L29/786
Abstract: 本发明涉及多栅双沟道结构多晶硅薄膜晶体管,由绝缘基底(1)、SiO2缓冲层(51)、栅电极绝缘层(53)、在栅电极绝缘层(53)内的两个顶栅电极(24)、漏区(3)、源区(4)组成,SiO2缓冲层(51)上还生长有一层栅电极绝缘层(52),在栅电极绝缘层(52)内有底栅电极(23),底栅电极(23)与顶栅电极(24)通过栅电极连接孔(25)连接;在栅电极绝缘层(52)上生长有多晶硅薄膜形成的沟道(6)。本发明的TFT器件与在同样条件下制备的TFT有着同量级关态漏电流的同时,具有开态电流增加一倍、相同宽长比TFT驱动负载能力增大、提供同样电流在集成矩阵中占更小面积、有效提高开口率等优良效果。
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公开(公告)号:CN1189587C
公开(公告)日:2005-02-16
申请号:CN03111338.9
申请日:2003-03-30
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于机械领域,具体涉及一种安装于有机发光镀膜机基片架前的具有自动识别功能的小挡板。基片小挡板由安装在托板上的两个半圆形能够开合并与基片架同步公转的平板构成的基片小挡板(37)、磁力传动机械手(31)、推拉控制板(38)、传感器(44)和位置探测器(45)及自动识别电路构成。半圆形小挡板(37)与推拉控制板(38)一同安装在托板(12)上,托板(12)安装在行星式旋转基片架(8)的公转轴(13)上,位于基片(7)及大挡板(6)之间,与行星式旋转基片架(8)同步转动。小档板可以很方便地对相应基片的镀膜条件进行控制,从而实现在一个实验周期内作出多个试样的目的,从而有效地提高有机镀膜的工作效率。
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公开(公告)号:CN1431339A
公开(公告)日:2003-07-23
申请号:CN03110977.2
申请日:2003-01-28
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源。坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片(9)、金属钼炉丝(8)、位于上下两个陶瓷圆环片(9)间的筒状石英玻璃内屏蔽层(7)和筒状不锈钢外屏蔽层(6)组成,炉丝(8)上下回绕、通过另一小陶瓷圆环(12)嵌于两个陶瓷圆环片(9)内;上下两个95#陶瓷圆环片(9)用3个钼螺丝杆(5)连接在一起,炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座(4)上。该蒸发源具有寿命长、终年不需更换和维护、控温性能优越、蒸发速率稳定、保温性能好、同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染、操作方便等优点。
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公开(公告)号:CN1221215A
公开(公告)日:1999-06-30
申请号:CN98124267.7
申请日:1998-11-06
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明为一种有机多量子阱结构白光电致发光器件。从属于光学光电子领域。采用量子阱结构制备有机白光器件,可以不考虑各发光层之间的能带匹配问题,有利于提高器件的发光效率。以红,绿和蓝三种不同有机染料为量子阱发光层,载流子被限制在这些量子阱发光层中,从不同的阱中分别产生黄,绿和蓝三色光,从而产生白光。目前该器件的最大亮度为4000尼特,发光效率为0.4流明/瓦,在电压变化过程中该器件的色坐标都在白光区内。
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公开(公告)号:CN2606115Y
公开(公告)日:2004-03-10
申请号:CN03212003.6
申请日:2003-03-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源。坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片(9)、金属钼炉丝(8)、位于上下两个陶瓷圆环片(9)间的筒状石英玻璃内屏蔽层(7)和筒状不锈钢外屏蔽层(6)组成,炉丝(8)上下回绕、通过另一小陶瓷圆环(12)嵌于两个陶瓷圆环片(9)内;上下两个95#陶瓷圆环片(9)用3个钼螺丝杆(5)连接在一起,炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座(4)上。该蒸发源具有寿命长、终年不需更换和维护、控温性能优越、蒸发速率稳定、保温性能好、同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染、操作方便等优点。
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公开(公告)号:CN2615145Y
公开(公告)日:2004-05-12
申请号:CN03212295.0
申请日:2003-03-30
Applicant: 吉林大学
IPC: C23C14/12
Abstract: 本实用新型具体涉及一种安装于有机发光镀膜机基片架前的具有自动识别功能的小挡板。基片小挡板由安装在托板上的两个半圆形能够开合并与基片架同步公转的平板构成的基片小挡板(37)、磁力传动机械手(31)、推拉控制板(38)、传感器(44)和位置探测器(45)及自动识别电路构成。半圆形小挡板(37)与推拉控制板(38)一同安装在托板(12)上,托板(12)安装在行星式旋转基片架(8)的公转轴(13)上,位于基片(7)及大挡板(6)之间,与行星式旋转基片架(8)同步转动。小挡板可以很方便地对相应基片的镀膜条件进行控制,从而实现在一个实验周期内作出多个试样的目的,从而有效地提高有机镀膜的工作效率。
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