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公开(公告)号：CN107966121A
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201710974646.3
申请日：2017-10-19
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B17/06
CPC classification number: G01B17/06
Abstract: 本发明公开了一种基于LabVIEW的微球球度高精度测量控制系统，利用两个音叉探针在X方向构成左右差动结构，然后利用两个信号发生器激励两个音叉探针产生谐振，音叉探针振动的信号通过幅值反馈电路处理后经过数据采集卡由工业计算机内的LabVIEW读取，LabVIEW通过读取的音叉振动幅值大小确定音叉探针与被测球的距离，工业计算机给微动台控制器发送指令，通过微动台控制器控制两X向纳米精度微动台同时驱动音叉探针差动逼近微球进行测量，单次逼近完成后微动台控制器控制Y向纳米精度微动台进给微球位置。本发明利用LabVIEW虚拟仪器软件开发微球球度测量控制系统，能实现微球球度的高精度测量，控制精度可达到纳米级。
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公开(公告)号：CN120044880A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510260967.1
申请日：2025-03-06
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明公开了一种面向控制器优化的精密二维运动台的速度环辨识方法，包括：1采用正弦扫频信号进行多频段激励并采集速度响应；2对输入输出信号进行傅里叶变换得到频域特征；3通过频响函数计算幅频特性和相频特性；4基于伯德图数据拟合包含增益、零点及多极点参数的高阶传递函数模型，最终获得频域辨识结果。本发明通过系统化的频域建模流程，可精确表征精密运动台动态特性，为控制器参数优化提供可靠依据，尤其适用于高精度运动控制系统的性能提升，从而解决了现有技术中精密二维运动台系统控制精度低、稳定性差的问题，并提高了精密二维运动台系统的定位精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN119988823A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510270581.9
申请日：2025-03-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G06F17/18 , G01R31/28 , G01R31/3185 , G06F18/243 , G06F18/214 , G06F18/22 , G06N20/00
Abstract: 本发明提供一种芯片测试参数温度补偿及质量评估方法，涉及芯片测试技术领域。本发明通过相关运算确定温度及其他因素与待测参数的关系，利用拟合回归的数据处理方法，精确补偿温度对待测参数的影响，为后续质量评估预测模型的训练提供准确数据，从而提高质量评估的准确性、可靠性和效率。
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公开(公告)号：CN115183930B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202210735203.X
申请日：2022-06-27
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L5/166
Abstract: 本发明公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，包括减震基座、宏动位移台、支架I、微动位移台、支架II，通过宏动位移台和微动位移台能够对悬臂进行三维方向上的弹性系数标定，支架I的内侧设置有固定相机和四象限光电探测器；支架II的内侧设置有悬臂，悬臂前端设置有探针，微动位移台上设置有载物台和单轴微力传感器，悬臂上方的支架II内侧设置有激光器。本发明还公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量方法。本发明较好的解决了传统粘附力和摩擦力测量装置无法对三维条件下的粘附力和摩擦力进行测量的技术瓶颈，能够对深孔等更为复杂的表面结构进行力学测量，具有测量分辨率高、灵敏度性能好等优点。
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公开(公告)号：CN117129110A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311089363.2
申请日：2023-08-28
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度的MEMS微压传感器，包括基座，两个谐振梁，两个调谐电极、两个弱耦合梁以及四个相同的压力膜。调谐电极用于调节谐振梁的刚度，实现两个谐振梁的固有频率相等；两个弱耦合梁采用对称的“S”型分布，提升了传感器微压测量灵敏度和品质因子。通过MEMS微压传感器，采用分段幅值比差值的检测方法即可实现待测压力的超高灵敏度检测。本发明的超高灵敏度的MEMS微压传感器，可用于航空航天等领域的微压测量，具有超高的灵敏度，且检测范围广，品质因数高，稳定性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115912988A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211704155.4
申请日：2022-12-29
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于压电致动器的电荷泵校正驱动方法，是利用基准电压模块产生正负基准电压；利用逻辑比较模块产生基准电压模块的控制信号f1；利用开关电容模块控制压电致动器两端电荷量的变化速率；利用迟滞校正模块产生变化的电压信号控制压频转换模块；利用压频转换模块产生开关电容模块的控制信号f2；其中，迟滞校正模块的校正参数由经典电荷泵驱动的输出迟滞曲线进行二阶多项式拟合得到。本发明能实现输出位移范围与频率的简单可调，在驱动电压范围为0到100V范围时能在经典电荷泵驱动的基础上将压电致动器的迟滞大幅降低至0.47％以下，从而能明显改善压电致动器的迟滞非线性，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN113067497B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202110326662.8
申请日：2021-03-26
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷驱动器的迟滞分割建模与补偿方法，其步骤包括：S1：利用电压放大器放大数模转换器输出的模拟电压，驱动压电陶瓷驱动器运动；S2:加载压电陶瓷驱动器至极限电压，得到其迟滞主环曲线；S3：利用S2已完成的迟滞主环，对压电陶瓷驱动器加载其他输入电压(其电压包含在主环电压范围内)，所形成的迟滞次环都可由迟滞主环得到；S4：利用高阶有理分式逼近模型中的迟滞主环，通过递推算法完成迟滞分割建模与补偿。本发明能够准确描述迟滞非线性的数学模型，并开发出一种模型简单、并且精度高的压电陶瓷驱动器迟滞模型，从而为研究压电陶瓷驱动器在超精密位移驱动系统的精确控制奠定模型基础。
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公开(公告)号：CN113726216A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111007628.0
申请日：2021-08-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种非同频双定子驱动压电马达，属于压电电机技术领域。包括定子机构、动子机构和底板；定子机构由第一压电定子和第二压电定子组成；两个定子的结构相同、方向相反，且对称固定设于底板上；动子机构包括动子和动子座，动子机构配合设于第一压电定子和第二压电定子之间的底板上；动子的两侧分别通过摩擦界面与第一压电定子和第二压电定子耦合接触。本发明通过直流静态、低频准静态和高频谐振态的跨频段激励，使得马达在直流静态下进行微位移补偿，准静态下完成高分辨率驱动，并实现降低或提高步进位移和驱动速度，在谐振态下完成快速粗定位，从而实现兼顾高速、高分辨率和高精度的跨尺度输出。本发明有效降低了波形定子设计复杂度。
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公开(公告)号：CN110441551B
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN201910736261.2
申请日：2019-08-09
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种基于石英圆环谐振器的原子力探针式传感器，石英圆环谐振器正下方连接有探针，探针正下方设置有压力膜，石英圆环谐振器的水平直径方向上设置有电极，电极包括相互连通在外环表面的第一电极与第四电极，相互连通在内环表面的第二电极与第三电极；控制电路用于控制激振电路、驱动电路输出控制信号，激振电路分别通过引线连接第一电极与第四电极以及第二电极与第三电极；压电陶瓷驱动器的输出端连接于在石英圆环谐振器顶部中心位置，压电陶瓷驱动器与探针相对于石英圆环谐振器中心呈对称安装；压电陶瓷驱动器的驱动端通过引线连接驱动电路。本发明利用原子力检测压力膜的表面形变，具有纳米级别的分辨率。
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公开(公告)号：CN110388875B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201910810549.X
申请日：2019-08-29
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种能提高测量范围的微纳米三维接触式测量探头及控制方法，具有测量单元和测头单元；其测量单元中激光器发射的准直光束在迈克尔逊干涉仪中的分成两路准直光，并一一对应形成参考光束和测试光束，在参考光束和测试光束之间产生干涉；其测头单元是在圆环座与中心盘之间以弹簧相连接，使中心盘在所述圆环座中呈悬浮结构，在所述中心盘的一侧固定设置测量反射镜，另一侧安装带有测球的测杆；将迈克尔逊干涉仪中用于形成参考光束的参考反射镜设置在二维微调座上，通过调整二维微调座，使参考反射镜获得所需的二维偏摆角度，以此满足设定的测量范围的要求，本发明能达到扩大探头的量程、提高测量精度的效果。
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