-
-
公开(公告)号:CN1568106A
公开(公告)日:2005-01-19
申请号:CN200410003532.7
申请日:2004-01-29
Applicant: 卡西欧计算机株式会社
CPC classification number: H01L51/0005 , H01L27/3295 , H01L51/0037
Abstract: 本发明提供的溶液喷出装置及溶液喷出方法,能有效地仅在目标位置上精度良好地附着溶液。本发明的溶液喷出装置,具备:喷嘴,将溶液变成液滴,喷出到基板的一个面上;基板加热器,加热上述基板;以及冷却构件,对上述喷嘴内的上述溶液进行冷却。
-