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公开(公告)号：CN117600685A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311777544.4
申请日：2023-12-22
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/53
Abstract: 本发明公开了一种硬脆性材料晶锭超快激光快速改质的方法，将单束超快激光整形成并行排列的多束激光，然后利用多束激光并行扫描非连续改质代替单束激光逐行连续改质，通过改质区域内多光束并行扫描来提高激光改质效率，进一步通过提高非改质区域的扫描速度来提高激光改质效率，相比较传统的单束超快激光等间距连续改质，该方法激光改质时间更短，改质区域更少，非改质区域扫描速度更快，从而极大提高激光改质效率，并且非连续改质可以减少辐照在晶锭内部的总激光能量，显著降低晶锭内的热应力，提高激光改质剥片后晶圆片的面型精度。
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公开(公告)号：CN108682647B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201810778032.2
申请日：2018-07-16
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供了一种晶片侧面打码读码存储一体机及其使用方法，包括真空吸附平台、打码器、读码器、移动载体、位置调节装置、控制装置；所述打码器设置于移动载体上，所述移动载体包括第一移动载体、第二移动载体；所述读码器设置于所述位置调节装置上，所述位置调节装置包括第一位置调节装置、第二位置调节装置；所述控制装置控制所述第一移动载体、第二移动载体、第一位置调节装置和第二位置调节装置滑动；所述真空吸附平台用于放置和固定晶圆片。应用本技术方案可实现对晶圆片制备及后续芯片制作过程的全流程质量跟踪和监控。
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公开(公告)号：CN107378812B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201710756297.8
申请日：2017-08-29
Applicant: 华侨大学
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明公开了一种凝胶研磨工具制备装置。包括溶胶分散单元和凝胶单元；其中溶胶分散单元包括溶胶池，溶胶池内设搅拌器；凝胶单元包括料缸，料缸内设有活塞，料缸进料口通过进料口单向阀连接溶胶池出料口；料缸出料口内设出料口单向阀；料缸出料口连接一出料嘴，料缸出料口下方设反应池，反应池内有反应液。本发明结构简单，易于控制且能够满足连续作业的需要，实现了凝胶研磨工具的自动化批量生产，大大提高了生产率和研磨工具制备稳定性，降低制备成本。
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公开(公告)号：CN112595673B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202011296318.0
申请日：2020-11-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法，包括：采用透射式椭偏测量方式和反射式椭偏测量方式分别测量单晶金刚石衬底；通过上述测量分别获得透射光谱(ψt、Δt)和反射光谱(ψr、Δr)；依据上述测量获得光谱数据，采用Cauchy模型分别计算以获衬底光学常数，该光学常数至少包括衬底折射率n和消光系数k；评估拟合误差σ，当拟合误差超过预定条件，则优化光学模型或介电函数；比对优化后模型的拟合误差，选择一模型及测量方式以确定金刚石衬底的光学常数。它具有如下优点：光学常数测量更精准。
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公开(公告)号：CN114193318B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202111532741.0
申请日：2021-12-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114695204A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210256476.6
申请日：2022-03-16
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , B24B29/02 , B24B41/00
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
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公开(公告)号：CN108335285B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201810040362.1
申请日：2018-01-16
Abstract: 本发明提供了基于图像处理的金刚石磨粒磨损率测定方法，首先，对金刚石磨粒图像进行中值滤波和高斯滤波，获得由中值滤波图像和高斯滤波图像聚合而成的增强型金刚石磨粒图像，利用边缘检测和形态学方法对增强型金刚石磨粒图像进行磨粒区域分割，并提取分割的磨粒区域图像；其次，对提取的磨粒区域图像进行中值滤波预处理，继续利用边缘检测和形态学方法对磨粒进行磨损区域分割，并提取分割的磨损区域图像；最后，利用区域像素统计的方法，分别计算磨粒区域面积、磨损区域面积和磨粒磨损率，完成金刚石磨粒磨损率测定。本发明克服了以往人工定性地观测金刚石磨粒磨损的不足，实现了定量测量金刚石磨粒的磨损程度，测定的准确性和效率都得到提升。
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公开(公告)号：CN110108716A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910371255.1
申请日：2019-05-06
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种自动化衬底晶片缺陷及厚度检测系统，该检测系统可对衬底晶片进行缺陷检测，且能对有缺陷的衬底晶片进行分类判断，形成裂纹缺陷晶片和崩边缺陷晶片，并将裂纹缺陷和崩边缺陷进行分析以确定为无缺陷晶片、直接报废的晶片或可修复的晶片三种缺陷程度不同的晶片；同时，该检测系统还能进行厚度检测，厚度检测采用彩色共焦传感技术，以确定无缺陷晶片的厚度，以使下料模块能对无缺陷晶片进行分档下料。且整个检测系统完全自动化，完成一次检测速度快，适用于流水线批量作业，自动化程度高，无需人工识别缺陷及厚度分类，能满足批量的高效检测以及高精度检测需求。
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公开(公告)号：CN106064353B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201610608889.0
申请日：2016-07-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种有序排布的磨盘及其制备方法。该磨盘包括一基盘1和若干个磨片2，该若干个磨片2固接在基盘1；该磨片2包括若干根凝胶磨棒3、结合剂5和若干根不包含磨粒的凝胶棒4，该凝胶磨棒3内包含有磨粒7；若干根凝胶磨棒3和若干根凝胶棒4通过结合剂5固定成一体，该凝胶磨棒3用于实现磨削加工，该凝胶棒4经水解后能形成容屑腔。它具有如下优点：凝胶棒内没有包含有磨粒，经水解后能形成容屑腔，以形成有凹坑，使得磨盘表面形成大量的容屑空间，从而解决现有微细磨具容屑空间不足，容易堵塞的难题。
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公开(公告)号：CN106510878B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201611080123.6
申请日：2016-11-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种通过3D打印技术实现的仿生结构空心牙模制作方法，该空心牙模包括表面薄壁和内支撑结构；所述内支撑结构为薄壁框架结构，并内接于所述表面薄壁，对所述表面薄壁进行支撑；该制作方法具体包括对患者牙齿的3D扫描、对3D模型进行3D重构和通过3D打印机输出。本发明提供了一种通过3D打印技术实现的仿生结构空心牙模制作方法，结构轻量化，不仅强度好，而且大大地减少了耗材，提高了效率，降低了成本，实现了大批量生产。
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