公开(公告)号：CN111412863A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN202010327432.9

申请日：2020-04-23

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  张雅丽 ,  程方 ,  王寅 ,  张一 ,  尚文键 ,  邹景武 ,  周东方 ,  张昆

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/04

Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统，其特征在于，包括：从上至下依次排列的复色光源、分光模块、色散模块、载物模块以及位于分光模块一侧的成像模块，被测物位于色散模块和载物模块之间，复色光源发出的复色光经分光模块分光后传播至色散模块进行并行色散，使得不同波长的光线按照波长规律聚焦在各自轴向的不同高度位置处，光线到达被测物表面并由被测物表面反射至分光模块中，再由分光模块对光线进行再次反射，聚焦在被测物表面的波长的光线经反射后到达成像模块成像。本发明的并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统，使用方便，测量效率和测量精度高。

公开(公告)号：CN217637202U

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202220056236.7

申请日：2022-01-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 周东方 ,  程方 ,  余卿 ,  张雅丽 ,  苏杭 ,  张岩 ,  陈涛 ,  邹彤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型涉及一种基于像栅的直线位移测量系统。该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本实用新型提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。

公开(公告)号：CN213956279U

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202120203489.8

申请日：2021-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  董声超 ,  尚文键 ,  程方 ,  张雅丽 ,  王翀 ,  肖泽祯 ,  王寅 ,  张一

IPC: G01B11/25 ,  G01B9/04

Abstract: 本实用新型涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统，包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块，至运动载物模块，再斜向上反射至反射镜，二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面，不同波长的光聚焦到不同的轴向高度，在被测物表面形成光斑，光线采集计算模块接收和分析光波信号，移动被测物，光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌，如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。

公开(公告)号：CN213714231U

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN202023275536.4

申请日：2020-12-29

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  张一 ,  肖泽帧 ,  程方 ,  王寅 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  邹景武 ,  王翀 ,  董声超 ,  陈涛

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实用新型涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本实用新型通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。

公开(公告)号：CN214470666U

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202120208346.6

申请日：2021-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  张雅丽 ,  程方 ,  王寅 ,  尚文键 ,  王翀 ,  董声超 ,  肖泽祯

IPC: G01B11/25 ,  G01B9/04

Abstract: 本实用新型公开了一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其包括照明光路、水平运动平台、反射光路、采集光路和计算模块。水平运动平台上能安装被测物。照明光路的入射光部分聚焦至被测物表面，再反射至所述反射光路，再在反射光路上反向射回，并经过反射光路上的分光镜侧向射出反射光路，射向所述采集光路。所述计算模块连接于所述采集光路和所述水平运动平台。本测量系统以倾斜射入测试光波的方式对被测物表面信息进行采集，采集光路采集到的波长信息代表当前测量物表面的相对轴向高度，计算模块通过结合水平运动平台扫描测量被测物整个表面的高度变化值，生成表面三维形貌图。本实用新型不仅适用于水平表面的探测，也适用于竖直表面的探测。

公开(公告)号：CN213956278U

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202120202250.9

申请日：2021-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  程方 ,  张一 ,  王翀 ,  董声超 ,  肖泽祯

IPC: G01B11/25 ,  G01B9/04

Abstract: 本实用新型涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统，包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块，色散成不同波长的多个光束，再聚焦至运动载物模块上的被测物，移动运动载物模块以进行被测物表面各位置图像信息采集，光纤再反射至反射镜头模块又180度反射回来，射向采集计算模块。采集计算模块采集被测物表面反射的聚焦光斑的波长和颜色信息，通过波长信息计算出被测物表面的相对轴向高度数据，将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三维点云建模生成表面形貌图像。本测量系统和检测方法适用于在几何空间受限时，检测样品表面形貌。