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公开(公告)号：CN107677372B
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201710813574.4
申请日：2017-09-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于无损检测技术领域，并公开了一种基于双目视觉的隧道检测方法，包括以下步骤：1)输入高温报警阈值温度，和建立正常未渗漏水墙面的红外热像和可见光数据模型；2)拍摄隧道墙面红外热像图和可见光热像图；3)红外热像图温度统计判断是否存在高温区，进行高温报警；4)降噪并分别提取红外热像图和可见光热像图中的渗漏水区域；5)合成红外热像图和可见光热像图的渗漏水区域提取图为最终的渗漏水区域提取图；6)根据渗漏水区域提取图计算渗漏水面积。本发明利用基于红外热成像技术和可见光成像技术的双目视觉技术可以结合两者的优点，达到更好地渗漏水区提取效果。
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公开(公告)号：CN105716546B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201610103818.5
申请日：2016-02-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种基于超声光栅的共面度测量系统，包括激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器、超声换能器、计算机、移动平台、光学平台和CCD摄像机，所述激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器以及移动平台均安装在所述光学平台上；激光光源、激光扩束系统和声光介质容纳器按照从前到后的顺序依次设置在所述光学平台上；声光介质容纳器的左侧设置所述超声换能器，所述声光介质容纳器的右侧设置有反射面，以用于反射超声波；所述移动平台用于放置待测物体，并且其与待测物体接触的平面作为参考平面。本发明采用超声光栅的技术，使得测量面积、精度和速度都有提高，能满足高精度快速测量要求。
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公开(公告)号：CN105716546A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610103818.5
申请日：2016-02-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/30
CPC classification number: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种基于超声光栅的共面度测量系统，包括激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器、超声换能器、计算机、移动平台、光学平台和CCD摄像机，所述激光光源、信号发生器、激光扩束系统、声光介质容纳器以及移动平台均安装在所述光学平台上；激光光源、激光扩束系统和声光介质容纳器按照从前到后的顺序依次设置在所述光学平台上；声光介质容纳器的左侧设置所述超声换能器，所述声光介质容纳器的右侧设置有反射面，以用于反射超声波；所述移动平台用于放置待测物体，并且其与待测物体接触的平面作为参考平面。本发明采用超声光栅的技术，使得测量面积、精度和速度都有提高，能满足高精度快速测量要求。
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公开(公告)号：CN102052907B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010548877.6
申请日：2010-11-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于投影莫尔原理的共面度测量系统，包括冷光源(1)，准直透镜(3)，CCD摄像机(2，4)，LCD面板(5)，投影透镜(6)，光学平台(7)，高精度移动台(8)和计算机(9)。所述LCD面板(5)上显示通过所述计算机(9)产生的条纹图案，所述冷光源(1)发出的光经所述准直透镜(3)后照射到所述LCD面板(5)上，将显示在所述LCD面板(5)上的条纹图案投影到被装载在高精度移动台(8)上的参考平面或者待测物表面上，所述CCD摄像机为两个，对称设置于LCD面板(5)两侧。本发明的测量面积和测量精度都得到很大提高，能够满足当今封装测试中所需要的大面积、高精度实时快速测量的要求。
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公开(公告)号：CN1492224A
公开(公告)日：2004-04-28
申请号：CN03125367.9
申请日：2003-09-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要，研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热－机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机，可实现10－500Hz的动态加载频率；以及采用光学逆相散射法，直接测量微小样品面内与离面的三维变形，以消除工作台刚性引起的误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116576802A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310574113.1
申请日：2023-05-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于投影成像对比的镜面形貌测量方法及装置，该装置中的成像板与放置于待测点的镜面平行，且相机的光轴垂直于成像板；投影装置用于将散斑图片投射至待测镜面，相机用于采集经待测镜面反射至成像板上的散斑图像作为变化图像；处理器中存储参考图像，参考图像为将参考平整镜面放置于待测点时，相机采集得到的图像；处理器还用于根据参考图像及变化图像确定散斑的位移变化量对待测镜面的三维形貌进行重构。本发明通过投影光反射角变化原理测得待测镜面的形貌，避免了相机直接对着镜面引起的离焦问题，测量翘曲变形的精度能够达到微米级，检测效率高，适用于实际生产线的大批量快速检测。
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公开(公告)号：CN108303426B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN201810117996.2
申请日：2018-02-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明属于隧道缺陷检测领域，并公开了一种电缆隧道缺陷无损快速检测装置及其检测方法。所述机械臂包括多个连杆和关节点，该机械臂的同时与底盘和云台连接，用于调节云台的高度，云台上设置有红外热像仪和可见光摄像头，二者沿横向或纵向并列排列，拍摄隧道墙面的照片，用于检测隧道墙面是否存在裂纹和渗漏缺陷，该云台绕末端关节点水平旋转和俯仰运动时，使得红外热像仪和可见光摄像头检测位置相应发生变换；控制器设置在底盘上，通过底盘上的无线通信器与远程控制上位机连接，并进行数据的交互。同时本发明还公开了该检测装置的检测方法。通过本发明，实现检测速度快、检测精度高、无损检测和远程操控地对隧道检测。
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公开(公告)号：CN112857244A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110053679.0
申请日：2021-01-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微电子封装检测分析领域，并具体公开了一种基于散斑结构光的微电子基板翘曲测量方法和系统。该方法具体为：对载物台的参考平面投影散斑图案并带动其上升，以此采集一系列参考图像；载物台归位，将待测微电子基板放置在载物台上加热并投影散斑图案，以此采集变形图像；将变形图像和参考图像进行匹配，选定最接近变形图像偏移值的参考图像为分析图像，进一步求得变形图像精确的整像素和亚像素偏移值，从而获得散斑的实际偏移值，并利用其计算该散斑所在处的面外位移；重复上述步骤，以此得到待测微电子基板的全场面外位移。该方法将散斑投影应用于微电子基板翘曲测量中，不需要制样，最大程度还原了试样表面的真实形貌。
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公开(公告)号：CN112577439A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011405945.3
申请日：2020-12-03
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微电子基板翘曲检测相关技术领域，其公开了一种基于红外和光学图像的微电子基板翘曲测量方法和系统。该方法包括：在微电子基板表面喷射随机分布的散斑；对微电子基板进行加热，同时采集微电子基板的红外图像和光学图像；将光学图像和原始光学图像进行图像相关获得位移应变场，红外图像插值后与光学图像的分辨率相同，进而获得所述散斑所在的微电子基板的翘曲情况与温度的变化关系。通过将光学图像和红外图像进行耦合获得微电子基板的变形情况和对应的温度情况，可以定量的得到微电子基板的变形量和温度的关系，操作简单，测量精准。
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公开(公告)号：CN110207685A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910508920.7
申请日：2019-06-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开一种MEMS陀螺仪，属于惯性测量器件领域。本发明的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成，包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔，并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合，保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率，使得驱动叉指位移增大，还提高了叉指科式振动传递效率，从而增大了输出信号，并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态，保证了陀螺工作的稳定性。本发明的梳齿石英陀螺整体结构简单，易于加工。
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