公开(公告)号：CN201607406U

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201020119433.6

申请日：2010-02-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 曾晓雁 ,  陆永枫 ,  郭连波 ,  李常茂 ,  蔡志祥 ,  曹宇

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型属于激光探测技术领域，具体为一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪。其结构为：固定波长激光器、衰减器、扩束镜、小孔光阑、第一半透半反镜依此位于同一水平光路上，波长可调谐激光器通过第二全反镜反射到第一半透半反镜上后与固定波长激光器的激光束同光路。固定波长激光器和波长可调谐激光器可上下或平行放置，且通过数字延时发生器控制其开启顺序及延时。由光纤探头接收并通过光纤传输到光栅光谱仪后至增强型CCD的等离子体光谱采集时间也由数字延时发生器控制。这种双激光光源激发的激光探针仪探测极限低，元素分析精度高，元素选择性好，更加稳定可靠。可用于各种物质微区的微量、痕量元素的准确定性和精确定量分析。

公开(公告)号：CN201434840Y

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200920086880.3

申请日：2009-06-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 曾晓雁 ,  陆永枫 ,  郭连波 ,  蔡志祥 ,  曹宇 ,  李常茂

IPC: G01N21/63 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型属于激光探测技术领域，具体为一种激光探针微区成分分析仪。其结构为：激光器，扩束镜和第一全反射镜依次位于同一水平光路上；第一全反射镜的反射面与水平光路的夹角为45度；工业CCD位于第一全反射镜的上方，工业CCD和第一聚焦物镜自上而下依次放置且光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜的下方；全反射镜活动安装在样品的反射光路上，光纤探头位于全反射镜的反射光路上；工业CCD通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头与光栅光谱仪、增强型CCD和计算机连接。该激光探针仪能对物质微区元素进行无损探测，能满足各种材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析，还可以针对样品微区的微量甚至痕量元素进行高精度的定量分析。

公开(公告)号：CN202114396U

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201120128340.4

申请日：2011-04-27

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 曹宇 ,  曾晓雁 ,  段军 ,  王泽敏 ,  李祥友 ,  高明 ,  胡乾午 ,  刘建国

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/04

Abstract: 本实用新型提供了一种三坐标振镜扫描式激光加工头，其包括XY两轴激光振镜系统、装夹机构、Z轴移动机构、激光位移传感器和控制系统，Z轴移动机构包括一固定部件和一运动部件，装夹机构固定安装在Z轴移动机构的固定部件上，XY两轴激光振镜系统和激光位移传感器均固定安装在Z轴移动机构的运动部件上，激光位移传感器、Z轴移动机构和XY两轴激光振镜系统均与控制系统电连接。该激光加工头具备动态焦距调节功能且结构独立、紧凑，其标准数控机床拉刀接口设计使其与三轴、五轴等商业化多轴联动数控机床的组合加工非常简易，大大提高了工艺柔性，可以方便的将常规的多轴联动数控机床改变成振镜扫描式激光加工机床，而功能兼容，因此具有重要的实用价值。