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公开(公告)号：CN102062662A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010537800.9
申请日：2010-11-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法。该压力传感器包括嵌置了CMOS处理电路的第一衬底、开有压力腔的第二衬底和两衬底之间的电容感应薄膜；该薄膜由两层PECVD SiC薄膜夹上电极组成，悬浮于压力腔上；压力腔表面覆盖有下电极；压力腔上方的第一衬底部分开有深槽，露出上层的PECVD SiC薄膜；CMOS处理电路位于深槽的旁边，并与上电极接通。该传感器以低温淀积的SiC作为感应薄膜，器件性能好且适用于腐蚀性环境。同时，本发明采用post-CMOS方法加工，实现了传感器与处理电路的集成，从而提高了器件的整体精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN101734611A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910241981.8
申请日：2009-12-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于无掩膜深反应离子刻蚀制备黑硅的方法。所述方法包括：对所述制备黑硅的方法的所采用的设备进行初始化和等离子稳定，以使等离子体进行辉光放电；控制所述深反应离子刻蚀制备黑硅的工艺参数，采用刻蚀与钝化的方式交替对硅片进行处理；其中，所述参数包括：等离子体气体流量、刻蚀平板功率、钝化平板功率、线圈功率和刻蚀、钝化周期、温度。本发明直接对硅片表面进行等离子体处理，通过调节选取合适的刻蚀工艺参数，在无需任何纳米掩膜的条件下即可在硅片表面生成大范围、高密度的纳米结构。并且，该制备黑硅的方法效率高、成本低，且能够与其他微加工工艺集成。
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公开(公告)号：CN101718910A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910237299.1
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明涉及一种静电振镜及其制作方法，该静电振镜由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，衬底至少表面绝缘；驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点、导线，驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜中心线为对称线设置于中心线两侧，用于控制振镜一个维度的振动；着陆电极两两以中心线为对称线设置于中心线两侧，并通过键合与振镜层相连，使得着陆电极与振镜层悬臂梁电位相同；振镜层包括：振镜、支架、悬臂梁，振镜两端与悬臂梁连接，支架固定于衬底，悬臂梁与支架连接，为鱼骨形结构，具有末端可接触到着陆电极的多根不同长度的齿状子梁，允许振镜产生扭动。本发明的静电振镜制造工艺简单、成本低，可靠性高。
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公开(公告)号：CN111898174A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN202010758940.2
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京大学
IPC: G06F30/12 , G06F111/20
Abstract: 本发明提供了一种基于标准化模块及磁学式互连的自由可重构系统。该系统包括：标准传感模块、标准供能模块和标准底板处理电路，标准传感模块分别与标准供能模块和标准底板处理电路利用磁力辅助实现互连自对准，所述标准传感模块用户按需从标准传感模块库中自由选取，标准供能模块根据用户需求从标准供能模块库中自由选取，整个系统实现基于磁学互连的自由可重构。本发明的系统基于单套标准化可控工艺，兼备性能高效、可靠、抗干扰；用户可以根据不同应用场景随时随地“搭建”满足自身需求的集成化智能微系统，实现成本低、多次复用且简便易行的标准化应用，具有多功能、标准化、集成化、自供能、可重构等五大优势。
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公开(公告)号：CN108429428B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201810190109.4
申请日：2018-03-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明实施例提供了一种电磁摩擦复合式多方向振动能量采集器及其制造方法。该装置包括：外部支撑结构、永磁体、弹性材料、电磁线圈、聚合物材料和摩擦电极阵列，电磁线圈和摩擦电极阵列分别位于外部支撑结构的上、下内表面，聚合物材料覆盖于摩擦电极阵列之上，永磁体通过弹性材料悬浮在支撑结构中心与聚合物材料接触，并可以沿各个方向随意滑动；永磁体与弹性材料形成谐振系统，沿平面内任意方向滑动产生电能输出，对周围环境中的低频振动机械能进行有效采集。本发明结构简单、设计合理、布置灵活，能够有效采集平面内沿各个方向振动的机械能，快速将电容充电到较高的电压水平。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106674585B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201611148045.9
申请日：2016-12-13
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明实施例提供了一种具有多孔结构的可拉伸弹性体的制备方法，具有极高的可控性。所述方法包括：一种具有多孔结构的可拉伸弹性体的制备方法，包括：步骤一，获取衬底；步骤二，在所述衬底上制备预定厚度的薄膜，作为牺牲层；步骤三，在所述牺牲层上制备微球阵列；步骤四，将液态材料加入到所述微球阵列的间隙中，利用热固化的方法，把所述液态材料固化成弹性体；步骤五，通过化学方法从所述弹性体中去除所述微球阵列，并使所述弹性体与所述衬底分离，生成具有多孔结构的可拉伸弹性体。本发明的制备方法具有极高的可控性。
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公开(公告)号：CN106694065B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201611074146.6
申请日：2016-11-29
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种基于固液摩擦的微流控液体或者气泡检测装置和方法。包括：衬底材料、电极阵列、绝缘疏水材料、微流控通道支撑材料和微流控芯片中的微流控通道；电极阵列位于衬底材料的上部，用于感应固液摩擦起电；绝缘疏水材料位于电极阵列的上部，和液体摩擦起电，并起到绝缘作用；微流控通道位于绝缘疏水材料的上方，引导液体从绝缘疏水材料上流过。本发明利用固体液体摩擦生电原理用于检测微流道内液体或者气泡流动、电解质浓度等信息，具有无需外部供电、结构简单、易于加工制备、与现有微流控芯片容易集成等优点。通过采用阵列式梳齿电极的设计，能够检测出液体与气泡的差别以及液体流动的方向，并计算出液体流动的速度。
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公开(公告)号：CN105871247B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201610267181.3
申请日：2016-04-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种自充电能量单元的制造方法和自充电能量单元。所述方法包括：将柔性隔膜的上下两侧分别覆盖两层固态电解质层；将两侧覆盖有固态电解质层的柔性隔膜夹于两片柔性电极的中间，得到固态柔性超级电容器；在烘干超级电容器的上下两侧分别形成PDMS薄膜，作为封装层；在柔性衬底上溅射ITO电极，得到四个ITO电极；将PDMS溶液涂在第二ITO电极和第三ITO电极的表面，烘干得到两层PDMS薄膜层；将第一正极性摩擦材料和摩擦材料电极层、第二正极性摩擦材料和摩擦材料电极层、第一摩擦材料电极、第二摩擦材料电极和第一和第二负极性摩擦材料层组合,得到摩擦发电机；将封装层的上下表面分别与第二柔性衬底和第三柔性衬底的表面贴合，得到自充电能量单元。
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公开(公告)号：CN105897035B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201610262694.5
申请日：2016-04-25
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明提供了一种可拉伸的摩擦式能量采集器及其制作方法。主要包括：衬底层，以及设置在衬底层上面的导电层，所述衬底层用可拉伸的有机材料制作，所述导电层用导电材料制作，当所述衬底层与其他材料进行摩擦的时候，所述导电层捕获摩擦产生的感应电荷，将所述感应电荷作为能量存储或作为信号传感。本发明实施例通过使用可拉伸的有机材料制作衬底层，使得可拉伸的摩擦式能量采集器可以保形使用在一切规则或不规则的物体表面，极大地扩展了摩擦发电机的适用范围。本发明实施例的可拉伸的摩擦式能量采集器件可以是透明的，便于与其他模块进行集成。可以在不影响人体运动的同时，收集人体运动产生的能量并为可穿戴设备供电。
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公开(公告)号：CN105186600B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201510497749.6
申请日：2015-08-13
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种无线自供能充电服，属于无线能量传输技术领域。当衣物之间或者衣物与外界摩擦时会产生摩擦电荷，摩擦电荷的相对运动会在电极上产生感应电流，这些电能被电极捕获并通过无线传输的方式传递给接收电极并对待充电设备进行充电。包含辅助能量采集电极、发射电极、接收电极以及外部衣物，发射电极靠近充电位置，接收电极位于待充电设备上，并与待充电设备用导线连接。本发明具有能量采集供功能，无须外部供电,相较于传统充电装置充电空间不受限制。可在用户无意识中完成充电过程，不需要额外操作，极大简化了充电过程，制作工艺简单，成本低，有利于大规模生产。在便携式电子设备和可穿戴设备方面有良好的应用前景。
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