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公开(公告)号:CN108981866A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201810771203.9
申请日:2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F25/00
Abstract: 一种基于航空发动机涡轮生产喷涂设备的气体流量校准系统及方法,真空系统的机械泵经第一真空阀门与分子泵抽气出口连接,分子泵入口与第三阀门、第二阀门连接,第三阀门另一端与第一真空室连接,第二阀门另一端与第二真空室连接,第一真空室上面接了第四真空计、第五真空计与第六真空阀门、第六真空阀门与第六真空计连接,第二真空室上面连接第一真空计和第二真空计以及第五阀门,第五阀门与第三真空计连接,第三真空室与第九阀门和第七真空计连接,第四阀门一端与第九阀门、第三真空室和第七真空计连接,另一端与第八阀门、第七阀门及第一真空室连接,流量计通过第八阀门、第九阀门连接,活塞安装在真空室内部,位置测量仪用于测量活塞运动情况。
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公开(公告)号:CN117419996B
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202311355171.1
申请日:2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法,所述装置包括:微量气体取样管路,包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计;其他气体取样管路,包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计;混合气体管路,包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计;第一真空室与第四阀门连接,第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便,可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号:CN115718133B
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202211516431.4
申请日:2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法,所述装置包括:取样腔,所述取样腔内设有样品夹具;第一分子泵,入气口与所述取样腔连接;第一机械泵,与所述第一分子泵的抽气口连接;第一全量程真空计,与所述取样腔连接;质谱分析腔,与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接;第二分子泵,入气口与所述质谱分析腔连接;第二机械泵,与所述第二分子泵的抽气口连接;第二全量程真空计,与所述质谱分析腔连接;机械刺穿机构,设置于所述取样腔上;以及四极质谱仪,设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测,具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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公开(公告)号:CN117967997A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202410052082.8
申请日:2024-01-12
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及检漏工装密封机构,包括:外壳;支撑架,固定设置于所述外壳内;驱动机构,设置于所述支撑架上;密封腔压板,活动设置于所述外壳内且与所述驱动机构连接;检漏工装,设置于所述外壳内且与所述密封腔压板连接,所述检漏工装的一侧具有凹槽,在所述凹槽中设置有柔性密封条;所述驱动机构被配置为受控驱动所述密封腔压板运动,带动所述检漏工装运动,所述外壳上具有供所述检漏工装伸出的通孔,使得所述检漏工装伸出后贴合在被检测件上,且所述柔性密封条紧密接触被检测件。通过驱动机构调节检漏工装,即可实现检漏工装与被测位置之间的连接和分离,并通过柔性密封条进行密封,无需对被测位置进行处理,也无需采用真空封泥,提高检测效率。
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公开(公告)号:CN117419996A
公开(公告)日:2024-01-19
申请号:CN202311355171.1
申请日:2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法,所述装置包括:微量气体取样管路,包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计;其他气体取样管路,包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计;混合气体管路,包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计;第一真空室与第四阀门连接,第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便,可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号:CN117212121A
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202311127210.2
申请日:2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法,包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路;进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门;测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵,第一测试罩上还连接有第二真空计;校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组,第二测试罩上还连接有第三真空计;第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接,第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计;第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度,减小测量不确定度,降低测试成本,避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号:CN111473833A
公开(公告)日:2020-07-31
申请号:CN202010300278.6
申请日:2020-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F17/00
Abstract: 本发明公开了一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法,属于真空腔体容积测试领域;利用内置标准体积、两次气体静态膨胀对非标真空腔体容积进行精确测量的方法:将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室,以测定两个真空腔室的体积比,在气体膨胀室置入标准体积的条件下,将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室,以测定被测真空腔室的准确体积;提出操作便捷的真空测量系统,其中气体膨胀室、阀门、标准体积经特殊高真空处理,具有较小的材料放气率,使气体静态膨胀过程中装置本底放气极小,保证测量的精确性。本发明的系统和方法能够快速、便捷地对各型真空腔体的容积进行精确测量。
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公开(公告)号:CN109519407A
公开(公告)日:2019-03-26
申请号:CN201811490232.4
申请日:2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明提供一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法,该装置包括:前级泵、分子泵、测试罩、第一~第五真空规、第一~第四阀门、流量计和气源,其中前级泵与第四阀门连接,第四阀门分别于前级泵、第三阀门、第四和第五真空规及分子泵连接;第四和第五真空规连接在分子泵和第四阀门之间的管路处;分子泵的出气口与第四阀门连接,抽气口与测试罩连接,测试罩的测试口与分子泵抽气口连接。利用本发明的测试装置,解决了传统测量范围较小的问题,延伸了压力测量范围并且提高了测量精度。
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公开(公告)号:CN109443983A
公开(公告)日:2019-03-08
申请号:CN201811431933.0
申请日:2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/00
Abstract: 本发明一种基于对称结构的材料放气率测试系统及方法,包括第一至第四真空室、第一和第二小孔元件、第一至第三真空计、机械泵、分子泵、第一至第八真空阀门、第一和第二进样阀门、恒温箱;机械泵通过第一真空阀门与分子泵的抽气出口连接,其抽气入口分别与第一真空计、第二第三第四真空阀门的一端连接;所述第三、第四真空阀门的另一端分别与第二、第四真空室连接;第二第四真空室分别通过第一、第二小孔元件与一三真空室相连通;第二真空计分别通过第五、第六真空阀门连接至第二、第四真空室,第三真空计分别通过第七、第八真空阀门连接至第一、第三真空室;第一、第三真空室上分别设置第一、第二进样阀门。本发明可大幅提高测量精度和测试效率。
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公开(公告)号:CN109404322A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201811490227.3
申请日:2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种宽量程高精度分子泵抽速测试系统及方法。该测试系统包括干泵RP、分子泵TMP、测试罩VC1、第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3、第一真空阀门V1、第二真空阀门V2、流量计FM、气源和真空管道等。通过本发明的技术方案,测试系统的真空度测量范围达到10-1~10-7帕,测量不确定度小于10%。
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