公开(公告)号：CN115718133A

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN202211516431.4

申请日：2022-11-29

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 杨传森 ,  卢耀文 ,  宋春尧 ,  吴端 ,  陈静 ,  梁明超 ,  陈千睿

IPC: G01N27/62

Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设有样品夹具；第一分子泵，入气口与所述取样腔连接；第一机械泵，与所述第一分子泵的抽气口连接；第一全量程真空计，与所述取样腔连接；质谱分析腔，与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接；第二分子泵，入气口与所述质谱分析腔连接；第二机械泵，与所述第二分子泵的抽气口连接；第二全量程真空计，与所述质谱分析腔连接；机械刺穿机构，设置于所述取样腔上；以及四极质谱仪，设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测，具备极高的通用性、便捷性和可控性。

公开(公告)号：CN115718133B

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202211516431.4

申请日：2022-11-29

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 杨传森 ,  卢耀文 ,  宋春尧 ,  吴端 ,  陈静 ,  梁明超 ,  陈千睿

IPC: G01N27/62

Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设有样品夹具；第一分子泵，入气口与所述取样腔连接；第一机械泵，与所述第一分子泵的抽气口连接；第一全量程真空计，与所述取样腔连接；质谱分析腔，与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接；第二分子泵，入气口与所述质谱分析腔连接；第二机械泵，与所述第二分子泵的抽气口连接；第二全量程真空计，与所述质谱分析腔连接；机械刺穿机构，设置于所述取样腔上；以及四极质谱仪，设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测，具备极高的通用性、便捷性和可控性。

公开(公告)号：CN111473833A

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN202010300278.6

申请日：2020-04-16

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 杨传森 ,  吴端 ,  陈静 ,  梁明超 ,  柏向春 ,  延峰 ,  闫睿 ,  卢耀文

IPC: G01F17/00

Abstract: 本发明公开了一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法，属于真空腔体容积测试领域；利用内置标准体积、两次气体静态膨胀对非标真空腔体容积进行精确测量的方法：将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定两个真空腔室的体积比，在气体膨胀室置入标准体积的条件下，将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定被测真空腔室的准确体积；提出操作便捷的真空测量系统，其中气体膨胀室、阀门、标准体积经特殊高真空处理，具有较小的材料放气率，使气体静态膨胀过程中装置本底放气极小，保证测量的精确性。本发明的系统和方法能够快速、便捷地对各型真空腔体的容积进行精确测量。