公开(公告)号：CN108981866A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810771203.9

申请日：2018-07-13

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  吴端 ,  延峰 ,  陈春 ,  王欢 ,  袁园 ,  陈静 ,  杨传森 ,  董云宁 ,  魏萌萌

IPC: G01F25/00

Abstract: 一种基于航空发动机涡轮生产喷涂设备的气体流量校准系统及方法，真空系统的机械泵经第一真空阀门与分子泵抽气出口连接，分子泵入口与第三阀门、第二阀门连接，第三阀门另一端与第一真空室连接，第二阀门另一端与第二真空室连接，第一真空室上面接了第四真空计、第五真空计与第六真空阀门、第六真空阀门与第六真空计连接，第二真空室上面连接第一真空计和第二真空计以及第五阀门，第五阀门与第三真空计连接，第三真空室与第九阀门和第七真空计连接，第四阀门一端与第九阀门、第三真空室和第七真空计连接，另一端与第八阀门、第七阀门及第一真空室连接，流量计通过第八阀门、第九阀门连接，活塞安装在真空室内部，位置测量仪用于测量活塞运动情况。