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公开(公告)号：CN112779488B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202110108214.0
申请日：2017-04-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明为氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层。将具有10‑500μm的厚度、1‑6wt％的氧浓度和350‑470HV的硬度的氟化钇喷涂涂层沉积在基材表面上。氟化钇喷涂涂层显示出在卤素系气体气氛或卤素系气体等离子体气氛中的优异的抗腐蚀性，起保护基材免受在酸清洁期间的酸侵入损害的作用并且使来自反应产物和由于从涂层剥离的颗粒产生最小化。
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公开(公告)号：CN110382730B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN201880014710.6
申请日：2018-02-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C4/04 , C01F17/265 , C01F17/10 , H01L21/302
Abstract: 提供喷镀被膜，是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜，含有0.01～2质量％的碳或者1～1000ppm的钛或钼，并且在不含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示呈L*为25～64、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑4.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。如果将该被膜形成于耐等离子体构件，则部分的颜色的变化少，取出清洗时也不必再部分地实施难以进行的清洗，成为能够确实实现原本的长寿命的构件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113699476A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111009100.7
申请日：2019-08-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C4/04 , C23C4/134 , C23C4/11 , C01F17/265
Abstract: 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层，其包含下层和表层，所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成，所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成，该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率，23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm，由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。
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公开(公告)号：CN106609347B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201610918492.1
申请日：2016-10-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 氟化钇喷涂材料包含Y5O4F7和YF3并具有10‑60μm的平均粒度和1.2‑2.5g/cm3的堆积密度。所述氟化钇喷涂材料中的Y5O4F7和YF3由30至90重量％的Y5O4F7和余量的YF3组成。通过大气等离子体喷涂所述喷涂材料获得氧氟化钇的喷涂的涂层。
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公开(公告)号：CN112779488A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110108214.0
申请日：2017-04-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明为氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层。将具有10‑500μm的厚度、1‑6wt％的氧浓度和350‑470HV的硬度的氟化钇喷涂涂层沉积在基材表面上。氟化钇喷涂涂层显示出在卤素系气体气氛或卤素系气体等离子体气氛中的优异的抗腐蚀性，起保护基材免受在酸清洁期间的酸侵入损害的作用并且使来自反应产物和由于从涂层剥离的颗粒产生最小化。
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公开(公告)号：CN109477199A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780043494.3
申请日：2017-07-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 悬浮等离子体热喷涂用浆料，是用于包含含氧气体的气氛下的悬浮等离子体热喷涂的热喷涂材料，含有5质量％以上且40质量％以下的最大粒径(D100)为12μm以下的稀土类氟化物粒子，以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上作为溶剂。能够在包含含氧气体的气氛下、采用悬浮等离子体热喷涂在基材上稳定地形成工艺偏移和颗粒的产生少的包含稀土类氧氟化物的热喷涂膜。具备该热喷涂膜的热喷涂构件对于卤素系气体等离子体的耐蚀性优异。
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公开(公告)号：CN106399896A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610616268.7
申请日：2016-07-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C23C4/04 , C09D1/00 , C23C4/06 , C23C4/11 , C23C4/18 , C23C4/185 , C23C4/10 , H01J37/32495
Abstract: 本发明涉及钇基喷涂涂层和制造方法。通过将氧化钇、氟化钇或氧氟化钇热喷涂到基材上以形成10-500μm厚的涂层，并且用有机酸、无机酸或其混合物的清洁液对该涂层进行化学清洁直至该涂层表面具有300nm以下的尺寸的颗粒的粒数变为不多于5个颗粒/mm2，从而得到钇基喷涂涂层。该钇基喷涂涂层即使在卤素气体等离子体气氛中也显示出高耐腐蚀性并且防止钇基颗粒在蚀刻处理过程中剥落。
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