公开(公告)号：CN102741749B

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201180008290.9

申请日：2011-01-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 高桥表 ,  池龟健 ,  下村雅子

IPC: G03F7/004 ,  B41J2/05 ,  B41J2/16 ,  G03F7/038

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1645 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物、具有阳离子部分和阴离子部分的光酸产生剂，和具有含有季铵结构和季鏻结构中任一的阳离子部分和阴离子部分的盐，其中将所述盐的阴离子部分与源自所述光酸产生剂的阴离子部分的第一酸中的阴离子部分交换，从而形成具有比所述第一酸的酸强度更低的酸强度的第二酸。

公开(公告)号：CN102754029B

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201180008169.6

申请日：2011-01-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 池龟健 ,  下村雅子 ,  高桥表

IPC: G03F7/004 ,  C08G59/08 ,  C08G65/18 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C08G59/68 ,  C08G65/105 ,  C08G65/18 ,  C08L31/06 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物；具有由式1表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂，其中R表示可用氟原子取代并且总碳数为1-30的烃基；X选自由碳原子和磷原子组成的组；Y选自由-S(=O)2-、-O-CF2-、-C(=O)-CF2-、-O-C(=O)-CF2-、-C(=O)-O-CF2-和单键组成的组；当Y为-S(=O)2-或单键时，R具有至少一个氟原子；当X为碳原子时，m和n为选自由m+n=3和n=0、1和2组成的组的整数；当X为磷原子时，m和n为选自由m+n=6和n=0-5组成的组的整数；以及当m等于或大于2时，R和Y可以彼此不同；和阴离子部分和阳离子部分的盐，其中源自所述阴离子部分的酸的酸强度等于或大于六氟磷酸的酸强度，并且等于或小于六氟锑酸的酸强度。

公开(公告)号：CN102754029A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201180008169.6

申请日：2011-01-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 池龟健 ,  下村雅子 ,  高桥表

IPC: G03F7/004 ,  C08G59/08 ,  C08G65/18 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C08G59/68 ,  C08G65/105 ,  C08G65/18 ,  C08L31/06 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物；具有由式1表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂，其中R表示可用氟原子取代并且总碳数为1-30的烃基；X选自由碳原子和磷原子组成的组；Y选自由-S(=O)2-、-O-CF2-、-C(=O)-CF2-、-O-C(=O)-CF2-、-C(=O)-O-CF2-和单键组成的组；当Y为-S(=O)2-或单键时，R具有至少一个氟原子；当X为碳原子时，m和n为选自由m+n=3和n=0、1和2组成的组的整数；当X为磷原子时，m和n为选自由m+n=6和n=0-5组成的组的整数；以及当m等于或大于2时，R和Y可以彼此不同；和阴离子部分和阳离子部分的盐，其中源自所述阴离子部分的酸的酸强度等于或大于六氟磷酸的酸强度，并且等于或小于六氟锑酸的酸强度。

公开(公告)号：CN101456284A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200810183280.9

申请日：2008-12-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 池龟健 ,  永田真吾 ,  福井茂树

IPC: B41J2/14

CPC classification number: B41J2/14145 ,  B41J2/1404

Abstract: 一种液体喷出头，其包括：基板，其具有用于供给液体的供给口以及沿供给口设置并且用于产生用于喷出液体的能量的多个能量产生元件；喷嘴板，其具有与能量产生元件对应地设置在该喷嘴板中的喷嘴；以及流路，其设置在基板和喷嘴板之间。喷嘴板具有围绕流路的槽。该槽包括设置在喷嘴板的接合到基板的一个面中的第一槽以及设置在喷嘴板的设置有喷嘴的另一个面中的第二槽。第一槽的边缘呈具有许多非常小的凹口的锯齿形状，第二槽的边缘呈大致直线状。

公开(公告)号：CN1089693C

公开(公告)日：2002-08-28

申请号：CN98115676.2

申请日：1998-07-03

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小山修司 ,  益田和明 ,  池龟健 ,  三原和明 ,  樫野俊雄 ,  石永博之

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1625 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1643 ,  B41J2202/03

Abstract: 一种用于液体释放器的孔板的制造方法，该液体释放器配有排出液体的排出口，该方法包括步骤，制备非传导板，该板有在对应于所述排出口的平坦部分周边上形成的凹槽部分；仅在所述非传导板的凹槽部分中，形成可与所述非传导板剥离的第一传导材料；其后，通过电铸方法用第二传导材料镀敷所述第一传导材料形成镀敷部件；剥离所述镀敷部件获得带有所述排出口的孔板。利用这样方法，能够实现与用于光刻的玻璃掩模同样的精度，并使孔区域的变化更小，以形成高密度的孔。