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公开(公告)号:CN101641806A
公开(公告)日:2010-02-03
申请号:CN200880009802.1
申请日:2008-03-05
Applicant: 佳能株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
CPC classification number: H01L41/0973 , H01L41/0815 , H01L41/319
Abstract: 本发明公开了外延膜,其包括:加热Si衬底,在该衬底的表面上设置有具有1.0nm~10nm膜厚的SiO 2 层;和通过使用由以下组成式(1)表示的金属靶在该SiO 2 层上形成由以下组成式(2)表示的外延膜:yA(1-y)B (1),其中A为选自由包括Y和Sc的稀土元素组成的组的一种或多种元素,B为Zr,且y为0.03~0.20的数值,xA 2 O 3 -(1-x)BO 2 (2),其中A和B为分别与组成式(1)的A和B相同的元素,且x为0.010~0.035的数值。
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公开(公告)号:CN107755365A
公开(公告)日:2018-03-06
申请号:CN201710967760.3
申请日:2013-03-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B08B7/02 , B41J2/14 , C04B35/468 , C04B35/49 , C04B35/626 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/187 , H02N2/10 , H02N2/16
CPC classification number: H01L41/1871 , B08B7/02 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , C04B35/4682 , C04B35/6261 , C04B35/62695 , C04B2235/3208 , C04B2235/3225 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3248 , C04B2235/3262 , C04B2235/3281 , C04B2235/3418 , C04B2235/449 , C04B2235/5445 , C04B2235/6567 , C04B2235/77 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , C04B2235/79 , H01L41/083 , H01L41/0973 , H02N2/103 , H02N2/106 , H02N2/163
Abstract: 本发明提供压电材料、压电元件和电子装置。本发明提供了一种在宽的操作温度范围中具有高压电常数和高机械品质因数的无铅压电材料。该压电材料包括由通式(1)表达的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分:(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(1.00≤a≤1.01、0.125≤x
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公开(公告)号:CN107651956A
公开(公告)日:2018-02-02
申请号:CN201710978500.6
申请日:2012-06-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C04B35/468 , C04B35/622 , H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/083 , H02N2/16 , G02B7/04
CPC classification number: H01L41/083 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/49 , C04B35/6261 , C04B35/62685 , C04B35/63416 , C04B2235/3208 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3248 , C04B2235/3262 , C04B2235/40 , C04B2235/449 , C04B2235/652 , C04B2235/6567 , C04B2235/6582 , C04B2235/6584 , C04B2235/72 , C04B2235/768 , C04B2235/77 , C04B2235/78 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , C04B2235/79 , C04B2235/80 , C04B2235/85 , H01L41/09 , H01L41/0973 , H01L41/1871 , H02N2/106 , H02N2/163 , C04B35/622 , C04B2235/5445 , C04B2235/602 , C04B2235/656 , C04B2235/6583 , C04B2235/94 , G02B7/04 , H02N2/166
Abstract: 本发明提供压电元件、多层压电元件、排液头、排液装置、超声波马达、光学装置和电子装置。在宽运行温度范围内稳定运行的无铅压电元件含有无铅压电材料。该压电元件包括第一电极、第二电极和压电材料,该压电材料包括由(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(1.00≤a≤1.01,0.02≤x≤0.30,0.020≤y≤0.095,和y≤x)表示的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分和在该钙钛矿型金属氧化物中引入的锰。相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物,锰含量为0.02重量份-0.40重量份,基于金属。
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公开(公告)号:CN104205388B
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201380016696.0
申请日:2013-03-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L41/187
CPC classification number: C04B35/49 , B08B7/028 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/62645 , C04B2235/3208 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3248 , C04B2235/3249 , C04B2235/3262 , C04B2235/3263 , C04B2235/449 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/5454 , C04B2235/6562 , C04B2235/6567 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , G02B7/021 , G02B7/022 , G02B7/023 , G02B27/0006 , G03B3/10 , G03B2205/0061 , G03B2205/0084 , H01L41/0471 , H01L41/083 , H01L41/1871 , H02N2/001 , H02N2/106 , H02N2/163
Abstract: 提供了一种无铅压电陶瓷,其具有增强的机械品质因数(Qm)和机械强度。这种压电陶瓷包括至少第一晶粒和第二晶粒。第一晶粒的平均等效圆直径为2μm以上和30μm以下。第一晶粒包括作为主要组分的由以下通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物,第二晶粒包括作为主要组分的由以下通式(2)表示的钙钛矿型金属氧化物:(1)xBaTiO3-yCaTiO3-zCaZrO3;和(2)x'BaTiO3-y'CaTiO3-z'CaZrO3,规定,x、y、z、x'、y'和z'满足x+y+z=1,x'+y'+z'=1,0≤x'≤0.15,0.85≤y'≤1,0≤z'≤0.05,x>x',0<y<y',和z>0。
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公开(公告)号:CN104285310B
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201380013087.X
申请日:2013-03-08
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/1878 , B05B17/0607 , B41J2/045 , B41J2/14233 , G02B7/102 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/43 , H02N2/103 , H02N2/106 , H02N2/163
Abstract: 提供一种具有高居里温度、高绝缘特性和高压电性能的压电材料,该压电材料包含由通式钙钛矿型金属氧化物,这里,M代表从由Mg、Ni和Zn组成的组中选择的至少一种类型的元素,x代表满足0.25≤x≤0.75的值,y代表满足0.15≤y≤0.73的值,z代表满足0.02≤z≤0.60的值,假定满足x+y+z=1,其中,钙钛矿型金属氧化物含有V,并且V的含量相对于1mol的钙钛矿型金属氧化物为大于或等于0.0005mol且小于或等于0.0050mol。另外,提供使用压电材料的压电元件、液体排出头、超声马达和尘埃去除设备。(1)即xBaTiO3-yBiFeO3-zBi(M0.5Ti0.5)O3代表的
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公开(公告)号:CN103636018B
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201280033165.8
申请日:2012-06-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/468
CPC classification number: H01L41/1871 , C04B35/4682 , C04B35/49 , C04B35/62685 , C04B2235/3208 , C04B2235/3215 , C04B2235/3225 , C04B2235/3236 , C04B2235/3239 , C04B2235/3244 , C04B2235/3248 , C04B2235/3262 , C04B2235/449 , C04B2235/5445 , C04B2235/72 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/79
Abstract: 本发明提供无铅压电材料,其在宽运行温度范围中不经历去极化并且具有良好的压电常数。压电材料包括由(Ba1‑xCax)a(Ti1‑yZry)O3(其中1.00≤a≤1.01,0.125≤x≤0.175,和0.055≤y≤0.090)表示的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分,和该钙钛矿型金属氧化物中引入的锰。相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物,锰含量为0.02重量份‑0.10重量份,基于金属。
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公开(公告)号:CN105939983A
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201580005886.1
申请日:2015-01-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C04B35/495 , C04B35/622 , H01L41/08 , H01L41/083 , B05B17/06 , H02N2/16 , G02B7/10 , G03B13/34 , B08B7/02
CPC classification number: H01L41/1873 , B06B1/06 , B06B1/0611 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3206 , C04B2235/3215 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3236 , C04B2235/3255 , C04B2235/3281 , C04B2235/768 , C04B2235/77 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , C04B2235/79 , H01L41/0471 , H01L41/0477 , H01L41/083 , H01L41/43 , H02N2/001 , H02N2/106 , H02N2/163 , H04N5/2171 , B05B17/0607 , B08B7/02 , C04B35/622 , C04B2235/96 , G02B7/10 , G03B13/34 , H01L41/08 , H02N2/103 , H02N2/16
Abstract: 提供不含有铅、钾和钴中的任一种且具有高的居里温度、良好的机械品质因数和良好的压电性能的压电陶瓷。该压电陶瓷包含由通式(1)代表的钙钛矿型金属氧化物、CuO和MgO。在压电陶瓷中,CuO的含量为大于或等于钙钛矿型金属氧化物的含量的0.1mol%且小于或等于钙钛矿型金属氧化物的含量的1mol%,并且MgO的含量为大于或等于钙钛矿型金属氧化物的含量的0.1mol%且小于或等于钙钛矿型金属氧化物的含量的2mol%。通式(1):(NaxBa1‑y)(NbyTi1‑y)O3,这里,0.85≤x≤0.92,0.85≤y≤0.92,0.95≤x/y≤1.05。
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公开(公告)号:CN103326613B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201310090979.1
申请日:2013-03-21
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明公开了振动装置、具有振动装置的驱动装置和光学设备。一种振动装置包括:包含具有少于1000ppm的铅含量的压电材料并具有电极的电气机械能量转换元件的振动体;和向电气机械能量转换元件施加至少两个驱动电压并通过向振动体提供时间相位差并产生具有相互不同的次数的多个稳定波产生组合振动的控制单元,其中,控制单元改变至少两个驱动电压的电压振幅比和时间相位差中的至少一个,以改变组合振动的振幅分布。
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公开(公告)号:CN104285310A
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201380013087.X
申请日:2013-03-08
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/1878 , B05B17/0607 , B41J2/045 , B41J2/14233 , G02B7/102 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/43 , H02N2/103 , H02N2/106 , H02N2/163
Abstract: 提供一种具有高居里温度、高绝缘特性和高压电性能的压电材料,该压电材料包含由通式(1)即xBaTiO3-yBiFeO3-zBi(M0.5Ti0.5)O3代表的钙钛矿型金属氧化物,这里,M代表从由Mg、Ni和Zn组成的组中选择的至少一种类型的元素,x代表满足0.25≤x≤0.75的值,y代表满足0.15≤y≤0.73的值,z代表满足0.02≤z≤0.60的值,假定满足x+y+z=1,其中,钙钛矿型金属氧化物含有V,并且V的含量相对于1mol的钙钛矿型金属氧化物为大于或等于0.0005mol且小于或等于0.0050mol。另外,提供使用压电材料的压电元件、液体排出头、超声马达和尘埃去除设备。
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