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公开(公告)号:CN102150234A
公开(公告)日:2011-08-10
申请号:CN200980135993.0
申请日:2009-11-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/027 , G03F7/16 , H01L21/31 , H01L21/312 , H01L21/316
CPC classification number: H01L21/6715 , B05D1/005 , B05D3/0486 , G03F7/162 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种成膜装置(1),具有:负载涂布对象物(W)的平台(2),使平台(2)在水平面内旋转的旋转机构(3),在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的规定区域中涂布材料而形成涂布膜(M)的涂布部(4),产生能溶解涂布膜(M)的溶剂蒸气的供气部(5),对在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的涂布膜(M)喷吹由供气部(5)产生的溶剂蒸气的喷吹部(6),控制由喷吹部(6)喷吹的上述溶剂蒸气量,使其为能溶解涂布膜(M)、涂布膜(M)的表层侧部分的粘度比涂布对象物(W)侧部分的粘度低的量的控制部(9)。
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公开(公告)号:CN114481337B
公开(公告)日:2024-04-16
申请号:CN202110953677.7
申请日:2021-08-19
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明的实施方式涉及电场纺丝装置以及电场纺丝头的清扫方法。本发明要解决的课题在于提供有效且适当地清扫在排列方向上排列有多个喷嘴的电场纺丝头的电场纺丝装置及其电场纺丝头的清扫方法。根据实施方式,电场纺丝装置具备电场纺丝头以及旋转刷。电场纺丝头具备排列的多个喷嘴,在多个喷嘴的各自上形成有能够喷出所供给的原料液的喷出口。旋转刷能够从喷出口所开口的一侧与多个喷嘴接触,并能够在与多个喷嘴接触的状态下以沿着多个喷嘴的排列方向的旋转轴为中心旋转。
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公开(公告)号:CN112349519B
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202010489872.4
申请日:2020-06-02
Applicant: 株式会社东芝
Inventor: 大城健一
Abstract: 本发明提供能够在抑制短路的同时增大容量的铝电解电容器、电气设备以及铝电解电容器的制造方法。实施方式的铝电解电容器具备:阳极,具有包括铝的金属层以及形成于所述金属层的表面的电介质层;阴极,具有包括铝的金属层;以及设置于所述阳极与所述阴极之间的纤维膜。所述纤维膜具有第一层和第二层。所述第一层包括具有第一直径的第一纤维,设置在所述电介质层与所述第二层之间。所述第二层包括具有比所述第一直径小的第二直径的第二纤维。
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公开(公告)号:CN107791634A
公开(公告)日:2018-03-13
申请号:CN201710799732.5
申请日:2017-09-07
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝生活电器株式会社
IPC: B32B27/02 , F16L59/065
Abstract: 本实施方案的真空绝热板的芯材是多张无纺布层叠而成的真空绝热板的芯材,其中,上述无纺布由热固性树脂纤维构成,该热固性树脂纤维由热固性树脂形成。
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公开(公告)号:CN102836793B
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201210209256.4
申请日:2012-06-20
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B05C11/08 , G03F7/162 , H01L21/6715
Abstract: 一种螺旋涂敷装置,具有工作台、旋转机构、涂敷喷嘴、移动机构部、喷嘴位置检测部以及位置调整部。工作台具有载置涂敷对象物的载置面。旋转机构使上述工作台在沿着上述载置面的旋转方向上旋转。涂敷喷嘴对工作台上的上述涂敷对象物喷出材料而进行涂敷。移动机构部使上述工作台和上述涂敷喷嘴在与上述旋转方向相交的交差方向上沿着上述载置面相对移动,并使上述工作台和上述涂敷喷嘴能够在上述旋转的轴方向上相对移动。喷嘴位置检测部检测上述旋转的轴方向上的上述涂敷喷嘴的底面的位置信息。位置调整部根据上述涂敷喷嘴的位置信息,进行上述涂敷喷嘴与上述载置面在上述轴方向的位置调整。
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公开(公告)号:CN104056748A
公开(公告)日:2014-09-24
申请号:CN201410082149.9
申请日:2014-03-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B05B15/02
CPC classification number: B05B15/025 , B05B15/55 , B05B15/555 , B05C11/08 , H01L21/6715
Abstract: 本发明涉及喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法。一实施方式的喷嘴清洗单元具备:清洗喷嘴部,具有在供喷嘴插入的孔的内壁面开口为圆环状的第1喷射孔;气体供给部,向所述第1喷射孔供给气体;以及减压部,对供所述喷嘴插入的孔的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一侧的气氛进行减压。
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公开(公告)号:CN103008175A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201210342345.6
申请日:2012-09-14
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B05D1/26 , B05D1/002 , B05D3/002 , B05D3/0466 , B05D3/104 , H01L21/6715
Abstract: 根据实施例,一种涂覆设备包括:台,其支撑被涂覆对象;以及涂覆头,其整体包括材料释放单元和气体喷射单元,所述材料释放单元能够相对于所述台移动并且配置为向所述台上的所述被涂覆对象释放涂覆材料,所述气体喷射单元与所述材料释放单元一起能够相对于所述台移动并且配置为向所述台上的所述被涂覆对象喷射气体。
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公开(公告)号:CN100384630C
公开(公告)日:2008-04-30
申请号:CN200510083721.4
申请日:2005-03-22
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B41J2/14274 , B41J2002/14362
Abstract: 本发明提供一种喷墨头。第一板具有背面并具有排出油墨的孔。具有顶面和背面的第二板具有穿透该第二板并与所述孔相连通的第一油墨通道。第二板的顶面与第一板的背面可分离地接触。具有顶面和背面的隔膜板以与第二板的背面相接触的方式可分离地安装。压电元件与隔膜板的背面相连并且一激励就可操作以改变第一油墨通道的容量。
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