公开(公告)号：CN102608356A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210059387.9

申请日：2012-03-01

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 韩建强 ,  冯日盛 ,  李琰 ,  李森林 ,  李青

IPC: G01P15/18 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。组成谐振式加速度计的谐振梁(1)位于衬底上表面，蟹腿型支撑梁(2)的中性面与质量块(3)的重心在同一平面。谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)通过五次光刻和三次各向异性湿法腐蚀工艺制作在同一硅片上。首先，背面光刻，有掩膜腐蚀工艺从谐振梁(1)背面腐蚀硅到一定深度。然后正反面光刻，去除腐蚀槽(8)中除谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)以外部分的腐蚀掩蔽层(9)，有掩膜腐蚀硅到另一深度。最后，去除蟹腿型支撑梁(2)正反面的腐蚀掩蔽层(9)，掩膜和无掩膜腐蚀相结合实现谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)的同时成型。该双轴体微机械谐振式加速度计具有较小的交叉轴干扰和较高的灵敏度。

公开(公告)号：CN201766561U

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：CN201020158006.9

申请日：2010-04-13

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 韩建强 ,  李青 ,  李方

IPC: H03H9/24 ,  B81B3/00

Abstract: 本实用新型公开了一种三梁结构的新型电磁激励/电磁拾振微桥谐振器。微桥谐振器由两根激振梁和位于其间的一根拾振梁组成，激振梁和拾振梁通过多根短梁连接。采用永磁体给微桥谐振器提供一个平行于芯片表面并与微桥谐振器垂直的磁场。在两根激振梁上的金属导线中通过方向相同的交变电流，使得激振梁在垂直于芯片表面的方向产生横向振动，并通过短梁带动中间的拾振梁产生横向振动。当激振梁上金属导线中通过的交变电流的频率与微桥谐振器的固有频率相同时，微桥谐振器达到谐振状态，拾振梁上的金属导线两端的感生电动势的幅值也达到最大。该谐振器的优点在于拾振梁两侧的激振梁通过短梁带动拾振梁在垂直于芯片表面横向振动、结构简单、易于起振和制作。