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公开(公告)号：CN114245555A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111474864.3
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种等离子体测量装置，包括：探针组件，用于收集等离子体的电子和离子电流；高压扫描电源模块，用于产生电压波形并施加于所述探针组件；信号调理模块，用于切换所述探针组件的工作模式，并对所述探针组件反馈的电压和电流信号进行调理；数据采集模块，用于采集不同工作模式下经过调理的所述电压和电流信号，并对所述电压和电流信号进行处理后获得等离子体参数；所述工作模式包括扫描单探针、直流偏置单探针、扫描双探针和直流偏置三探针。由此，本发明通过切换四种探针工作模式，可以实现大范围等离子体密度和温度测量，满足稳态和瞬态等离子体参数的测量，同时极大地提高了等离子体参数的测量精度和效率。
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公开(公告)号：CN114236222A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111465080.4
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种静电探针电流测量装置，包括：采样电阻(1)，用于采集所述静电探针反馈的信号；放大电路(2)，用于接收所述采样电阻(1)采集的信号并进行放大；采集器(3)，用于对经过所述放大的信号进行模数转换；处理器(4)，用于对经过所述模数转换的信号进行处理得到测量结果；所述放大电路(2)对其接收的信号按量程分多路进行放大，所述采集器(3)对经过所述放大的多路信号分别进行模数转换，所述处理器(4)对经过所述模数转换的多路信号进行合并处理。本发明的测量装置可以实现大动态范围信号的自动测量，保证信号测量的精度，可实现无人值守的自动测量，尤其适用于信号大小未知的不可重复试验，保证信号能完整测量。
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公开(公告)号：CN111654966A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010504516.5
申请日：2020-06-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本公开实施例公开了一种等离子体测量装置，该等离子体测量装置包括：移动台，用于在第一方向或第二方向上移动，第一方向与第二方向不同；支撑架，位于移动台上，能够跟随移动台的移动而移动；至少两个探针，位于支撑架上，用于通过支撑架的移动，与等离子体的至少两个点接触并同时测量至少两个点的等离子体特征参数。通过本公开实施例，能够提高测量效率及精度。
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公开(公告)号：CN103115699A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310048769.6
申请日：2013-02-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 一种真空下温度传感器校准用均温系统，所述均温系统既可以实现热辐射式测温，又可以实现热传导式测温，从而有利于实现真空下温度传感器校准，其特征在于，包括恒温槽，所述恒温槽内有恒温介质，所述恒温槽的槽口上设置有覆盖所述槽口的吊固平台，所述吊固平台将均温真空室吊装固定在所述恒温槽内的恒温介质中，所述均温真空室的上方与弯管的一端连接，所述弯管从所述吊固平台穿越，所述弯管的另一端设置有连接真空抽气系统的接口，所述均温真空室的外壁设置有铜管，所述铜管的底端被封堵，所述铜管的顶端穿越在所述吊固平台之外，所述均温真空室内设置有绝热传感器固定支架。
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公开(公告)号：CN115824074A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211495211.8
申请日：2022-11-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种孔间距的摄影测量装置及方法，所述装置包括：移动装置；单目视觉识别相机，设置于所述移动装置上；双目相机，设置于所述移动装置上，且所述双目相机与所述单目视觉识别相机相背设置；处理单元，用于根据所述单目视觉识别相机和所述双目相机的采集图像计算孔间距。可有效扩大孔间距测量范围，提高孔间距测量结果的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114236450A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111464781.6
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明涉及一种等离子体静电探针校准用模拟负载，包括可调精密恒压源、MOSFET模块、二极管阵列、相位补偿过压保护网络、屏蔽机箱和同轴接头，二极管阵列用于产生单向导通且随电压指数增长的探针电流，以模拟探针过渡区的电流信号，MOSFET模块用于在探针对地正电压下产生饱和电流信号以模拟探针的电子饱和电流；可调精密恒压源用于为MOSFET模块提供精准稳定的栅极电压，相位补偿过压保护网络用于限制MOSFET模块饱和电流、补偿探针高速扫描时二极管阵列引起的相位偏差、保护测试负载免受过高的探针电压烧毁。本发明可模拟空间等离子体的特征阻抗，与探针电源配合使用可获得大电流范围内的等离子体探针特征电压电流曲线，具有极高的精度、重复性和稳定性。
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公开(公告)号：CN111315106A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010203562.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本申请提供了一种等离子体发生器校准系统。所述等离子体发生器校准系统包括：第一真空校准系统，所述第一真空校准系统用于校准标准量传装置以及标准探针；第二真空校准系统，所述第二真空校准系统与所述第一真空校准系统连通，其内设置有待校准等离子体发生器；其中，所述第二真空校准系统用于使用经过所述第一真空校准系统校准后的标准量传装置对所述待校准等离子体发生器进行校准。采用本申请的等离子体发生器校准系统，通过第一真空校准系统以及第二真空校准系统的组合，满足校准的同时，提供了一种高效的等离子体校准与舱室压力调节形式，在保证设备易用性、经济性的前提下，提升校准平台在校准电推进器过程的效率与灵活性。
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公开(公告)号：CN114646806B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202011519812.9
申请日：2020-12-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请公开了一种航天器直流负载输入阻抗测量方法及装置，所述方法包括：在直流电源与航天器直流负载之间的传输线上注入交流扰动电压，使所述传输线上形成交流扰动电流；测量流入所述航天器直流负载方向的交流扰动电流，计算所述交流扰动电压与所述航天器直流负载方向的交流扰动电流的基波相量比，得到所述航天器直流负载的输入阻抗。本申请准确的测量结果可以指导航天器供电系统的设计和调试，保障电源系统稳定可靠，保障各用电负载工作正常，为航天器各用电负载输入阻抗的测量、校准和验收提供依据。
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公开(公告)号：CN114235251A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111464791.X
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种真空下等离子推进器推力测量装置，包括支承框架(1)、摆动盘(2)、固定盘(3)、悬丝(4)、托板(5)、推力器(6)、配重(7)以及光学测量组件(8)，所述摆动盘(2)设置在所述托板(5)上，所述固定盘(3)固定在所述支承框架(1)上，所述悬丝(4)两端分别连接所述摆动盘(2)和所述固定盘(3)，且沿圆周方向间隔排列，所述摆动盘(2)和所述固定盘(3)上分别设有环形的悬丝安装部(9)，所述悬丝安装部(9)同心且间隔地设置两个以上。本发明可解决抗干扰、高精度、宽量程的微推力测量问题，且本装置结构简单、可靠。
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公开(公告)号：CN110856331A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911123708.5
申请日：2019-11-17
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源，涉及半导体制造技术领域，包括射频天线、石英介质窗、感应屏蔽层、支撑结构、外屏蔽罩、匹配网络、射频电源，可消除射频感应天线与等离子体之间的残余容性耦合、调节天线电压分布，产生空间分布均匀、等离子体电位非常低的射频等离子体，具有较高的空间等离子体环境模拟稳定度，且该系统结构简单、可靠。
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